15,3、微振动控制设计15 3,1，洁净厂房的微振动控制设计、应按下列阶段进行微振动测试分析，1，场地环境振动测试及分析 2.洁净厂房建筑结构振动特性测试及分析 3.精密设备,仪器安装地点环境振动测试及分析.4。微振动控制的最终测试及分析.15 3、2,有微振动控制要求的洁净室。区，其建筑结构的微振动控制设计 应符合下列规定,1、建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上,且基础应有足够刚度.2 应设置独立的建筑结构微振动控制体系、并应与厂房主体结构分隔,3 主体结构应根据微振动控制的要求 适当加大梁、柱,墙 基础等截面尺寸。15、3，3，有强烈振动的设备和管道、宜采取主动隔振措施.并应符合下列要求,1。宜采用隔振台 座.2，应选用刚度适当的隔振器，3 通往洁净室。区.的管道,宜采取隔振支,吊 架 柔性连接等隔振措施、15。3,4、洁净室内精密设备。仪器的被动隔振措施的设计 应符合下列要求 1 隔振台、座，应具有足够的刚度,2、应采用低刚度隔振设施。3.隔振系统各向阻尼比不应小于0。15，4，隔振台。座.应采取倾斜校正措施,5.隔振设施不应影响气流流型,6。当采用空气弹簧隔振器时,其供气系统应进行净化处理，并应达到洁净室空气洁净度等级的要求，