10 3,纯.水10、3、1。硅集成电路芯片工厂纯水系统设计应根据生产工艺要求.合理确定纯水制备系统的规模，供水水质。10。3。2，纯水的制备 储存和输送的设备和材料，除应满足所需水量和水质要求外、尚应符合下列规定。1.纯水的制备,储存和输送设备的配置应确保系统满足运行安全可靠。技术先进 经济适用.便于操作维护等要求 2。纯水的制备。储存和输送设备材料的选择应与其接触的水质相匹配、设备内表面应满足光洁.平整等物理性能,同时应化学性质稳定、耐腐蚀、易清洗,10.3，3，纯水系统应采用循环供水方式。纯水输配系统应根据水质、水量 用水点数量,管道材质以及使用点对水压稳定性等要求确定,可选择采用单管式循环供水系统 直接回水的循环供水系统或逆向回水的循环供水系统.并应符合下列规定。1 纯水输配系统的附加循环水量宜为额定耗用水量的25,50.2 纯水管道流速的选择应能有效地防止水质降低和微生物的滋生。并应兼顾压力损失。供、回水管流速分别不宜低于1,5m,s和0.5m s.3 纯水输配管路系统应根据系统运行维护的需要设置必要的采样口.4 工艺设备二次配管、且截止阀离设备较远时，宜安装回水管 10。3。4 用于纯水系统的水质检测设备及仪表.其安装不应使纯水水质降低。其检测范围和精度应符合纯水生产和检验的要求、10 3,5.纯水精处理或终端处理装置宜靠近主要用水工艺设备设置.10、3。6.纯水系统管道材质的选用,应符合下列要求、1.应满足纯水水质指标的要求、2、材料的化学稳定性应高、3。管道物理性能应好，内壁光洁度应高。4。不得有渗气现象.10、3，7.纯水管道的阀门和附件的选用应符合下列规定、1，应选择与管道相同的材质、2 应选用密封好,结构合理、无渗气现象的阀门,10.3，8，纯水废水回收设计应与硅集成电路芯片生产工艺设计密切配合。并应根据工程实际情况 回收水质 水量,结合当前的技术。经济条件等合理确定回收率.10。3。9、回收水处理系统流程的拟定和设备的选择 应根据工程的具体情况、回收水水质 水量以及处理后的用途等因素综合确定，当不能取得回收水水质资料时、可按已建同类工程经验或科学实验确定,