10。3 纯。水10，3,1 硅集成电路芯片工厂纯水系统设计应根据生产工艺要求、合理确定纯水制备系统的规模.供水水质。10.3.2.纯水的制备.储存和输送的设备和材料,除应满足所需水量和水质要求外,尚应符合下列规定。1.纯水的制备、储存和输送设备的配置应确保系统满足运行安全可靠、技术先进、经济适用.便于操作维护等要求、2.纯水的制备.储存和输送设备材料的选择应与其接触的水质相匹配 设备内表面应满足光洁 平整等物理性能，同时应化学性质稳定。耐腐蚀、易清洗,10 3,3 纯水系统应采用循环供水方式,纯水输配系统应根据水质.水量.用水点数量,管道材质以及使用点对水压稳定性等要求确定、可选择采用单管式循环供水系统、直接回水的循环供水系统或逆向回水的循环供水系统,并应符合下列规定 1。纯水输配系统的附加循环水量宜为额定耗用水量的25、50,2，纯水管道流速的选择应能有效地防止水质降低和微生物的滋生、并应兼顾压力损失，供 回水管流速分别不宜低于1.5m，s和0 5m，s、3 纯水输配管路系统应根据系统运行维护的需要设置必要的采样口 4，工艺设备二次配管，且截止阀离设备较远时.宜安装回水管.10。3.4.用于纯水系统的水质检测设备及仪表、其安装不应使纯水水质降低,其检测范围和精度应符合纯水生产和检验的要求.10，3、5，纯水精处理或终端处理装置宜靠近主要用水工艺设备设置.10.3。6 纯水系统管道材质的选用,应符合下列要求.1 应满足纯水水质指标的要求，2,材料的化学稳定性应高.3。管道物理性能应好,内壁光洁度应高，4.不得有渗气现象.10。3。7.纯水管道的阀门和附件的选用应符合下列规定。1 应选择与管道相同的材质。2,应选用密封好。结构合理，无渗气现象的阀门,10，3.8，纯水废水回收设计应与硅集成电路芯片生产工艺设计密切配合，并应根据工程实际情况.回收水质，水量 结合当前的技术,经济条件等合理确定回收率 10。3,9。回收水处理系统流程的拟定和设备的选择,应根据工程的具体情况。回收水水质。水量以及处理后的用途等因素综合确定,当不能取得回收水水质资料时，可按已建同类工程经验或科学实验确定，