15 3,微振动控制设计15 3,1 洁净厂房的微振动控制设计、应按下列阶段进行微振动测试分析、1、场地环境振动测试及分析。2 洁净厂房建筑结构振动特性测试及分析、3,精密设备 仪器安装地点环境振动测试及分析。4。微振动控制的最终测试及分析、15，3、2,有微振动控制要求的洁净室、区.其建筑结构的微振动控制设计。应符合下列规定。1、建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上。且基础应有足够刚度，2.应设置独立的建筑结构微振动控制体系 并应与厂房主体结构分隔。3 主体结构应根据微振动控制的要求 适当加大梁,柱.墙。基础等截面尺寸 15 3，3，有强烈振动的设备和管道.宜采取主动隔振措施,并应符合下列要求,1。宜采用隔振台。座,2，应选用刚度适当的隔振器。3、通往洁净室 区 的管道，宜采取隔振支，吊,架，柔性连接等隔振措施。15。3、4 洁净室内精密设备,仪器的被动隔振措施的设计、应符合下列要求，1,隔振台、座.应具有足够的刚度。2 应采用低刚度隔振设施.3.隔振系统各向阻尼比不应小于0.15，4。隔振台，座 应采取倾斜校正措施。5 隔振设施不应影响气流流型.6。当采用空气弹簧隔振器时 其供气系统应进行净化处理,并应达到洁净室空气洁净度等级的要求。