15、3 微振动控制设计15 3,1 洁净厂房的微振动控制设计.应按下列阶段进行微振动测试分析.1.场地环境振动测试及分析 2 洁净厂房建筑结构振动特性测试及分析，3、精密设备 仪器安装地点环境振动测试及分析、4.微振动控制的最终测试及分析,15，3,2、有微振动控制要求的洁净室。区.其建筑结构的微振动控制设计、应符合下列规定、1,建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上，且基础应有足够刚度,2，应设置独立的建筑结构微振动控制体系 并应与厂房主体结构分隔、3，主体结构应根据微振动控制的要求，适当加大梁。柱,墙。基础等截面尺寸，15.3，3,有强烈振动的设备和管道,宜采取主动隔振措施 并应符合下列要求。1。宜采用隔振台，座,2、应选用刚度适当的隔振器、3,通往洁净室,区、的管道、宜采取隔振支、吊.架、柔性连接等隔振措施.15,3 4。洁净室内精密设备 仪器的被动隔振措施的设计、应符合下列要求 1,隔振台.座、应具有足够的刚度，2.应采用低刚度隔振设施。3.隔振系统各向阻尼比不应小于0、15，4 隔振台、座。应采取倾斜校正措施,5、隔振设施不应影响气流流型 6。当采用空气弹簧隔振器时，其供气系统应进行净化处理、并应达到洁净室空气洁净度等级的要求。