13.2.防静电措施13。2。1.洁净厂房防静电环境中 防静电地面的面层结构和材料应符合下列要求、1。防静电地面面层的选择,应满足电子产品生产工艺的要求,2,防静电地面的表层应采用静电耗散性材料,静电耗散性材料表面电阻率应为2,5,104.1、109Ω 3、防静电地面应设置导静电泄放设施和接地连接。其地面对地泄放电阻值应为1,105。1.108Ω,13、2 2,洁净厂房防静电环境的吊顶.墙面和柱面的装饰设计 应符合下列要求,1、一级防静电工作区的地面、墙面和柱面应采用导静电型,导静电型地面。墙面.柱面的表面电阻.对地电阻应为2。5。104,1.106Ω.摩擦起电电压不应大于100V。静电半衰期不应大于0 1s、2,二级防静电工作区的地面。墙面、柱面 顶棚,门和软帘应采用静电耗散型,静电耗散型地面.墙面。柱面和顶棚、门的表面电阻,对地电阻应为1,106。1 109Ω。摩擦起电电压不应大于200V.静电半衰期不应大于1s。但软帘的摩擦起电电压不应大于300V.3,三级防静电工作区的地面 墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料 顶棚,门等宜采用低起电材料。选用静电耗散型材料的地面 墙面和柱面、应符合本条第2款的要求 选用低起电材料的地面 墙面。柱面,顶棚.门等的摩擦起电电压不应大于1000V。13、2,3,洁净厂房防静电环境的门窗设计、应符合下列要求 1.应选用静电耗散材料制作门窗或采用耗散材料贴面。2,金属门窗表面应涂刷静电耗散性涂层,并应接地.3、室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时,玻璃表面应粘贴静电耗散性透明薄膜或喷涂静电耗散性涂层,13,2 4,洁净厂房防静电环境的装修设计应符合下列要求、1,各类装修材料应具有表面静电耗散性能、不得使用未经表面改性处理的高分子绝缘的装饰材料,2,各类装修的饰面应平整光滑。13,2 5,洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管,应选用导电材料制作。并应接地,13,2.6,洁净厂房防静电环境的净化空调系统,各种配管使用部分绝缘性材质时、应在其表面安装金属网,并应将其接地.当使用导电性橡胶软管时。应在软管上安装与其紧密结合的金属导体、并应采用接地引线与其可靠连接接地,13。2,7,洁净厂房防静电环境中,应根据生产工艺的需要设置静电消除器。防静电安全工作台。
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