7，5,采暖 通风7 5.1,为使洁净室.区.内严格做到不产生或少产生尘粒。不滞留或少滞留尘粒,若洁净室 1X、需设置采暖设施时 不应采用散热器采暖、据调查了解。目前电子产品生产用洁净室,区，内大多不采用散热器采暖,为此本条作了严格规定,并为强制性条文 7。5 2 为确保局部排风系统的安全 稳定运行。电子工业洁净厂房内局部排风系统单独设置的要求 应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范 GB.50073 2001中第6，5.3条规定，7 5，3。一些电子工业洁净厂房内使用各类品种。一定数量的可燃、易爆和有毒物质。其中以集成电路芯片制造工厂为最多,为确保电子产品生产的安全，可靠运行，通常在使用这些物质的生产设备均设有局部排风系统 在芯片制造用洁净厂房中的可燃，有毒或有害物质主要有。酸碱类 HF。HCl.H2SO4、HN03，NH3等。有机类.IPA，异丙醇 CHCl3，NBA，HMDS。丙酮等 特种气体、AsH3、SiH4,PH3.B2H6 HCl，NF3、WF6。SiHCl3。CF4,SF6，N20等,这些物质大部分对人类生存环境具有巨大的危害性、为此.电子工业洁净厂房设计中必须采取必要的技术措施、将危害性减少到最小 同时.还应采取技术措施 防止这些物质的排气系统对所在厂房的安全,卫生造成威胁或危害，本条的各项要求以此为出发点作出相应的规定、现对一些规定说明如下。1.排气系统中，含有水蒸气或凝结物质时。若不能排除系统中的凝结液。将使排气系统不能正常运行或造成安全事故或影响洁净室.区、的空气洁净度。为此本条规定，此类排风系统应设坡度及排放口，以便及时排出凝结物质 2,排气介质中含有剧毒物质时，该排风系统在运行过程中是不能停止运转的,一旦停机.将对洁净室工作人员和洁净厂房周围环境带来致命的或巨大的危害,为此本条规定、此类排风系统的排风机和处理设备应设备用，并设置应急电源，排风介质中含易燃、易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时 为确保安全运行.排风系统也不能停止运转。为此本条规定,此类系统的排风机应设备用.并应设应急电源、3、现将美国消防协会 NFPA，的NFPA，318.洁净室消防标准。中的相关条文摘录如下、供参考,第3.5,1条.排风系统必须设有自动应急电源，第3、5、2条,应急电源工作时,必须达到不低于排气系统50、的容量.第8，8节,使用可燃或易燃化学品的设备，必须具有可燃或易燃气体或蒸气浓度降低至爆炸下限20，以下的排气系统,7、5、4，为了避免含有毒性、爆炸危险性物质的排气管路向沿程或路由区域泄漏、形成安全事故的发生、本条规定.此类排气管路内压力应低于路由区域内的压力，即保持一定的负压值，美国消防协会的NFPA.318.洁净室消防标准 中第3、2、3条规定,含有有毒化学物质的排气系统压力 必须低于通过建筑区域的正常压力、7。5。6.制定本条的主要依据有.1.按现行国家标准，采暖通风与空气调节设计规范、GB50019.2003中第5.4 3条制定本条第1款规定 2、根据现行国家标准.采暖通风与空气调节设计规范.GB50019。2003中第5。4 6条规定本条第2款明确规定在洁净室.区.和洁净室,区.外设手动控制开关 为运行安全和管理要求。并规定应设自动控制开关 3.参照美国消防标准NFPA。318、洁净室消防标准,中第3 5。1条。排气通风系统应设置应急电源.为确保事故排风系统及时投入运行.不会因停电无法运行而诱发事故的发生、制定本条第3款的规定、