15 3 微振动控制设计15。3、1，洁净厂房的微振动控制设计、应按下列阶段进行微振动测试分析、1,场地环境振动测试及分析，2 洁净厂房建筑结构振动特性测试及分析,3 精密设备,仪器安装地点环境振动测试及分析、4。微振动控制的最终测试及分析。15 3。2,有微振动控制要求的洁净室 区、其建筑结构的微振动控制设计。应符合下列规定、1 建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上.且基础应有足够刚度、2。应设置独立的建筑结构微振动控制体系,并应与厂房主体结构分隔。3 主体结构应根据微振动控制的要求，适当加大梁 柱、墙,基础等截面尺寸.15。3 3,有强烈振动的设备和管道、宜采取主动隔振措施，并应符合下列要求,1,宜采用隔振台，座，2，应选用刚度适当的隔振器,3.通往洁净室,区、的管道,宜采取隔振支.吊、架、柔性连接等隔振措施 15.3、4。洁净室内精密设备。仪器的被动隔振措施的设计,应符合下列要求、1，隔振台、座 应具有足够的刚度，2.应采用低刚度隔振设施,3,隔振系统各向阻尼比不应小于0 15,4,隔振台。座 应采取倾斜校正措施.5.隔振设施不应影响气流流型、6、当采用空气弹簧隔振器时、其供气系统应进行净化处理。并应达到洁净室空气洁净度等级的要求.