10.3、纯,水10。3、1.硅集成电路芯片工厂纯水系统设计应根据生产工艺要求、合理确定纯水制备系统的规模。供水水质 10，3、2。纯水的制备,储存和输送的设备和材料.除应满足所需水量和水质要求外，尚应符合下列规定,1 纯水的制备，储存和输送设备的配置应确保系统满足运行安全可靠,技术先进 经济适用,便于操作维护等要求,2、纯水的制备.储存和输送设备材料的选择应与其接触的水质相匹配。设备内表面应满足光洁。平整等物理性能。同时应化学性质稳定，耐腐蚀，易清洗、10。3，3，纯水系统应采用循环供水方式。纯水输配系统应根据水质,水量 用水点数量 管道材质以及使用点对水压稳定性等要求确定.可选择采用单管式循环供水系统、直接回水的循环供水系统或逆向回水的循环供水系统、并应符合下列规定 1，纯水输配系统的附加循环水量宜为额定耗用水量的25 50、2,纯水管道流速的选择应能有效地防止水质降低和微生物的滋生、并应兼顾压力损失。供。回水管流速分别不宜低于1.5m,s和0,5m.s,3、纯水输配管路系统应根据系统运行维护的需要设置必要的采样口。4.工艺设备二次配管 且截止阀离设备较远时，宜安装回水管 10.3，4，用于纯水系统的水质检测设备及仪表、其安装不应使纯水水质降低,其检测范围和精度应符合纯水生产和检验的要求,10，3 5 纯水精处理或终端处理装置宜靠近主要用水工艺设备设置，10，3。6。纯水系统管道材质的选用.应符合下列要求。1,应满足纯水水质指标的要求.2。材料的化学稳定性应高,3，管道物理性能应好，内壁光洁度应高,4 不得有渗气现象、10，3.7、纯水管道的阀门和附件的选用应符合下列规定。1.应选择与管道相同的材质 2.应选用密封好,结构合理，无渗气现象的阀门、10,3，8.纯水废水回收设计应与硅集成电路芯片生产工艺设计密切配合、并应根据工程实际情况、回收水质、水量、结合当前的技术 经济条件等合理确定回收率。10、3,9 回收水处理系统流程的拟定和设备的选择 应根据工程的具体情况 回收水水质 水量以及处理后的用途等因素综合确定、当不能取得回收水水质资料时.可按已建同类工程经验或科学实验确定，