10。9.特种气体10。9.1、特种气体宜采用外购钢瓶气体供应,在厂区内应设置储存。分配系统。10，9、2，特种气体宜根据危险性质和存储数量设置独立的气瓶间,10、9 3,洁净区内自燃 易燃 腐蚀性或有毒的特种气体分配系统的设置 应符合下列规定，1,危险气体钢瓶应设置在具有连续机械排风的特种气体柜中 2 排风机、泄漏报警.自动切断阀均应设置应急电源.3,一个特种气体分配系统供多台生产设备使用时。应设置多路阀门箱、10。9。4，特种气体分配系统应符合下列规定、1。应设置吹扫盘.2 应设置应急切断装置,3，应设置过流量控制装置 4,应设置手动隔离阀、5 运行过程中的吹扫气源不应使用厂区内大宗气体系统。6。不相容特种气体不得共用同一吹扫盘