7,5。采暖,通风7、5，1,为使洁净室,区，内严格做到不产生或少产生尘粒,不滞留或少滞留尘粒.若洁净室.1X。需设置采暖设施时 不应采用散热器采暖。据调查了解,目前电子产品生产用洁净室、区，内大多不采用散热器采暖 为此本条作了严格规定。并为强制性条文 7，5 2 为确保局部排风系统的安全。稳定运行、电子工业洁净厂房内局部排风系统单独设置的要求、应符合现行国家标准 洁净厂房设计规范.GB，50073，2001中第6。5,3条规定，7,5、3,一些电子工业洁净厂房内使用各类品种。一定数量的可燃.易爆和有毒物质.其中以集成电路芯片制造工厂为最多。为确保电子产品生产的安全、可靠运行.通常在使用这些物质的生产设备均设有局部排风系统.在芯片制造用洁净厂房中的可燃 有毒或有害物质主要有、酸碱类、HF、HCl,H2SO4,HN03.NH3等,有机类,IPA、异丙醇,CHCl3.NBA,HMDS。丙酮等、特种气体,AsH3.SiH4。PH3，B2H6,HCl、NF3。WF6.SiHCl3 CF4 SF6.N20等 这些物质大部分对人类生存环境具有巨大的危害性.为此、电子工业洁净厂房设计中必须采取必要的技术措施。将危害性减少到最小,同时。还应采取技术措施 防止这些物质的排气系统对所在厂房的安全，卫生造成威胁或危害 本条的各项要求以此为出发点作出相应的规定，现对一些规定说明如下 1 排气系统中 含有水蒸气或凝结物质时.若不能排除系统中的凝结液、将使排气系统不能正常运行或造成安全事故或影响洁净室，区。的空气洁净度，为此本条规定。此类排风系统应设坡度及排放口，以便及时排出凝结物质.2、排气介质中含有剧毒物质时，该排风系统在运行过程中是不能停止运转的.一旦停机 将对洁净室工作人员和洁净厂房周围环境带来致命的或巨大的危害 为此本条规定。此类排风系统的排风机和处理设备应设备用，并设置应急电源 排风介质中含易燃、易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时。为确保安全运行 排风系统也不能停止运转 为此本条规定，此类系统的排风机应设备用,并应设应急电源,3。现将美国消防协会、NFPA.的NFPA 318.洁净室消防标准、中的相关条文摘录如下，供参考。第3,5、1条，排风系统必须设有自动应急电源 第3。5。2条 应急电源工作时。必须达到不低于排气系统50.的容量.第8,8节。使用可燃或易燃化学品的设备,必须具有可燃或易燃气体或蒸气浓度降低至爆炸下限20,以下的排气系统，7,5 4，为了避免含有毒性，爆炸危险性物质的排气管路向沿程或路由区域泄漏,形成安全事故的发生。本条规定,此类排气管路内压力应低于路由区域内的压力,即保持一定的负压值，美国消防协会的NFPA，318、洁净室消防标准,中第3.2、3条规定。含有有毒化学物质的排气系统压力 必须低于通过建筑区域的正常压力、7，5。6.制定本条的主要依据有。1.按现行国家标准。采暖通风与空气调节设计规范。GB50019.2003中第5 4,3条制定本条第1款规定。2，根据现行国家标准，采暖通风与空气调节设计规范 GB50019 2003中第5。4，6条规定本条第2款明确规定在洁净室，区 和洁净室。区。外设手动控制开关。为运行安全和管理要求,并规定应设自动控制开关 3、参照美国消防标准NFPA 318，洁净室消防标准，中第3,5，1条，排气通风系统应设置应急电源。为确保事故排风系统及时投入运行.不会因停电无法运行而诱发事故的发生。制定本条第3款的规定、