7.5，采暖 通风7、5 1.为使洁净室,区。内严格做到不产生或少产生尘粒,不滞留或少滞留尘粒、若洁净室,1X、需设置采暖设施时、不应采用散热器采暖 据调查了解 目前电子产品生产用洁净室，区。内大多不采用散热器采暖 为此本条作了严格规定,并为强制性条文、7.5.2。为确保局部排风系统的安全。稳定运行，电子工业洁净厂房内局部排风系统单独设置的要求。应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范、GB、50073.2001中第6.5、3条规定 7，5。3.一些电子工业洁净厂房内使用各类品种,一定数量的可燃,易爆和有毒物质.其中以集成电路芯片制造工厂为最多,为确保电子产品生产的安全。可靠运行 通常在使用这些物质的生产设备均设有局部排风系统、在芯片制造用洁净厂房中的可燃 有毒或有害物质主要有.酸碱类 HF，HCl,H2SO4，HN03。NH3等。有机类.IPA，异丙醇、CHCl3,NBA HMDS。丙酮等.特种气体，AsH3.SiH4.PH3。B2H6，HCl，NF3,WF6，SiHCl3 CF4。SF6、N20等。这些物质大部分对人类生存环境具有巨大的危害性，为此,电子工业洁净厂房设计中必须采取必要的技术措施，将危害性减少到最小,同时，还应采取技术措施.防止这些物质的排气系统对所在厂房的安全、卫生造成威胁或危害，本条的各项要求以此为出发点作出相应的规定、现对一些规定说明如下.1、排气系统中 含有水蒸气或凝结物质时，若不能排除系统中的凝结液.将使排气系统不能正常运行或造成安全事故或影响洁净室。区,的空气洁净度。为此本条规定,此类排风系统应设坡度及排放口，以便及时排出凝结物质。2，排气介质中含有剧毒物质时，该排风系统在运行过程中是不能停止运转的、一旦停机 将对洁净室工作人员和洁净厂房周围环境带来致命的或巨大的危害，为此本条规定,此类排风系统的排风机和处理设备应设备用，并设置应急电源，排风介质中含易燃 易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时。为确保安全运行,排风系统也不能停止运转。为此本条规定，此类系统的排风机应设备用,并应设应急电源、3,现将美国消防协会。NFPA，的NFPA，318，洁净室消防标准。中的相关条文摘录如下、供参考 第3、5、1条.排风系统必须设有自动应急电源 第3 5,2条,应急电源工作时,必须达到不低于排气系统50、的容量、第8.8节 使用可燃或易燃化学品的设备 必须具有可燃或易燃气体或蒸气浓度降低至爆炸下限20，以下的排气系统，7.5，4。为了避免含有毒性，爆炸危险性物质的排气管路向沿程或路由区域泄漏.形成安全事故的发生.本条规定，此类排气管路内压力应低于路由区域内的压力.即保持一定的负压值，美国消防协会的NFPA。318、洁净室消防标准。中第3 2 3条规定、含有有毒化学物质的排气系统压力,必须低于通过建筑区域的正常压力 7.5.6 制定本条的主要依据有,1、按现行国家标准,采暖通风与空气调节设计规范.GB50019。2003中第5、4,3条制定本条第1款规定。2，根据现行国家标准 采暖通风与空气调节设计规范,GB50019、2003中第5、4、6条规定本条第2款明确规定在洁净室、区 和洁净室。区 外设手动控制开关。为运行安全和管理要求。并规定应设自动控制开关。3。参照美国消防标准NFPA。318.洁净室消防标准,中第3 5,1条,排气通风系统应设置应急电源 为确保事故排风系统及时投入运行、不会因停电无法运行而诱发事故的发生.制定本条第3款的规定。