10、9.特种气体10.9，1.特种气体宜采用外购钢瓶气体供应 在厂区内应设置储存,分配系统、10.9，2。特种气体宜根据危险性质和存储数量设置独立的气瓶间。10.9,3,洁净区内自燃、易燃。腐蚀性或有毒的特种气体分配系统的设置 应符合下列规定,1，危险气体钢瓶应设置在具有连续机械排风的特种气体柜中,2,排风机 泄漏报警.自动切断阀均应设置应急电源 3.一个特种气体分配系统供多台生产设备使用时 应设置多路阀门箱,10.9，4。特种气体分配系统应符合下列规定 1,应设置吹扫盘.2 应设置应急切断装置，3、应设置过流量控制装置，4,应设置手动隔离阀、5，运行过程中的吹扫气源不应使用厂区内大宗气体系统，6。不相容特种气体不得共用同一吹扫盘