1,总 则1、0,1。为在硅集成电路芯片工厂设计中贯彻执行国家现行法律.法规。满足硅集成电路芯片生产要求.确保人身和财产安全,做到安全适用,技术先进,经济合理,环境友好,制定本规范、1,0,2、本规范适用于新建、改建和扩建的硅集成电路芯片工厂的工程设计.1 0,3、硅集成电路芯片工厂的设计应满足硅集成电路芯片生产工艺要求。同时应为施工安装、调试检测 安全运行,维护管理提供必要条件 1,0.4、硅集成电路芯片工厂的设计、除应符合本规范外、尚应符合国家现行有关标准的规定.

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