13.2,防静电措施13 2.1.洁净厂房防静电环境中。防静电地面的面层结构和材料应符合下列要求 1,防静电地面面层的选择.应满足电子产品生产工艺的要求。2,防静电地面的表层应采用静电耗散性材料,静电耗散性材料表面电阻率应为2 5。104、1,109Ω 3、防静电地面应设置导静电泄放设施和接地连接 其地面对地泄放电阻值应为1、105.1、108Ω。13,2、2 洁净厂房防静电环境的吊顶,墙面和柱面的装饰设计,应符合下列要求 1。一级防静电工作区的地面,墙面和柱面应采用导静电型。导静电型地面,墙面,柱面的表面电阻,对地电阻应为2 5、104 1。106Ω 摩擦起电电压不应大于100V,静电半衰期不应大于0.1s,2、二级防静电工作区的地面,墙面。柱面.顶棚,门和软帘应采用静电耗散型。静电耗散型地面,墙面。柱面和顶棚 门的表面电阻.对地电阻应为1,106。1、109Ω 摩擦起电电压不应大于200V 静电半衰期不应大于1s 但软帘的摩擦起电电压不应大于300V、3,三级防静电工作区的地面、墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料,顶棚,门等宜采用低起电材料。选用静电耗散型材料的地面、墙面和柱面,应符合本条第2款的要求 选用低起电材料的地面 墙面、柱面。顶棚 门等的摩擦起电电压不应大于1000V.13 2。3,洁净厂房防静电环境的门窗设计。应符合下列要求,1、应选用静电耗散材料制作门窗或采用耗散材料贴面,2。金属门窗表面应涂刷静电耗散性涂层、并应接地、3 室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时 玻璃表面应粘贴静电耗散性透明薄膜或喷涂静电耗散性涂层,13.2、4、洁净厂房防静电环境的装修设计应符合下列要求.1,各类装修材料应具有表面静电耗散性能 不得使用未经表面改性处理的高分子绝缘的装饰材料,2,各类装修的饰面应平整光滑 13.2.5 洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管.应选用导电材料制作.并应接地 13、2,6.洁净厂房防静电环境的净化空调系统、各种配管使用部分绝缘性材质时。应在其表面安装金属网,并应将其接地、当使用导电性橡胶软管时,应在软管上安装与其紧密结合的金属导体。并应采用接地引线与其可靠连接接地.13,2,7,洁净厂房防静电环境中.应根据生产工艺的需要设置静电消除器,防静电安全工作台