13.2。防静电措施13,2.1.洁净厂房防静电环境中。防静电地面的面层结构和材料应符合下列要求、1.防静电地面面层的选择,应满足电子产品生产工艺的要求、2,防静电地面的表层应采用静电耗散性材料,静电耗散性材料表面电阻率应为2、5 104。1.109Ω,3、防静电地面应设置导静电泄放设施和接地连接 其地面对地泄放电阻值应为1,105 1.108Ω 13.2,2,洁净厂房防静电环境的吊顶、墙面和柱面的装饰设计,应符合下列要求。1,一级防静电工作区的地面,墙面和柱面应采用导静电型 导静电型地面 墙面,柱面的表面电阻,对地电阻应为2,5 104。1、106Ω,摩擦起电电压不应大于100V。静电半衰期不应大于0 1s 2。二级防静电工作区的地面。墙面。柱面,顶棚 门和软帘应采用静电耗散型.静电耗散型地面,墙面、柱面和顶棚.门的表面电阻。对地电阻应为1 106,1 109Ω。摩擦起电电压不应大于200V,静电半衰期不应大于1s,但软帘的摩擦起电电压不应大于300V。3,三级防静电工作区的地面,墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料,顶棚.门等宜采用低起电材料,选用静电耗散型材料的地面。墙面和柱面,应符合本条第2款的要求.选用低起电材料的地面 墙面 柱面、顶棚、门等的摩擦起电电压不应大于1000V 13、2、3 洁净厂房防静电环境的门窗设计、应符合下列要求.1。应选用静电耗散材料制作门窗或采用耗散材料贴面。2 金属门窗表面应涂刷静电耗散性涂层、并应接地、3。室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时、玻璃表面应粘贴静电耗散性透明薄膜或喷涂静电耗散性涂层、13、2,4、洁净厂房防静电环境的装修设计应符合下列要求,1,各类装修材料应具有表面静电耗散性能,不得使用未经表面改性处理的高分子绝缘的装饰材料,2.各类装修的饰面应平整光滑、13 2.5,洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管 应选用导电材料制作,并应接地,13、2,6.洁净厂房防静电环境的净化空调系统。各种配管使用部分绝缘性材质时 应在其表面安装金属网.并应将其接地,当使用导电性橡胶软管时,应在软管上安装与其紧密结合的金属导体,并应采用接地引线与其可靠连接接地。13、2。7 洁净厂房防静电环境中。应根据生产工艺的需要设置静电消除器.防静电安全工作台、