7，5，采暖。通风7。5、1，为使洁净室,区。内严格做到不产生或少产生尘粒、不滞留或少滞留尘粒,若洁净室,1X、需设置采暖设施时、不应采用散热器采暖,据调查了解。目前电子产品生产用洁净室 区、内大多不采用散热器采暖 为此本条作了严格规定,并为强制性条文.7，5.2 为确保局部排风系统的安全，稳定运行。电子工业洁净厂房内局部排风系统单独设置的要求 应符合现行国家标准 洁净厂房设计规范,GB，50073,2001中第6，5 3条规定.7.5、3.一些电子工业洁净厂房内使用各类品种,一定数量的可燃，易爆和有毒物质，其中以集成电路芯片制造工厂为最多 为确保电子产品生产的安全,可靠运行，通常在使用这些物质的生产设备均设有局部排风系统,在芯片制造用洁净厂房中的可燃、有毒或有害物质主要有 酸碱类、HF HCl.H2SO4,HN03 NH3等.有机类。IPA、异丙醇、CHCl3，NBA HMDS.丙酮等、特种气体 AsH3、SiH4，PH3 B2H6 HCl.NF3、WF6。SiHCl3。CF4。SF6。N20等.这些物质大部分对人类生存环境具有巨大的危害性 为此。电子工业洁净厂房设计中必须采取必要的技术措施.将危害性减少到最小,同时.还应采取技术措施 防止这些物质的排气系统对所在厂房的安全，卫生造成威胁或危害,本条的各项要求以此为出发点作出相应的规定，现对一些规定说明如下.1,排气系统中，含有水蒸气或凝结物质时,若不能排除系统中的凝结液，将使排气系统不能正常运行或造成安全事故或影响洁净室.区,的空气洁净度,为此本条规定、此类排风系统应设坡度及排放口,以便及时排出凝结物质、2 排气介质中含有剧毒物质时。该排风系统在运行过程中是不能停止运转的.一旦停机.将对洁净室工作人员和洁净厂房周围环境带来致命的或巨大的危害，为此本条规定,此类排风系统的排风机和处理设备应设备用.并设置应急电源.排风介质中含易燃 易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时、为确保安全运行，排风系统也不能停止运转、为此本条规定，此类系统的排风机应设备用，并应设应急电源 3，现将美国消防协会、NFPA、的NFPA。318，洁净室消防标准.中的相关条文摘录如下，供参考。第3，5、1条,排风系统必须设有自动应急电源 第3，5,2条.应急电源工作时,必须达到不低于排气系统50.的容量,第8，8节、使用可燃或易燃化学品的设备.必须具有可燃或易燃气体或蒸气浓度降低至爆炸下限20、以下的排气系统 7.5.4，为了避免含有毒性 爆炸危险性物质的排气管路向沿程或路由区域泄漏,形成安全事故的发生、本条规定,此类排气管路内压力应低于路由区域内的压力。即保持一定的负压值,美国消防协会的NFPA、318.洁净室消防标准。中第3。2，3条规定，含有有毒化学物质的排气系统压力、必须低于通过建筑区域的正常压力。7.5 6,制定本条的主要依据有、1，按现行国家标准。采暖通风与空气调节设计规范。GB50019.2003中第5，4.3条制定本条第1款规定 2、根据现行国家标准 采暖通风与空气调节设计规范、GB50019。2003中第5、4、6条规定本条第2款明确规定在洁净室,区、和洁净室,区.外设手动控制开关。为运行安全和管理要求.并规定应设自动控制开关，3.参照美国消防标准NFPA,318。洁净室消防标准 中第3 5，1条、排气通风系统应设置应急电源,为确保事故排风系统及时投入运行，不会因停电无法运行而诱发事故的发生。制定本条第3款的规定,