10，3，纯。水10,3。1。硅集成电路芯片工厂纯水系统设计应根据生产工艺要求，合理确定纯水制备系统的规模、供水水质，10.3、2、纯水的制备,储存和输送的设备和材料，除应满足所需水量和水质要求外.尚应符合下列规定。1、纯水的制备、储存和输送设备的配置应确保系统满足运行安全可靠、技术先进。经济适用 便于操作维护等要求 2 纯水的制备,储存和输送设备材料的选择应与其接触的水质相匹配.设备内表面应满足光洁.平整等物理性能 同时应化学性质稳定、耐腐蚀，易清洗 10,3。3,纯水系统应采用循环供水方式.纯水输配系统应根据水质。水量、用水点数量,管道材质以及使用点对水压稳定性等要求确定.可选择采用单管式循环供水系统.直接回水的循环供水系统或逆向回水的循环供水系统。并应符合下列规定,1 纯水输配系统的附加循环水量宜为额定耗用水量的25，50 2。纯水管道流速的选择应能有效地防止水质降低和微生物的滋生,并应兼顾压力损失,供，回水管流速分别不宜低于1、5m s和0。5m.s.3，纯水输配管路系统应根据系统运行维护的需要设置必要的采样口、4.工艺设备二次配管.且截止阀离设备较远时,宜安装回水管，10、3，4.用于纯水系统的水质检测设备及仪表，其安装不应使纯水水质降低，其检测范围和精度应符合纯水生产和检验的要求，10.3.5，纯水精处理或终端处理装置宜靠近主要用水工艺设备设置。10、3。6,纯水系统管道材质的选用,应符合下列要求，1,应满足纯水水质指标的要求 2，材料的化学稳定性应高,3、管道物理性能应好.内壁光洁度应高，4.不得有渗气现象,10.3、7.纯水管道的阀门和附件的选用应符合下列规定、1.应选择与管道相同的材质 2.应选用密封好。结构合理 无渗气现象的阀门。10 3、8，纯水废水回收设计应与硅集成电路芯片生产工艺设计密切配合.并应根据工程实际情况 回收水质，水量、结合当前的技术，经济条件等合理确定回收率、10,3 9.回收水处理系统流程的拟定和设备的选择,应根据工程的具体情况，回收水水质,水量以及处理后的用途等因素综合确定，当不能取得回收水水质资料时、可按已建同类工程经验或科学实验确定。