10、3 纯。水10.3。1.硅集成电路芯片工厂纯水系统设计应根据生产工艺要求。合理确定纯水制备系统的规模 供水水质、10，3 2、纯水的制备.储存和输送的设备和材料,除应满足所需水量和水质要求外,尚应符合下列规定.1，纯水的制备，储存和输送设备的配置应确保系统满足运行安全可靠.技术先进。经济适用.便于操作维护等要求,2 纯水的制备、储存和输送设备材料的选择应与其接触的水质相匹配，设备内表面应满足光洁.平整等物理性能 同时应化学性质稳定 耐腐蚀,易清洗 10 3、3 纯水系统应采用循环供水方式。纯水输配系统应根据水质、水量 用水点数量。管道材质以及使用点对水压稳定性等要求确定 可选择采用单管式循环供水系统 直接回水的循环供水系统或逆向回水的循环供水系统 并应符合下列规定、1,纯水输配系统的附加循环水量宜为额定耗用水量的25，50，2 纯水管道流速的选择应能有效地防止水质降低和微生物的滋生 并应兼顾压力损失，供、回水管流速分别不宜低于1。5m,s和0、5m s。3，纯水输配管路系统应根据系统运行维护的需要设置必要的采样口、4.工艺设备二次配管,且截止阀离设备较远时.宜安装回水管。10.3、4。用于纯水系统的水质检测设备及仪表、其安装不应使纯水水质降低 其检测范围和精度应符合纯水生产和检验的要求.10,3 5。纯水精处理或终端处理装置宜靠近主要用水工艺设备设置，10。3，6，纯水系统管道材质的选用.应符合下列要求.1.应满足纯水水质指标的要求，2、材料的化学稳定性应高，3、管道物理性能应好，内壁光洁度应高,4,不得有渗气现象.10,3。7 纯水管道的阀门和附件的选用应符合下列规定.1，应选择与管道相同的材质.2,应选用密封好 结构合理.无渗气现象的阀门、10。3,8，纯水废水回收设计应与硅集成电路芯片生产工艺设计密切配合。并应根据工程实际情况.回收水质 水量 结合当前的技术 经济条件等合理确定回收率,10。3,9.回收水处理系统流程的拟定和设备的选择。应根据工程的具体情况，回收水水质.水量以及处理后的用途等因素综合确定 当不能取得回收水水质资料时，可按已建同类工程经验或科学实验确定