7。5.采暖,通风7.5。1。为使洁净室、区,内严格做到不产生或少产生尘粒 不滞留或少滞留尘粒,若洁净室,1X 需设置采暖设施时,不应采用散热器采暖，据调查了解。目前电子产品生产用洁净室.区,内大多不采用散热器采暖。为此本条作了严格规定,并为强制性条文、7、5 2、为确保局部排风系统的安全 稳定运行.电子工业洁净厂房内局部排风系统单独设置的要求,应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范、GB。50073。2001中第6、5。3条规定，7 5。3。一些电子工业洁净厂房内使用各类品种 一定数量的可燃，易爆和有毒物质,其中以集成电路芯片制造工厂为最多,为确保电子产品生产的安全,可靠运行.通常在使用这些物质的生产设备均设有局部排风系统、在芯片制造用洁净厂房中的可燃.有毒或有害物质主要有,酸碱类。HF。HCl.H2SO4、HN03。NH3等，有机类，IPA.异丙醇、CHCl3,NBA。HMDS、丙酮等。特种气体 AsH3,SiH4,PH3 B2H6 HCl.NF3。WF6、SiHCl3.CF4,SF6。N20等,这些物质大部分对人类生存环境具有巨大的危害性、为此.电子工业洁净厂房设计中必须采取必要的技术措施。将危害性减少到最小,同时.还应采取技术措施,防止这些物质的排气系统对所在厂房的安全。卫生造成威胁或危害,本条的各项要求以此为出发点作出相应的规定、现对一些规定说明如下。1 排气系统中.含有水蒸气或凝结物质时 若不能排除系统中的凝结液 将使排气系统不能正常运行或造成安全事故或影响洁净室、区，的空气洁净度、为此本条规定.此类排风系统应设坡度及排放口 以便及时排出凝结物质 2，排气介质中含有剧毒物质时.该排风系统在运行过程中是不能停止运转的.一旦停机 将对洁净室工作人员和洁净厂房周围环境带来致命的或巨大的危害 为此本条规定。此类排风系统的排风机和处理设备应设备用、并设置应急电源,排风介质中含易燃，易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时，为确保安全运行、排风系统也不能停止运转。为此本条规定，此类系统的排风机应设备用.并应设应急电源.3 现将美国消防协会。NFPA.的NFPA。318 洁净室消防标准,中的相关条文摘录如下、供参考.第3.5。1条.排风系统必须设有自动应急电源,第3,5、2条 应急电源工作时 必须达到不低于排气系统50,的容量。第8。8节、使用可燃或易燃化学品的设备,必须具有可燃或易燃气体或蒸气浓度降低至爆炸下限20,以下的排气系统。7,5，4，为了避免含有毒性,爆炸危险性物质的排气管路向沿程或路由区域泄漏、形成安全事故的发生。本条规定.此类排气管路内压力应低于路由区域内的压力、即保持一定的负压值。美国消防协会的NFPA，318。洁净室消防标准 中第3,2。3条规定，含有有毒化学物质的排气系统压力,必须低于通过建筑区域的正常压力 7.5,6 制定本条的主要依据有、1，按现行国家标准。采暖通风与空气调节设计规范、GB50019，2003中第5，4，3条制定本条第1款规定.2 根据现行国家标准,采暖通风与空气调节设计规范 GB50019.2003中第5 4,6条规定本条第2款明确规定在洁净室，区、和洁净室，区 外设手动控制开关,为运行安全和管理要求。并规定应设自动控制开关,3.参照美国消防标准NFPA，318.洁净室消防标准、中第3 5、1条、排气通风系统应设置应急电源.为确保事故排风系统及时投入运行。不会因停电无法运行而诱发事故的发生，制定本条第3款的规定,