7 5.采暖，通风7 5、1。为使洁净室.区、内严格做到不产生或少产生尘粒,不滞留或少滞留尘粒、若洁净室。1X。需设置采暖设施时 不应采用散热器采暖.据调查了解 目前电子产品生产用洁净室，区 内大多不采用散热器采暖，为此本条作了严格规定 并为强制性条文，7 5 2、为确保局部排风系统的安全。稳定运行.电子工业洁净厂房内局部排风系统单独设置的要求 应符合现行国家标准。洁净厂房设计规范，GB。50073。2001中第6、5,3条规定。7，5。3 一些电子工业洁净厂房内使用各类品种,一定数量的可燃,易爆和有毒物质,其中以集成电路芯片制造工厂为最多 为确保电子产品生产的安全。可靠运行,通常在使用这些物质的生产设备均设有局部排风系统 在芯片制造用洁净厂房中的可燃。有毒或有害物质主要有、酸碱类,HF,HCl。H2SO4 HN03，NH3等。有机类.IPA。异丙醇 CHCl3。NBA HMDS 丙酮等,特种气体。AsH3 SiH4,PH3,B2H6，HCl NF3 WF6。SiHCl3 CF4.SF6。N20等,这些物质大部分对人类生存环境具有巨大的危害性，为此 电子工业洁净厂房设计中必须采取必要的技术措施。将危害性减少到最小,同时,还应采取技术措施 防止这些物质的排气系统对所在厂房的安全 卫生造成威胁或危害，本条的各项要求以此为出发点作出相应的规定.现对一些规定说明如下.1、排气系统中 含有水蒸气或凝结物质时.若不能排除系统中的凝结液 将使排气系统不能正常运行或造成安全事故或影响洁净室 区。的空气洁净度 为此本条规定，此类排风系统应设坡度及排放口,以便及时排出凝结物质。2,排气介质中含有剧毒物质时 该排风系统在运行过程中是不能停止运转的、一旦停机。将对洁净室工作人员和洁净厂房周围环境带来致命的或巨大的危害、为此本条规定。此类排风系统的排风机和处理设备应设备用.并设置应急电源,排风介质中含易燃，易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时.为确保安全运行,排风系统也不能停止运转.为此本条规定,此类系统的排风机应设备用 并应设应急电源 3，现将美国消防协会，NFPA,的NFPA、318，洁净室消防标准 中的相关条文摘录如下，供参考.第3、5。1条。排风系统必须设有自动应急电源.第3，5 2条、应急电源工作时，必须达到不低于排气系统50.的容量，第8 8节 使用可燃或易燃化学品的设备，必须具有可燃或易燃气体或蒸气浓度降低至爆炸下限20。以下的排气系统,7，5、4。为了避免含有毒性 爆炸危险性物质的排气管路向沿程或路由区域泄漏,形成安全事故的发生,本条规定，此类排气管路内压力应低于路由区域内的压力。即保持一定的负压值 美国消防协会的NFPA、318,洁净室消防标准.中第3、2、3条规定.含有有毒化学物质的排气系统压力、必须低于通过建筑区域的正常压力。7.5，6 制定本条的主要依据有 1.按现行国家标准、采暖通风与空气调节设计规范,GB50019。2003中第5、4,3条制定本条第1款规定.2,根据现行国家标准,采暖通风与空气调节设计规范 GB50019，2003中第5。4，6条规定本条第2款明确规定在洁净室、区 和洁净室,区,外设手动控制开关，为运行安全和管理要求，并规定应设自动控制开关，3 参照美国消防标准NFPA。318 洁净室消防标准，中第3，5 1条.排气通风系统应设置应急电源 为确保事故排风系统及时投入运行、不会因停电无法运行而诱发事故的发生、制定本条第3款的规定。