10 3，纯。水10.3,1，硅集成电路芯片工厂纯水系统设计应根据生产工艺要求 合理确定纯水制备系统的规模。供水水质、10 3。2.纯水的制备，储存和输送的设备和材料。除应满足所需水量和水质要求外。尚应符合下列规定，1 纯水的制备.储存和输送设备的配置应确保系统满足运行安全可靠，技术先进。经济适用,便于操作维护等要求.2，纯水的制备.储存和输送设备材料的选择应与其接触的水质相匹配，设备内表面应满足光洁、平整等物理性能 同时应化学性质稳定.耐腐蚀。易清洗 10 3,3,纯水系统应采用循环供水方式.纯水输配系统应根据水质、水量、用水点数量,管道材质以及使用点对水压稳定性等要求确定.可选择采用单管式循环供水系统、直接回水的循环供水系统或逆向回水的循环供水系统 并应符合下列规定。1、纯水输配系统的附加循环水量宜为额定耗用水量的25，50，2,纯水管道流速的选择应能有效地防止水质降低和微生物的滋生、并应兼顾压力损失，供.回水管流速分别不宜低于1.5m，s和0，5m s.3。纯水输配管路系统应根据系统运行维护的需要设置必要的采样口。4，工艺设备二次配管 且截止阀离设备较远时.宜安装回水管。10，3.4。用于纯水系统的水质检测设备及仪表 其安装不应使纯水水质降低、其检测范围和精度应符合纯水生产和检验的要求 10。3.5、纯水精处理或终端处理装置宜靠近主要用水工艺设备设置，10.3。6，纯水系统管道材质的选用、应符合下列要求，1 应满足纯水水质指标的要求。2。材料的化学稳定性应高,3.管道物理性能应好、内壁光洁度应高，4。不得有渗气现象 10 3，7,纯水管道的阀门和附件的选用应符合下列规定，1、应选择与管道相同的材质，2，应选用密封好、结构合理.无渗气现象的阀门，10，3，8,纯水废水回收设计应与硅集成电路芯片生产工艺设计密切配合 并应根据工程实际情况.回收水质.水量 结合当前的技术,经济条件等合理确定回收率.10。3,9,回收水处理系统流程的拟定和设备的选择,应根据工程的具体情况,回收水水质,水量以及处理后的用途等因素综合确定。当不能取得回收水水质资料时,可按已建同类工程经验或科学实验确定,