7,5，采暖、通风7。5。1、为使洁净室.区、内严格做到不产生或少产生尘粒.不滞留或少滞留尘粒,若洁净室,1X,需设置采暖设施时 不应采用散热器采暖 据调查了解 目前电子产品生产用洁净室、区、内大多不采用散热器采暖，为此本条作了严格规定，并为强制性条文、7、5，2。为确保局部排风系统的安全 稳定运行,电子工业洁净厂房内局部排风系统单独设置的要求.应符合现行国家标准，洁净厂房设计规范 GB 50073.2001中第6。5 3条规定 7.5,3.一些电子工业洁净厂房内使用各类品种,一定数量的可燃，易爆和有毒物质.其中以集成电路芯片制造工厂为最多。为确保电子产品生产的安全 可靠运行、通常在使用这些物质的生产设备均设有局部排风系统.在芯片制造用洁净厂房中的可燃。有毒或有害物质主要有.酸碱类、HF.HCl、H2SO4 HN03,NH3等 有机类。IPA。异丙醇、CHCl3。NBA、HMDS,丙酮等 特种气体,AsH3.SiH4。PH3、B2H6 HCl,NF3、WF6。SiHCl3,CF4。SF6、N20等。这些物质大部分对人类生存环境具有巨大的危害性.为此，电子工业洁净厂房设计中必须采取必要的技术措施、将危害性减少到最小,同时 还应采取技术措施,防止这些物质的排气系统对所在厂房的安全、卫生造成威胁或危害,本条的各项要求以此为出发点作出相应的规定，现对一些规定说明如下。1,排气系统中.含有水蒸气或凝结物质时,若不能排除系统中的凝结液、将使排气系统不能正常运行或造成安全事故或影响洁净室、区,的空气洁净度.为此本条规定。此类排风系统应设坡度及排放口。以便及时排出凝结物质，2，排气介质中含有剧毒物质时。该排风系统在运行过程中是不能停止运转的。一旦停机 将对洁净室工作人员和洁净厂房周围环境带来致命的或巨大的危害 为此本条规定。此类排风系统的排风机和处理设备应设备用、并设置应急电源.排风介质中含易燃，易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时，为确保安全运行、排风系统也不能停止运转。为此本条规定 此类系统的排风机应设备用.并应设应急电源，3，现将美国消防协会，NFPA。的NFPA 318。洁净室消防标准 中的相关条文摘录如下,供参考.第3、5，1条、排风系统必须设有自动应急电源、第3,5，2条、应急电源工作时、必须达到不低于排气系统50 的容量,第8，8节 使用可燃或易燃化学品的设备，必须具有可燃或易燃气体或蒸气浓度降低至爆炸下限20,以下的排气系统 7。5.4，为了避免含有毒性。爆炸危险性物质的排气管路向沿程或路由区域泄漏.形成安全事故的发生,本条规定.此类排气管路内压力应低于路由区域内的压力、即保持一定的负压值.美国消防协会的NFPA，318。洁净室消防标准。中第3.2，3条规定。含有有毒化学物质的排气系统压力,必须低于通过建筑区域的正常压力，7，5、6，制定本条的主要依据有，1。按现行国家标准.采暖通风与空气调节设计规范.GB50019。2003中第5、4.3条制定本条第1款规定 2。根据现行国家标准.采暖通风与空气调节设计规范.GB50019,2003中第5，4.6条规定本条第2款明确规定在洁净室 区。和洁净室 区、外设手动控制开关，为运行安全和管理要求.并规定应设自动控制开关。3、参照美国消防标准NFPA,318。洁净室消防标准、中第3,5,1条，排气通风系统应设置应急电源.为确保事故排风系统及时投入运行 不会因停电无法运行而诱发事故的发生,制定本条第3款的规定.