10、3、纯,水10、3.1,硅集成电路芯片工厂纯水系统设计应根据生产工艺要求、合理确定纯水制备系统的规模、供水水质，10，3,2。纯水的制备 储存和输送的设备和材料.除应满足所需水量和水质要求外 尚应符合下列规定,1。纯水的制备，储存和输送设备的配置应确保系统满足运行安全可靠.技术先进，经济适用、便于操作维护等要求,2,纯水的制备，储存和输送设备材料的选择应与其接触的水质相匹配,设备内表面应满足光洁、平整等物理性能、同时应化学性质稳定。耐腐蚀、易清洗,10、3。3 纯水系统应采用循环供水方式.纯水输配系统应根据水质.水量.用水点数量，管道材质以及使用点对水压稳定性等要求确定.可选择采用单管式循环供水系统，直接回水的循环供水系统或逆向回水的循环供水系统,并应符合下列规定,1、纯水输配系统的附加循环水量宜为额定耗用水量的25 50，2,纯水管道流速的选择应能有效地防止水质降低和微生物的滋生、并应兼顾压力损失 供。回水管流速分别不宜低于1、5m。s和0。5m s。3。纯水输配管路系统应根据系统运行维护的需要设置必要的采样口 4.工艺设备二次配管.且截止阀离设备较远时、宜安装回水管、10 3。4，用于纯水系统的水质检测设备及仪表,其安装不应使纯水水质降低，其检测范围和精度应符合纯水生产和检验的要求.10 3。5，纯水精处理或终端处理装置宜靠近主要用水工艺设备设置 10。3.6.纯水系统管道材质的选用,应符合下列要求.1。应满足纯水水质指标的要求 2。材料的化学稳定性应高、3，管道物理性能应好。内壁光洁度应高、4.不得有渗气现象.10，3 7 纯水管道的阀门和附件的选用应符合下列规定,1、应选择与管道相同的材质、2 应选用密封好,结构合理、无渗气现象的阀门 10，3、8、纯水废水回收设计应与硅集成电路芯片生产工艺设计密切配合、并应根据工程实际情况，回收水质、水量。结合当前的技术.经济条件等合理确定回收率.10，3，9、回收水处理系统流程的拟定和设备的选择.应根据工程的具体情况、回收水水质.水量以及处理后的用途等因素综合确定 当不能取得回收水水质资料时 可按已建同类工程经验或科学实验确定，