13 2 防静电措施13,2,1、洁净厂房防静电环境中。防静电地面的面层结构和材料应符合下列要求。1。防静电地面面层的选择。应满足电子产品生产工艺的要求、2，防静电地面的表层应采用静电耗散性材料，静电耗散性材料表面电阻率应为2 5.104 1.109Ω 3、防静电地面应设置导静电泄放设施和接地连接。其地面对地泄放电阻值应为1.105 1。108Ω,13.2、2.洁净厂房防静电环境的吊顶,墙面和柱面的装饰设计.应符合下列要求,1，一级防静电工作区的地面。墙面和柱面应采用导静电型、导静电型地面.墙面 柱面的表面电阻 对地电阻应为2。5、104、1，106Ω.摩擦起电电压不应大于100V。静电半衰期不应大于0。1s。2。二级防静电工作区的地面、墙面。柱面，顶棚、门和软帘应采用静电耗散型、静电耗散型地面 墙面,柱面和顶棚、门的表面电阻.对地电阻应为1 106,1、109Ω、摩擦起电电压不应大于200V.静电半衰期不应大于1s。但软帘的摩擦起电电压不应大于300V。3,三级防静电工作区的地面.墙面和柱面宜根据生产工艺要求采用静电耗散型材料或低起电材料。顶棚 门等宜采用低起电材料，选用静电耗散型材料的地面.墙面和柱面 应符合本条第2款的要求,选用低起电材料的地面.墙面.柱面、顶棚。门等的摩擦起电电压不应大于1000V。13、2，3、洁净厂房防静电环境的门窗设计 应符合下列要求 1、应选用静电耗散材料制作门窗或采用耗散材料贴面.2,金属门窗表面应涂刷静电耗散性涂层，并应接地 3,室内隔断和观察窗安装大面积玻璃时。玻璃表面应粘贴静电耗散性透明薄膜或喷涂静电耗散性涂层，13,2.4、洁净厂房防静电环境的装修设计应符合下列要求。1.各类装修材料应具有表面静电耗散性能。不得使用未经表面改性处理的高分子绝缘的装饰材料.2。各类装修的饰面应平整光滑，13.2,5，洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管、应选用导电材料制作。并应接地，13，2,6,洁净厂房防静电环境的净化空调系统,各种配管使用部分绝缘性材质时 应在其表面安装金属网.并应将其接地 当使用导电性橡胶软管时.应在软管上安装与其紧密结合的金属导体，并应采用接地引线与其可靠连接接地、13、2 7、洁净厂房防静电环境中。应根据生产工艺的需要设置静电消除器.防静电安全工作台、