10,3,纯。水10。3、1.硅集成电路芯片工厂纯水系统设计应根据生产工艺要求，合理确定纯水制备系统的规模，供水水质,10，3 2，纯水的制备。储存和输送的设备和材料 除应满足所需水量和水质要求外 尚应符合下列规定,1，纯水的制备。储存和输送设备的配置应确保系统满足运行安全可靠,技术先进。经济适用。便于操作维护等要求，2。纯水的制备 储存和输送设备材料的选择应与其接触的水质相匹配 设备内表面应满足光洁、平整等物理性能，同时应化学性质稳定。耐腐蚀.易清洗，10，3、3。纯水系统应采用循环供水方式 纯水输配系统应根据水质、水量，用水点数量。管道材质以及使用点对水压稳定性等要求确定，可选择采用单管式循环供水系统 直接回水的循环供水系统或逆向回水的循环供水系统。并应符合下列规定,1，纯水输配系统的附加循环水量宜为额定耗用水量的25 50。2。纯水管道流速的选择应能有效地防止水质降低和微生物的滋生,并应兼顾压力损失 供.回水管流速分别不宜低于1。5m、s和0，5m.s、3，纯水输配管路系统应根据系统运行维护的需要设置必要的采样口。4、工艺设备二次配管 且截止阀离设备较远时，宜安装回水管。10 3,4。用于纯水系统的水质检测设备及仪表、其安装不应使纯水水质降低、其检测范围和精度应符合纯水生产和检验的要求,10,3,5。纯水精处理或终端处理装置宜靠近主要用水工艺设备设置,10，3、6,纯水系统管道材质的选用，应符合下列要求 1。应满足纯水水质指标的要求 2.材料的化学稳定性应高 3.管道物理性能应好 内壁光洁度应高 4、不得有渗气现象,10 3 7、纯水管道的阀门和附件的选用应符合下列规定,1、应选择与管道相同的材质、2,应选用密封好.结构合理 无渗气现象的阀门,10 3,8、纯水废水回收设计应与硅集成电路芯片生产工艺设计密切配合.并应根据工程实际情况,回收水质。水量。结合当前的技术 经济条件等合理确定回收率.10.3、9 回收水处理系统流程的拟定和设备的选择，应根据工程的具体情况。回收水水质 水量以及处理后的用途等因素综合确定。当不能取得回收水水质资料时，可按已建同类工程经验或科学实验确定,