1 总.则1、0、1、为在硅集成电路芯片工厂设计中贯彻执行国家现行法律.法规,满足硅集成电路芯片生产要求 确保人身和财产安全 做到安全适用 技术先进 经济合理、环境友好.制定本规范.1。0,2,本规范适用于新建、改建和扩建的硅集成电路芯片工厂的工程设计。1,0,3、硅集成电路芯片工厂的设计应满足硅集成电路芯片生产工艺要求,同时应为施工安装.调试检测、安全运行。维护管理提供必要条件、1,0,4,硅集成电路芯片工厂的设计.除应符合本规范外。尚应符合国家现行有关标准的规定。
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