15、3,微振动控制设计15 3，1,洁净厂房的微振动控制设计 应按下列阶段进行微振动测试分析，1 场地环境振动测试及分析 2，洁净厂房建筑结构振动特性测试及分析。3，精密设备.仪器安装地点环境振动测试及分析.4.微振动控制的最终测试及分析。15 3、2,有微振动控制要求的洁净室.区，其建筑结构的微振动控制设计。应符合下列规定。1，建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上 且基础应有足够刚度 2、应设置独立的建筑结构微振动控制体系，并应与厂房主体结构分隔.3,主体结构应根据微振动控制的要求.适当加大梁.柱.墙.基础等截面尺寸。15 3.3，有强烈振动的设备和管道,宜采取主动隔振措施。并应符合下列要求、1.宜采用隔振台,座。2，应选用刚度适当的隔振器，3。通往洁净室 区，的管道。宜采取隔振支。吊，架，柔性连接等隔振措施，15,3，4 洁净室内精密设备，仪器的被动隔振措施的设计.应符合下列要求,1。隔振台,座。应具有足够的刚度 2 应采用低刚度隔振设施.3 隔振系统各向阻尼比不应小于0,15，4、隔振台、座.应采取倾斜校正措施.5 隔振设施不应影响气流流型 6 当采用空气弹簧隔振器时。其供气系统应进行净化处理,并应达到洁净室空气洁净度等级的要求,