11、空间管理11、0,1 硅集成电路芯片工厂室外空间管理,应符合下列规定。1,室外管线宜采用架空敷设的方式集中布置.2。室外管架不应影响道路的正常通行 3,室外管架与邻近的建筑物的间距应满足管道安装及维护的要求、4、室外管架宜设置检修马道,5,室外管架的空间和荷载应为扩展留有余量,11 0,2。生产厂房内的空间管理应符合下列规定,1,应满足设备的正常生产空间.2 不应影响设备维修以及搬入的空间,3 应满足辅助设备的维修,安装以及搬入。4、应满足设备检修的空间。5。管线之间以及管线与建筑物之间应预留足够的安装维修空间,6。应计及管道入口的空间及管道井的位置.7 应为今后扩展预留管道空间和荷载.11,0.3.生产厂房内的管道应利用净化区上、下技术夹层的空间进行布置,11。0,4,净化区上技术夹层内除消防管道外.不宜设置水管及其他液体输送管道。11,0。5、主要管线在上技术夹层布置时 应计及气流组织的空间.排风管道和大宗气体以及特种气体管道敷设的空间高度 11、0 6、在上技术夹层内宜设置检修通道。11。0 7,主要管线在下技术夹层布置时,应计及辅助设备.主管,支管,二次配管和消防喷淋管道的空间高度。11 0 8。在管道种类多,空间有限的区域宜设置公共管架 并应符合下列规定 1、在华夫板下和净化区高架地板下应留有二次配管配线的空间 2。尺寸较大的管道宜布置在公共管架的上层、3。有坡度要求的管道宜布置在管道的下层,4,管道改变方式时宜同时改变管道的标高,5。应为今后扩展预留管道空间和荷载、6、由梁。柱承重的公共管架宜在结构施工时预埋承重构件.