9。5。通信与安全保护9、5。1。一个完整的硅集成电路芯片工厂通常组织严密、内部分工细致 各工段相互联系紧密.对外需随时保持联系.因而通常需在厂内靠近办公区设一电话站、装设程控数字电话交换机,生产厂房洁净区电话由程控交换机引来。洁净区内通常采用综合布线系统,设置电话插座,单孔,和电话。数据插座.两孔或三孔 两种信息插座、9.5 2 硅集成电路芯片厂房设置火灾自动报警系统主要目的为保障贵重工艺设备以及及早发现火灾隐患,同时根据洁净厂房的特点.一旦火灾发生。人员进入较困难.因而火灾自动报警系统必须设置.设置火灾自动报警系统的区域根据生产工艺布置和公用动力系统的装设情况,包括洁净生产区。技术夹层、机房。站房等均应设火灾探测器.全面保护 硅集成电路芯片厂房内设备、仪器较为昂贵且厂房建造费用较高,一旦着火。损失巨大。同时洁净厂房内人员进出迂回曲折、人员疏散困难。不易发现火情,消防人员难以接近,防火有一定的困难。为达到室内净化级别.洁净室内对气流。空间大小,换气率都有较高的要求 火灾发生后。若一旦关闭净化空调系统 即使再恢复也会影响洁净度、使其达不到工艺生产要求而造成损失。而且中断生产和烟雾对设备的影响所造成的损失很难弥补。洁净室内一般空间较大。气流速度高,换气次数40次,h,120次。h 普通的感烟探测器对烟雾探测有很大的困难,所以,洁净室内的烟雾探测既重要又困难.常规的火灾探测器系统往往不能有效地发挥作用。采用早期火灾探测及报警技术可以克服洁净室内高气流.大空间的探测难度以达到火灾极早期报警,使火灾损失最小、9.5.6,硅集成电路芯片厂广播应满足应急广播最低声压级的要求.即洁净室内扬声器的额定功率不应小于3W,在环境噪声大于60dB的场所,在其播放范围内最远点的播放声压级应高于背景噪声15dB
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