7.5,采暖 通风7.5,1,为使洁净室 区。内严格做到不产生或少产生尘粒、不滞留或少滞留尘粒,若洁净室,1X。需设置采暖设施时.不应采用散热器采暖、据调查了解,目前电子产品生产用洁净室、区,内大多不采用散热器采暖.为此本条作了严格规定.并为强制性条文 7。5,2 为确保局部排风系统的安全、稳定运行,电子工业洁净厂房内局部排风系统单独设置的要求,应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范,GB、50073,2001中第6、5。3条规定,7。5。3,一些电子工业洁净厂房内使用各类品种,一定数量的可燃,易爆和有毒物质.其中以集成电路芯片制造工厂为最多,为确保电子产品生产的安全,可靠运行,通常在使用这些物质的生产设备均设有局部排风系统,在芯片制造用洁净厂房中的可燃.有毒或有害物质主要有、酸碱类,HF、HCl,H2SO4.HN03。NH3等、有机类.IPA、异丙醇,CHCl3.NBA.HMDS,丙酮等,特种气体,AsH3、SiH4。PH3.B2H6,HCl.NF3,WF6。SiHCl3。CF4,SF6,N20等。这些物质大部分对人类生存环境具有巨大的危害性,为此、电子工业洁净厂房设计中必须采取必要的技术措施,将危害性减少到最小。同时.还应采取技术措施。防止这些物质的排气系统对所在厂房的安全.卫生造成威胁或危害,本条的各项要求以此为出发点作出相应的规定 现对一些规定说明如下,1、排气系统中、含有水蒸气或凝结物质时 若不能排除系统中的凝结液.将使排气系统不能正常运行或造成安全事故或影响洁净室。区。的空气洁净度.为此本条规定,此类排风系统应设坡度及排放口.以便及时排出凝结物质、2,排气介质中含有剧毒物质时,该排风系统在运行过程中是不能停止运转的。一旦停机 将对洁净室工作人员和洁净厂房周围环境带来致命的或巨大的危害,为此本条规定 此类排风系统的排风机和处理设备应设备用.并设置应急电源、排风介质中含易燃。易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时.为确保安全运行。排风系统也不能停止运转。为此本条规定 此类系统的排风机应设备用。并应设应急电源、3,现将美国消防协会.NFPA.的NFPA,318,洁净室消防标准,中的相关条文摘录如下、供参考,第3 5 1条,排风系统必须设有自动应急电源、第3、5,2条。应急电源工作时.必须达到不低于排气系统50,的容量、第8、8节。使用可燃或易燃化学品的设备,必须具有可燃或易燃气体或蒸气浓度降低至爆炸下限20,以下的排气系统,7,5、4.为了避免含有毒性、爆炸危险性物质的排气管路向沿程或路由区域泄漏。形成安全事故的发生,本条规定 此类排气管路内压力应低于路由区域内的压力.即保持一定的负压值 美国消防协会的NFPA.318、洁净室消防标准,中第3.2,3条规定.含有有毒化学物质的排气系统压力。必须低于通过建筑区域的正常压力、7,5,6。制定本条的主要依据有 1、按现行国家标准,采暖通风与空气调节设计规范、GB50019,2003中第5 4,3条制定本条第1款规定,2,根据现行国家标准。采暖通风与空气调节设计规范 GB50019、2003中第5、4,6条规定本条第2款明确规定在洁净室,区、和洁净室、区。外设手动控制开关,为运行安全和管理要求.并规定应设自动控制开关,3,参照美国消防标准NFPA.318,洁净室消防标准,中第3,5.1条,排气通风系统应设置应急电源.为确保事故排风系统及时投入运行.不会因停电无法运行而诱发事故的发生 制定本条第3款的规定、