15,3 微振动控制设计15、3.1。洁净厂房的微振动控制设计.应按下列阶段进行微振动测试分析.1，场地环境振动测试及分析 2，洁净厂房建筑结构振动特性测试及分析,3、精密设备、仪器安装地点环境振动测试及分析 4。微振动控制的最终测试及分析.15、3 2、有微振动控制要求的洁净室 区、其建筑结构的微振动控制设计,应符合下列规定 1,建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上,且基础应有足够刚度、2。应设置独立的建筑结构微振动控制体系，并应与厂房主体结构分隔.3。主体结构应根据微振动控制的要求,适当加大梁，柱。墙、基础等截面尺寸 15。3,3，有强烈振动的设备和管道、宜采取主动隔振措施.并应符合下列要求 1，宜采用隔振台、座,2 应选用刚度适当的隔振器,3，通往洁净室、区,的管道。宜采取隔振支，吊，架,柔性连接等隔振措施 15，3,4,洁净室内精密设备、仪器的被动隔振措施的设计，应符合下列要求，1。隔振台,座、应具有足够的刚度、2，应采用低刚度隔振设施、3，隔振系统各向阻尼比不应小于0 15 4,隔振台.座，应采取倾斜校正措施。5,隔振设施不应影响气流流型 6，当采用空气弹簧隔振器时。其供气系统应进行净化处理、并应达到洁净室空气洁净度等级的要求。