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13、2,防静电措施13、2,1,洁净厂房防静电环境中 防静电地面的面层结构和材料应符合下列要求。1,防静电地面面层的选择。应满足电子产品生产工艺的要求、2 防静电地面的表层应采用静电耗散性材料.静电耗散性材料表面电阻率应为2。5 104、1.109Ω.3 防静电地面应设置导静电泄放设施和接地连接,其地面对地泄放电阻值应为1.105,1。108Ω。13.2、2、洁净厂房防静电环境的吊顶 墙面和柱面的装饰设计,应符合下列要求,1。一级防静电工作区的地面、墙面和柱面应采用导静电型。导静电型地面 墙面。柱面的表面电阻 对地电阻应为2、5,104。1,106Ω、摩擦起电电压不应大于100V.静电半衰期不应大于0,1s,2 二级防静电工作区的地面,墙面.柱面,顶棚 门和软帘应采用静电耗散型 静电耗散型地面.墙面、柱面和顶棚.门的表面电阻。对地电阻应为1、106 1.109Ω。摩擦起电电压不应大于200V,静电半衰期不应大于1s.但软帘的摩擦起电电压不应大于300V.3,三级防静电工作区的地面。墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料 顶棚,门等宜采用低起电材料,选用静电耗散型材料的地面、墙面和柱面、应符合本条第2款的要求,选用低起电材料的地面,墙面,柱面,顶棚。门等的摩擦起电电压不应大于1000V、13,2,3 洁净厂房防静电环境的门窗设计,应符合下列要求。1,应选用静电耗散材料制作门窗或采用耗散材料贴面。2,金属门窗表面应涂刷静电耗散性涂层,并应接地,3.室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时,玻璃表面应粘贴静电耗散性透明薄膜或喷涂静电耗散性涂层。13,2。4,洁净厂房防静电环境的装修设计应符合下列要求,1.各类装修材料应具有表面静电耗散性能 不得使用未经表面改性处理的高分子绝缘的装饰材料.2,各类装修的饰面应平整光滑.13,2,5,洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管 应选用导电材料制作、并应接地、13,2 6 洁净厂房防静电环境的净化空调系统,各种配管使用部分绝缘性材质时.应在其表面安装金属网 并应将其接地 当使用导电性橡胶软管时、应在软管上安装与其紧密结合的金属导体 并应采用接地引线与其可靠连接接地.13 2 7,洁净厂房防静电环境中。应根据生产工艺的需要设置静电消除器,防静电安全工作台,
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