10。3、纯,水10，3，1。硅集成电路芯片工厂纯水系统设计应根据生产工艺要求.合理确定纯水制备系统的规模、供水水质 10 3,2,纯水的制备 储存和输送的设备和材料，除应满足所需水量和水质要求外，尚应符合下列规定，1，纯水的制备.储存和输送设备的配置应确保系统满足运行安全可靠、技术先进，经济适用。便于操作维护等要求、2,纯水的制备、储存和输送设备材料的选择应与其接触的水质相匹配、设备内表面应满足光洁、平整等物理性能 同时应化学性质稳定、耐腐蚀.易清洗，10、3.3。纯水系统应采用循环供水方式、纯水输配系统应根据水质,水量.用水点数量.管道材质以及使用点对水压稳定性等要求确定。可选择采用单管式循环供水系统,直接回水的循环供水系统或逆向回水的循环供水系统.并应符合下列规定。1、纯水输配系统的附加循环水量宜为额定耗用水量的25,50。2 纯水管道流速的选择应能有效地防止水质降低和微生物的滋生,并应兼顾压力损失，供.回水管流速分别不宜低于1 5m、s和0.5m.s 3.纯水输配管路系统应根据系统运行维护的需要设置必要的采样口，4.工艺设备二次配管、且截止阀离设备较远时。宜安装回水管.10、3。4 用于纯水系统的水质检测设备及仪表。其安装不应使纯水水质降低.其检测范围和精度应符合纯水生产和检验的要求,10，3、5,纯水精处理或终端处理装置宜靠近主要用水工艺设备设置。10 3 6。纯水系统管道材质的选用，应符合下列要求。1,应满足纯水水质指标的要求.2.材料的化学稳定性应高 3 管道物理性能应好、内壁光洁度应高。4。不得有渗气现象、10、3 7。纯水管道的阀门和附件的选用应符合下列规定.1.应选择与管道相同的材质。2.应选用密封好 结构合理。无渗气现象的阀门.10，3。8。纯水废水回收设计应与硅集成电路芯片生产工艺设计密切配合，并应根据工程实际情况.回收水质,水量，结合当前的技术，经济条件等合理确定回收率，10。3,9 回收水处理系统流程的拟定和设备的选择，应根据工程的具体情况。回收水水质、水量以及处理后的用途等因素综合确定，当不能取得回收水水质资料时 可按已建同类工程经验或科学实验确定