7 5.采暖。通风7,5 1，为使洁净室。区、内严格做到不产生或少产生尘粒,不滞留或少滞留尘粒 若洁净室.1X,需设置采暖设施时,不应采用散热器采暖,据调查了解 目前电子产品生产用洁净室、区.内大多不采用散热器采暖,为此本条作了严格规定、并为强制性条文。7.5。2 为确保局部排风系统的安全,稳定运行、电子工业洁净厂房内局部排风系统单独设置的要求。应符合现行国家标准 洁净厂房设计规范、GB、50073 2001中第6,5。3条规定,7、5，3，一些电子工业洁净厂房内使用各类品种 一定数量的可燃、易爆和有毒物质.其中以集成电路芯片制造工厂为最多 为确保电子产品生产的安全，可靠运行。通常在使用这些物质的生产设备均设有局部排风系统、在芯片制造用洁净厂房中的可燃,有毒或有害物质主要有、酸碱类、HF,HCl，H2SO4。HN03。NH3等 有机类、IPA 异丙醇,CHCl3，NBA、HMDS、丙酮等,特种气体，AsH3.SiH4，PH3，B2H6,HCl,NF3 WF6。SiHCl3 CF4。SF6.N20等，这些物质大部分对人类生存环境具有巨大的危害性、为此 电子工业洁净厂房设计中必须采取必要的技术措施，将危害性减少到最小 同时 还应采取技术措施。防止这些物质的排气系统对所在厂房的安全，卫生造成威胁或危害、本条的各项要求以此为出发点作出相应的规定，现对一些规定说明如下 1,排气系统中.含有水蒸气或凝结物质时.若不能排除系统中的凝结液，将使排气系统不能正常运行或造成安全事故或影响洁净室,区。的空气洁净度，为此本条规定,此类排风系统应设坡度及排放口，以便及时排出凝结物质、2.排气介质中含有剧毒物质时 该排风系统在运行过程中是不能停止运转的。一旦停机 将对洁净室工作人员和洁净厂房周围环境带来致命的或巨大的危害，为此本条规定,此类排风系统的排风机和处理设备应设备用。并设置应急电源.排风介质中含易燃。易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时，为确保安全运行 排风系统也不能停止运转 为此本条规定、此类系统的排风机应设备用、并应设应急电源.3 现将美国消防协会，NFPA 的NFPA,318,洁净室消防标准。中的相关条文摘录如下,供参考、第3.5.1条 排风系统必须设有自动应急电源、第3、5,2条.应急电源工作时 必须达到不低于排气系统50、的容量 第8 8节 使用可燃或易燃化学品的设备、必须具有可燃或易燃气体或蒸气浓度降低至爆炸下限20、以下的排气系统，7.5 4,为了避免含有毒性、爆炸危险性物质的排气管路向沿程或路由区域泄漏，形成安全事故的发生 本条规定,此类排气管路内压力应低于路由区域内的压力。即保持一定的负压值、美国消防协会的NFPA、318、洁净室消防标准,中第3 2，3条规定 含有有毒化学物质的排气系统压力，必须低于通过建筑区域的正常压力，7.5,6、制定本条的主要依据有，1.按现行国家标准。采暖通风与空气调节设计规范.GB50019，2003中第5.4，3条制定本条第1款规定,2,根据现行国家标准 采暖通风与空气调节设计规范 GB50019、2003中第5。4 6条规定本条第2款明确规定在洁净室，区,和洁净室 区，外设手动控制开关.为运行安全和管理要求 并规定应设自动控制开关.3。参照美国消防标准NFPA,318 洁净室消防标准 中第3,5、1条.排气通风系统应设置应急电源 为确保事故排风系统及时投入运行.不会因停电无法运行而诱发事故的发生，制定本条第3款的规定。