7，5.采暖，通风7、5 1，为使洁净室。区、内严格做到不产生或少产生尘粒.不滞留或少滞留尘粒、若洁净室、1X、需设置采暖设施时,不应采用散热器采暖、据调查了解,目前电子产品生产用洁净室，区,内大多不采用散热器采暖。为此本条作了严格规定,并为强制性条文，7 5 2。为确保局部排风系统的安全、稳定运行、电子工业洁净厂房内局部排风系统单独设置的要求，应符合现行国家标准，洁净厂房设计规范.GB、50073，2001中第6。5.3条规定,7，5，3 一些电子工业洁净厂房内使用各类品种,一定数量的可燃、易爆和有毒物质、其中以集成电路芯片制造工厂为最多,为确保电子产品生产的安全 可靠运行、通常在使用这些物质的生产设备均设有局部排风系统，在芯片制造用洁净厂房中的可燃、有毒或有害物质主要有 酸碱类.HF,HCl，H2SO4，HN03。NH3等。有机类、IPA。异丙醇、CHCl3,NBA.HMDS。丙酮等.特种气体,AsH3.SiH4,PH3、B2H6,HCl。NF3.WF6,SiHCl3、CF4、SF6。N20等。这些物质大部分对人类生存环境具有巨大的危害性。为此，电子工业洁净厂房设计中必须采取必要的技术措施.将危害性减少到最小 同时，还应采取技术措施,防止这些物质的排气系统对所在厂房的安全.卫生造成威胁或危害，本条的各项要求以此为出发点作出相应的规定、现对一些规定说明如下,1，排气系统中 含有水蒸气或凝结物质时,若不能排除系统中的凝结液，将使排气系统不能正常运行或造成安全事故或影响洁净室,区.的空气洁净度，为此本条规定，此类排风系统应设坡度及排放口，以便及时排出凝结物质 2.排气介质中含有剧毒物质时.该排风系统在运行过程中是不能停止运转的、一旦停机。将对洁净室工作人员和洁净厂房周围环境带来致命的或巨大的危害 为此本条规定。此类排风系统的排风机和处理设备应设备用、并设置应急电源。排风介质中含易燃。易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时 为确保安全运行 排风系统也不能停止运转。为此本条规定。此类系统的排风机应设备用。并应设应急电源 3 现将美国消防协会,NFPA。的NFPA。318 洁净室消防标准 中的相关条文摘录如下、供参考、第3 5,1条,排风系统必须设有自动应急电源.第3.5,2条 应急电源工作时、必须达到不低于排气系统50。的容量，第8，8节.使用可燃或易燃化学品的设备、必须具有可燃或易燃气体或蒸气浓度降低至爆炸下限20.以下的排气系统。7 5。4，为了避免含有毒性。爆炸危险性物质的排气管路向沿程或路由区域泄漏。形成安全事故的发生 本条规定。此类排气管路内压力应低于路由区域内的压力,即保持一定的负压值、美国消防协会的NFPA 318，洁净室消防标准。中第3，2,3条规定,含有有毒化学物质的排气系统压力，必须低于通过建筑区域的正常压力 7、5、6、制定本条的主要依据有,1 按现行国家标准.采暖通风与空气调节设计规范,GB50019。2003中第5，4,3条制定本条第1款规定.2 根据现行国家标准、采暖通风与空气调节设计规范.GB50019。2003中第5。4 6条规定本条第2款明确规定在洁净室。区,和洁净室.区.外设手动控制开关.为运行安全和管理要求、并规定应设自动控制开关.3,参照美国消防标准NFPA。318、洁净室消防标准。中第3 5，1条、排气通风系统应设置应急电源,为确保事故排风系统及时投入运行,不会因停电无法运行而诱发事故的发生，制定本条第3款的规定