9.2,纯水系统9、2。1.纯水系统的设备配置除应满足所需水量和水质的要求外，还应满足运行灵活、安全可靠，便于操作管理。运行费用低等要求。9，2,2.纯水的制备,储存和输送设备 应符合电子产品生产工艺的要求,并应符合下列规定.1。纯水的制备。终端处理设备的选型和制造材料的选择。应满足供水水质 终端水质的要求，2.纯水储罐 输送设备的选型和制造材料的选择，应确保水质污染少.密封性好 不得有渗气现象 3,纯水制备，储存 输送设备应有效地防止水质降低，9。2。3。纯水系统应采用循环供水方式，宜采用单管式循环供水系统或设有独立回水管的双管式循环供水系统，并应符合下列规定.1。循环回流水量应大于设计供水量的30，2,干管流速应大于等于1、5m.s，3,不循环支管的长度不应大于管径的6倍,4 干管应设置清洗口。5.管道系统必须密封、不得有渗气现象.6.应配备在线水质检测仪表，7。对纯水水质要求严格的电子产品生产工艺.应采用双管式循环供水系统,9.2、4、纯水系统中与纯水直接接触的设备表面应光洁,平整，化学性质稳定 耐腐蚀。易清洗、易消毒。9 2 5，用于纯水系统的水质检测设备、量具.仪表、其连接不应使纯水水质降低 其检测范围和精度应符合纯水生产和检验的要求 9、2,6,纯水精处理或终端处理装置宜靠近用水生产设备设置、