1、总。则1.0。1.为在硅集成电路芯片工厂设计中贯彻执行国家现行法律.法规.满足硅集成电路芯片生产要求、确保人身和财产安全。做到安全适用.技术先进.经济合理.环境友好.制定本规范、1、0 2、本规范适用于新建,改建和扩建的硅集成电路芯片工厂的工程设计 1。0.3,硅集成电路芯片工厂的设计应满足硅集成电路芯片生产工艺要求,同时应为施工安装,调试检测 安全运行、维护管理提供必要条件.1。0.4.硅集成电路芯片工厂的设计、除应符合本规范外,尚应符合国家现行有关标准的规定,
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