7 5.采暖，通风7,5 1、为使洁净室 区。内严格做到不产生或少产生尘粒 不滞留或少滞留尘粒、若洁净室。1X。需设置采暖设施时.不应采用散热器采暖.据调查了解，目前电子产品生产用洁净室 区，内大多不采用散热器采暖，为此本条作了严格规定.并为强制性条文.7,5、2。为确保局部排风系统的安全、稳定运行、电子工业洁净厂房内局部排风系统单独设置的要求.应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范,GB.50073.2001中第6，5、3条规定。7，5，3 一些电子工业洁净厂房内使用各类品种.一定数量的可燃。易爆和有毒物质.其中以集成电路芯片制造工厂为最多,为确保电子产品生产的安全，可靠运行,通常在使用这些物质的生产设备均设有局部排风系统，在芯片制造用洁净厂房中的可燃。有毒或有害物质主要有、酸碱类，HF HCl。H2SO4 HN03 NH3等.有机类 IPA 异丙醇,CHCl3、NBA。HMDS。丙酮等、特种气体，AsH3，SiH4,PH3 B2H6.HCl。NF3，WF6.SiHCl3 CF4,SF6,N20等.这些物质大部分对人类生存环境具有巨大的危害性，为此。电子工业洁净厂房设计中必须采取必要的技术措施、将危害性减少到最小.同时,还应采取技术措施,防止这些物质的排气系统对所在厂房的安全。卫生造成威胁或危害 本条的各项要求以此为出发点作出相应的规定,现对一些规定说明如下。1、排气系统中.含有水蒸气或凝结物质时,若不能排除系统中的凝结液、将使排气系统不能正常运行或造成安全事故或影响洁净室 区，的空气洁净度 为此本条规定。此类排风系统应设坡度及排放口、以便及时排出凝结物质。2、排气介质中含有剧毒物质时、该排风系统在运行过程中是不能停止运转的、一旦停机。将对洁净室工作人员和洁净厂房周围环境带来致命的或巨大的危害,为此本条规定，此类排风系统的排风机和处理设备应设备用，并设置应急电源。排风介质中含易燃 易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时,为确保安全运行.排风系统也不能停止运转、为此本条规定,此类系统的排风机应设备用。并应设应急电源，3，现将美国消防协会,NFPA，的NFPA 318、洁净室消防标准 中的相关条文摘录如下。供参考、第3,5.1条，排风系统必须设有自动应急电源 第3 5，2条 应急电源工作时、必须达到不低于排气系统50、的容量，第8 8节 使用可燃或易燃化学品的设备.必须具有可燃或易燃气体或蒸气浓度降低至爆炸下限20，以下的排气系统.7，5、4.为了避免含有毒性,爆炸危险性物质的排气管路向沿程或路由区域泄漏,形成安全事故的发生 本条规定、此类排气管路内压力应低于路由区域内的压力 即保持一定的负压值，美国消防协会的NFPA、318。洁净室消防标准.中第3，2，3条规定。含有有毒化学物质的排气系统压力 必须低于通过建筑区域的正常压力。7，5,6、制定本条的主要依据有.1.按现行国家标准.采暖通风与空气调节设计规范，GB50019 2003中第5 4，3条制定本条第1款规定 2，根据现行国家标准,采暖通风与空气调节设计规范，GB50019 2003中第5,4，6条规定本条第2款明确规定在洁净室,区。和洁净室,区、外设手动控制开关。为运行安全和管理要求 并规定应设自动控制开关。3.参照美国消防标准NFPA,318,洁净室消防标准、中第3、5.1条。排气通风系统应设置应急电源，为确保事故排风系统及时投入运行，不会因停电无法运行而诱发事故的发生.制定本条第3款的规定，