1.总,则1。0,1、为在硅集成电路芯片工厂设计中贯彻执行国家现行法律。法规.满足硅集成电路芯片生产要求,确保人身和财产安全,做到安全适用,技术先进。经济合理。环境友好、制定本规范.1、0.2、本规范适用于新建、改建和扩建的硅集成电路芯片工厂的工程设计 1 0、3。硅集成电路芯片工厂的设计应满足硅集成电路芯片生产工艺要求,同时应为施工安装 调试检测、安全运行、维护管理提供必要条件,1,0,4 硅集成电路芯片工厂的设计,除应符合本规范外,尚应符合国家现行有关标准的规定,
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