13,2,防静电措施13.2。1,洁净厂房防静电环境中,防静电地面的面层结构和材料应符合下列要求 1.防静电地面面层的选择、应满足电子产品生产工艺的要求.2,防静电地面的表层应采用静电耗散性材料。静电耗散性材料表面电阻率应为2 5 104.1.109Ω,3,防静电地面应设置导静电泄放设施和接地连接.其地面对地泄放电阻值应为1。105 1,108Ω,13,2.2。洁净厂房防静电环境的吊顶 墙面和柱面的装饰设计.应符合下列要求 1,一级防静电工作区的地面,墙面和柱面应采用导静电型。导静电型地面,墙面,柱面的表面电阻,对地电阻应为2,5,104,1.106Ω.摩擦起电电压不应大于100V 静电半衰期不应大于0,1s、2.二级防静电工作区的地面、墙面 柱面。顶棚 门和软帘应采用静电耗散型.静电耗散型地面.墙面,柱面和顶棚,门的表面电阻。对地电阻应为1。106,1,109Ω。摩擦起电电压不应大于200V.静电半衰期不应大于1s.但软帘的摩擦起电电压不应大于300V、3。三级防静电工作区的地面。墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料.顶棚。门等宜采用低起电材料.选用静电耗散型材料的地面、墙面和柱面。应符合本条第2款的要求.选用低起电材料的地面,墙面。柱面,顶棚。门等的摩擦起电电压不应大于1000V,13,2,3 洁净厂房防静电环境的门窗设计。应符合下列要求,1,应选用静电耗散材料制作门窗或采用耗散材料贴面、2,金属门窗表面应涂刷静电耗散性涂层 并应接地 3,室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时,玻璃表面应粘贴静电耗散性透明薄膜或喷涂静电耗散性涂层.13,2 4 洁净厂房防静电环境的装修设计应符合下列要求,1,各类装修材料应具有表面静电耗散性能 不得使用未经表面改性处理的高分子绝缘的装饰材料.2 各类装修的饰面应平整光滑。13.2,5.洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管,应选用导电材料制作 并应接地.13、2,6,洁净厂房防静电环境的净化空调系统,各种配管使用部分绝缘性材质时、应在其表面安装金属网,并应将其接地。当使用导电性橡胶软管时、应在软管上安装与其紧密结合的金属导体.并应采用接地引线与其可靠连接接地、13、2。7、洁净厂房防静电环境中、应根据生产工艺的需要设置静电消除器。防静电安全工作台。