13。2 防静电措施13、2。1，洁净厂房防静电环境中、防静电地面的面层结构和材料应符合下列要求,1、防静电地面面层的选择.应满足电子产品生产工艺的要求。2、防静电地面的表层应采用静电耗散性材料、静电耗散性材料表面电阻率应为2，5。104、1。109Ω.3、防静电地面应设置导静电泄放设施和接地连接 其地面对地泄放电阻值应为1、105。1，108Ω。13.2、2,洁净厂房防静电环境的吊顶,墙面和柱面的装饰设计。应符合下列要求、1.一级防静电工作区的地面。墙面和柱面应采用导静电型。导静电型地面。墙面,柱面的表面电阻.对地电阻应为2。5、104、1.106Ω，摩擦起电电压不应大于100V，静电半衰期不应大于0。1s，2 二级防静电工作区的地面、墙面.柱面.顶棚,门和软帘应采用静电耗散型、静电耗散型地面 墙面，柱面和顶棚，门的表面电阻,对地电阻应为1,106 1 109Ω.摩擦起电电压不应大于200V,静电半衰期不应大于1s.但软帘的摩擦起电电压不应大于300V，3、三级防静电工作区的地面 墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料 顶棚 门等宜采用低起电材料 选用静电耗散型材料的地面，墙面和柱面，应符合本条第2款的要求，选用低起电材料的地面、墙面，柱面.顶棚 门等的摩擦起电电压不应大于1000V。13，2。3 洁净厂房防静电环境的门窗设计 应符合下列要求，1、应选用静电耗散材料制作门窗或采用耗散材料贴面,2，金属门窗表面应涂刷静电耗散性涂层,并应接地.3 室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时。玻璃表面应粘贴静电耗散性透明薄膜或喷涂静电耗散性涂层、13。2。4,洁净厂房防静电环境的装修设计应符合下列要求.1.各类装修材料应具有表面静电耗散性能.不得使用未经表面改性处理的高分子绝缘的装饰材料,2,各类装修的饰面应平整光滑、13.2，5，洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管 应选用导电材料制作，并应接地,13。2。6。洁净厂房防静电环境的净化空调系统，各种配管使用部分绝缘性材质时.应在其表面安装金属网。并应将其接地.当使用导电性橡胶软管时、应在软管上安装与其紧密结合的金属导体,并应采用接地引线与其可靠连接接地 13。2，7，洁净厂房防静电环境中,应根据生产工艺的需要设置静电消除器、防静电安全工作台，