15 3 微振动控制设计15。3、1.洁净厂房的微振动控制设计 应按下列阶段进行微振动测试分析.1、场地环境振动测试及分析,2,洁净厂房建筑结构振动特性测试及分析.3，精密设备 仪器安装地点环境振动测试及分析,4 微振动控制的最终测试及分析 15，3.2 有微振动控制要求的洁净室,区 其建筑结构的微振动控制设计.应符合下列规定 1。建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上.且基础应有足够刚度。2。应设置独立的建筑结构微振动控制体系，并应与厂房主体结构分隔、3，主体结构应根据微振动控制的要求、适当加大梁.柱、墙.基础等截面尺寸,15,3 3，有强烈振动的设备和管道.宜采取主动隔振措施,并应符合下列要求、1。宜采用隔振台 座、2 应选用刚度适当的隔振器.3、通往洁净室 区。的管道 宜采取隔振支、吊、架.柔性连接等隔振措施、15。3。4,洁净室内精密设备,仪器的被动隔振措施的设计,应符合下列要求，1.隔振台,座 应具有足够的刚度、2。应采用低刚度隔振设施,3.隔振系统各向阻尼比不应小于0，15,4、隔振台,座,应采取倾斜校正措施 5 隔振设施不应影响气流流型，6.当采用空气弹簧隔振器时、其供气系统应进行净化处理。并应达到洁净室空气洁净度等级的要求。