10.3。纯 水10。3，1 硅集成电路芯片工厂纯水系统设计应根据生产工艺要求。合理确定纯水制备系统的规模、供水水质 10 3。2，纯水的制备.储存和输送的设备和材料.除应满足所需水量和水质要求外 尚应符合下列规定，1。纯水的制备 储存和输送设备的配置应确保系统满足运行安全可靠 技术先进.经济适用，便于操作维护等要求，2.纯水的制备，储存和输送设备材料的选择应与其接触的水质相匹配 设备内表面应满足光洁 平整等物理性能。同时应化学性质稳定,耐腐蚀 易清洗.10.3。3 纯水系统应采用循环供水方式,纯水输配系统应根据水质。水量,用水点数量，管道材质以及使用点对水压稳定性等要求确定.可选择采用单管式循环供水系统 直接回水的循环供水系统或逆向回水的循环供水系统 并应符合下列规定 1 纯水输配系统的附加循环水量宜为额定耗用水量的25、50 2,纯水管道流速的选择应能有效地防止水质降低和微生物的滋生。并应兼顾压力损失、供 回水管流速分别不宜低于1、5m、s和0，5m。s、3,纯水输配管路系统应根据系统运行维护的需要设置必要的采样口、4。工艺设备二次配管、且截止阀离设备较远时.宜安装回水管。10.3.4,用于纯水系统的水质检测设备及仪表 其安装不应使纯水水质降低。其检测范围和精度应符合纯水生产和检验的要求，10 3.5，纯水精处理或终端处理装置宜靠近主要用水工艺设备设置。10 3,6.纯水系统管道材质的选用 应符合下列要求 1.应满足纯水水质指标的要求.2、材料的化学稳定性应高.3。管道物理性能应好.内壁光洁度应高,4。不得有渗气现象。10。3。7。纯水管道的阀门和附件的选用应符合下列规定.1 应选择与管道相同的材质，2,应选用密封好，结构合理 无渗气现象的阀门，10，3。8、纯水废水回收设计应与硅集成电路芯片生产工艺设计密切配合 并应根据工程实际情况，回收水质.水量,结合当前的技术、经济条件等合理确定回收率。10、3 9、回收水处理系统流程的拟定和设备的选择、应根据工程的具体情况，回收水水质、水量以及处理后的用途等因素综合确定，当不能取得回收水水质资料时。可按已建同类工程经验或科学实验确定，