13 2 防静电措施13,2.1 洁净厂房防静电环境中.防静电地面的面层结构和材料应符合下列要求.1,防静电地面面层的选择、应满足电子产品生产工艺的要求.2,防静电地面的表层应采用静电耗散性材料,静电耗散性材料表面电阻率应为2。5、104、1 109Ω、3、防静电地面应设置导静电泄放设施和接地连接,其地面对地泄放电阻值应为1,105。1。108Ω,13.2、2、洁净厂房防静电环境的吊顶,墙面和柱面的装饰设计.应符合下列要求,1。一级防静电工作区的地面,墙面和柱面应采用导静电型 导静电型地面。墙面,柱面的表面电阻,对地电阻应为2.5.104 1,106Ω,摩擦起电电压不应大于100V。静电半衰期不应大于0.1s、2,二级防静电工作区的地面。墙面、柱面。顶棚。门和软帘应采用静电耗散型 静电耗散型地面。墙面、柱面和顶棚、门的表面电阻。对地电阻应为1.106 1、109Ω 摩擦起电电压不应大于200V 静电半衰期不应大于1s 但软帘的摩擦起电电压不应大于300V,3.三级防静电工作区的地面 墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料.顶棚.门等宜采用低起电材料.选用静电耗散型材料的地面,墙面和柱面 应符合本条第2款的要求,选用低起电材料的地面.墙面。柱面,顶棚、门等的摩擦起电电压不应大于1000V。13 2,3.洁净厂房防静电环境的门窗设计.应符合下列要求、1,应选用静电耗散材料制作门窗或采用耗散材料贴面,2,金属门窗表面应涂刷静电耗散性涂层、并应接地、3。室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时,玻璃表面应粘贴静电耗散性透明薄膜或喷涂静电耗散性涂层,13、2、4。洁净厂房防静电环境的装修设计应符合下列要求,1、各类装修材料应具有表面静电耗散性能.不得使用未经表面改性处理的高分子绝缘的装饰材料,2。各类装修的饰面应平整光滑 13,2,5。洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管 应选用导电材料制作、并应接地 13。2.6、洁净厂房防静电环境的净化空调系统、各种配管使用部分绝缘性材质时,应在其表面安装金属网,并应将其接地,当使用导电性橡胶软管时,应在软管上安装与其紧密结合的金属导体。并应采用接地引线与其可靠连接接地,13,2.7、洁净厂房防静电环境中、应根据生产工艺的需要设置静电消除器、防静电安全工作台。
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