10,9、特种气体10、9,1.特种气体宜采用外购钢瓶气体供应 在厂区内应设置储存,分配系统，10.9、2。特种气体宜根据危险性质和存储数量设置独立的气瓶间,10。9。3.洁净区内自燃,易燃。腐蚀性或有毒的特种气体分配系统的设置 应符合下列规定。1。危险气体钢瓶应设置在具有连续机械排风的特种气体柜中.2,排风机。泄漏报警。自动切断阀均应设置应急电源 3。一个特种气体分配系统供多台生产设备使用时,应设置多路阀门箱、10、9，4,特种气体分配系统应符合下列规定 1、应设置吹扫盘。2、应设置应急切断装置,3.应设置过流量控制装置 4。应设置手动隔离阀,5。运行过程中的吹扫气源不应使用厂区内大宗气体系统。6，不相容特种气体不得共用同一吹扫盘，