7。5，采暖、通风7 5,1。为使洁净室 区,内严格做到不产生或少产生尘粒、不滞留或少滞留尘粒,若洁净室、1X.需设置采暖设施时。不应采用散热器采暖、据调查了解，目前电子产品生产用洁净室.区 内大多不采用散热器采暖.为此本条作了严格规定.并为强制性条文,7 5.2。为确保局部排风系统的安全、稳定运行.电子工业洁净厂房内局部排风系统单独设置的要求、应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范 GB、50073,2001中第6，5，3条规定、7、5。3,一些电子工业洁净厂房内使用各类品种 一定数量的可燃、易爆和有毒物质.其中以集成电路芯片制造工厂为最多 为确保电子产品生产的安全，可靠运行，通常在使用这些物质的生产设备均设有局部排风系统 在芯片制造用洁净厂房中的可燃。有毒或有害物质主要有、酸碱类。HF.HCl H2SO4，HN03.NH3等,有机类，IPA、异丙醇 CHCl3。NBA.HMDS,丙酮等 特种气体，AsH3。SiH4。PH3 B2H6。HCl、NF3.WF6，SiHCl3 CF4.SF6，N20等，这些物质大部分对人类生存环境具有巨大的危害性、为此,电子工业洁净厂房设计中必须采取必要的技术措施,将危害性减少到最小、同时、还应采取技术措施.防止这些物质的排气系统对所在厂房的安全、卫生造成威胁或危害,本条的各项要求以此为出发点作出相应的规定,现对一些规定说明如下，1。排气系统中,含有水蒸气或凝结物质时.若不能排除系统中的凝结液,将使排气系统不能正常运行或造成安全事故或影响洁净室,区,的空气洁净度.为此本条规定、此类排风系统应设坡度及排放口，以便及时排出凝结物质.2,排气介质中含有剧毒物质时 该排风系统在运行过程中是不能停止运转的，一旦停机。将对洁净室工作人员和洁净厂房周围环境带来致命的或巨大的危害、为此本条规定，此类排风系统的排风机和处理设备应设备用,并设置应急电源,排风介质中含易燃、易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时，为确保安全运行，排风系统也不能停止运转 为此本条规定.此类系统的排风机应设备用,并应设应急电源 3 现将美国消防协会。NFPA,的NFPA,318.洁净室消防标准 中的相关条文摘录如下,供参考 第3 5,1条,排风系统必须设有自动应急电源，第3,5、2条，应急电源工作时、必须达到不低于排气系统50,的容量,第8、8节。使用可燃或易燃化学品的设备、必须具有可燃或易燃气体或蒸气浓度降低至爆炸下限20、以下的排气系统、7 5，4.为了避免含有毒性、爆炸危险性物质的排气管路向沿程或路由区域泄漏。形成安全事故的发生.本条规定,此类排气管路内压力应低于路由区域内的压力。即保持一定的负压值.美国消防协会的NFPA，318。洁净室消防标准,中第3 2.3条规定.含有有毒化学物质的排气系统压力、必须低于通过建筑区域的正常压力、7,5 6，制定本条的主要依据有。1.按现行国家标准 采暖通风与空气调节设计规范 GB50019。2003中第5。4.3条制定本条第1款规定，2、根据现行国家标准、采暖通风与空气调节设计规范、GB50019,2003中第5,4，6条规定本条第2款明确规定在洁净室,区、和洁净室,区,外设手动控制开关、为运行安全和管理要求。并规定应设自动控制开关 3、参照美国消防标准NFPA.318 洁净室消防标准 中第3.5.1条。排气通风系统应设置应急电源，为确保事故排风系统及时投入运行，不会因停电无法运行而诱发事故的发生,制定本条第3款的规定。