10。9.特种气体10，9。1、特种气体宜采用外购钢瓶气体供应.在厂区内应设置储存.分配系统，10、9、2.特种气体宜根据危险性质和存储数量设置独立的气瓶间。10 9。3 洁净区内自燃,易燃、腐蚀性或有毒的特种气体分配系统的设置，应符合下列规定,1，危险气体钢瓶应设置在具有连续机械排风的特种气体柜中,2 排风机、泄漏报警，自动切断阀均应设置应急电源、3,一个特种气体分配系统供多台生产设备使用时、应设置多路阀门箱、10，9。4,特种气体分配系统应符合下列规定、1。应设置吹扫盘.2 应设置应急切断装置,3。应设置过流量控制装置 4。应设置手动隔离阀，5、运行过程中的吹扫气源不应使用厂区内大宗气体系统，6 不相容特种气体不得共用同一吹扫盘、