15 3,微振动控制设计15、3 1,洁净厂房的微振动控制设计 应按下列阶段进行微振动测试分析,1 场地环境振动测试及分析，2，洁净厂房建筑结构振动特性测试及分析，3,精密设备。仪器安装地点环境振动测试及分析.4、微振动控制的最终测试及分析 15,3,2,有微振动控制要求的洁净室.区，其建筑结构的微振动控制设计。应符合下列规定 1,建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上 且基础应有足够刚度。2 应设置独立的建筑结构微振动控制体系,并应与厂房主体结构分隔，3.主体结构应根据微振动控制的要求，适当加大梁、柱。墙.基础等截面尺寸 15。3.3。有强烈振动的设备和管道 宜采取主动隔振措施、并应符合下列要求。1、宜采用隔振台.座.2.应选用刚度适当的隔振器.3.通往洁净室，区 的管道。宜采取隔振支,吊、架.柔性连接等隔振措施。15、3、4,洁净室内精密设备.仪器的被动隔振措施的设计 应符合下列要求、1,隔振台,座，应具有足够的刚度 2,应采用低刚度隔振设施.3 隔振系统各向阻尼比不应小于0、15.4.隔振台，座、应采取倾斜校正措施,5。隔振设施不应影响气流流型，6.当采用空气弹簧隔振器时.其供气系统应进行净化处理。并应达到洁净室空气洁净度等级的要求.