11。空间管理11,0、1.硅集成电路芯片工厂室外空间管理 应符合下列规定、1。室外管线宜采用架空敷设的方式集中布置,2.室外管架不应影响道路的正常通行 3 室外管架与邻近的建筑物的间距应满足管道安装及维护的要求、4 室外管架宜设置检修马道.5,室外管架的空间和荷载应为扩展留有余量、11,0 2 生产厂房内的空间管理应符合下列规定.1。应满足设备的正常生产空间。2.不应影响设备维修以及搬入的空间。3,应满足辅助设备的维修,安装以及搬入、4,应满足设备检修的空间。5 管线之间以及管线与建筑物之间应预留足够的安装维修空间 6、应计及管道入口的空间及管道井的位置,7,应为今后扩展预留管道空间和荷载,11 0。3,生产厂房内的管道应利用净化区上,下技术夹层的空间进行布置、11、0。4 净化区上技术夹层内除消防管道外。不宜设置水管及其他液体输送管道。11、0,5 主要管线在上技术夹层布置时,应计及气流组织的空间.排风管道和大宗气体以及特种气体管道敷设的空间高度、11,0,6。在上技术夹层内宜设置检修通道.11 0.7,主要管线在下技术夹层布置时,应计及辅助设备 主管,支管 二次配管和消防喷淋管道的空间高度、11、0,8。在管道种类多,空间有限的区域宜设置公共管架 并应符合下列规定。1.在华夫板下和净化区高架地板下应留有二次配管配线的空间,2 尺寸较大的管道宜布置在公共管架的上层,3,有坡度要求的管道宜布置在管道的下层、4 管道改变方式时宜同时改变管道的标高。5,应为今后扩展预留管道空间和荷载,6、由梁、柱承重的公共管架宜在结构施工时预埋承重构件
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