13。2。防静电措施13,2。1 洁净厂房防静电环境中。防静电地面的面层结构和材料应符合下列要求、1.防静电地面面层的选择、应满足电子产品生产工艺的要求、2 防静电地面的表层应采用静电耗散性材料,静电耗散性材料表面电阻率应为2。5,104。1,109Ω。3,防静电地面应设置导静电泄放设施和接地连接.其地面对地泄放电阻值应为1。105、1、108Ω。13。2 2,洁净厂房防静电环境的吊顶,墙面和柱面的装饰设计.应符合下列要求。1.一级防静电工作区的地面,墙面和柱面应采用导静电型。导静电型地面,墙面,柱面的表面电阻、对地电阻应为2,5、104 1,106Ω,摩擦起电电压不应大于100V、静电半衰期不应大于0,1s、2.二级防静电工作区的地面.墙面,柱面,顶棚 门和软帘应采用静电耗散型、静电耗散型地面、墙面、柱面和顶棚,门的表面电阻.对地电阻应为1,106.1.109Ω 摩擦起电电压不应大于200V 静电半衰期不应大于1s,但软帘的摩擦起电电压不应大于300V 3,三级防静电工作区的地面,墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料,顶棚。门等宜采用低起电材料.选用静电耗散型材料的地面、墙面和柱面,应符合本条第2款的要求、选用低起电材料的地面.墙面 柱面、顶棚。门等的摩擦起电电压不应大于1000V,13。2,3,洁净厂房防静电环境的门窗设计 应符合下列要求.1.应选用静电耗散材料制作门窗或采用耗散材料贴面、2 金属门窗表面应涂刷静电耗散性涂层。并应接地、3,室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时、玻璃表面应粘贴静电耗散性透明薄膜或喷涂静电耗散性涂层,13.2.4 洁净厂房防静电环境的装修设计应符合下列要求。1,各类装修材料应具有表面静电耗散性能、不得使用未经表面改性处理的高分子绝缘的装饰材料.2,各类装修的饰面应平整光滑。13、2,5.洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管,应选用导电材料制作 并应接地,13,2,6 洁净厂房防静电环境的净化空调系统,各种配管使用部分绝缘性材质时.应在其表面安装金属网,并应将其接地,当使用导电性橡胶软管时 应在软管上安装与其紧密结合的金属导体,并应采用接地引线与其可靠连接接地.13。2,7、洁净厂房防静电环境中 应根据生产工艺的需要设置静电消除器 防静电安全工作台,