15,3.微振动控制设计15.3,1。洁净厂房的微振动控制设计 应按下列阶段进行微振动测试分析。1,场地环境振动测试及分析.2 洁净厂房建筑结构振动特性测试及分析。3。精密设备.仪器安装地点环境振动测试及分析 4，微振动控制的最终测试及分析,15。3，2,有微振动控制要求的洁净室,区.其建筑结构的微振动控制设计.应符合下列规定，1 建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上 且基础应有足够刚度.2、应设置独立的建筑结构微振动控制体系、并应与厂房主体结构分隔。3，主体结构应根据微振动控制的要求。适当加大梁.柱 墙,基础等截面尺寸.15、3，3 有强烈振动的设备和管道,宜采取主动隔振措施。并应符合下列要求、1,宜采用隔振台.座。2,应选用刚度适当的隔振器 3.通往洁净室 区、的管道 宜采取隔振支。吊 架 柔性连接等隔振措施.15，3.4,洁净室内精密设备、仪器的被动隔振措施的设计。应符合下列要求、1。隔振台.座 应具有足够的刚度,2.应采用低刚度隔振设施、3。隔振系统各向阻尼比不应小于0，15，4.隔振台、座，应采取倾斜校正措施，5 隔振设施不应影响气流流型。6.当采用空气弹簧隔振器时 其供气系统应进行净化处理。并应达到洁净室空气洁净度等级的要求