7、空气净化和空调通风设计7 1 一般规定7 1,1.洁净厂房内各洁净室 区 的空气洁净度等级,应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定。7,1 2,气流流型应根据各洁净室。区,空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用 7 1、3 有下列情况之一者、净化空调系统宜分开设置、1。运行班次或使用时间不同,2,生产过程中散发的物质对其他工序 设备交叉污染,对产品质量或操作人员健康.安全有影响 3,对温。湿度控制要求差别大,4,洁净室、区.内工艺设备发热相差悬殊,5.净化空调系统与一般空调系统.6,系统风量过大的净化空调系统,7,1,4 洁净室,区,内的温度、相对湿度应符合本规范第3.2 3条的规定,7、1,5,洁净室,区。内的新鲜空气量应符合现行国家标准 洁净厂房设计规范。GB,50073的有关规定.7、1,6,洁净室,区,与周围的空间应保持一定的静压差、静压差应符合下列规定、1、各洁净室、区。与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定 2、不同等级的洁净室、区。之间的静压差应大于等于5Pa、3、洁净室,区.与非洁净室、区、之间的静压差应大于5Pa,4。洁净室。区,与室外的静压差应大于10Pa。7,1 7、洁净室 区。维持静压差值所需的压差风量、宜采用缝隙法或换气次数法确定。7 1,8、送风 回风和排风系统的启闭联锁、控制要求,应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范,GB、50073的有关规定.7,1。9,非连续运行的洁净室.可根据生产工艺要求设置值班送风,并应进行净化处理、7、1、10、洁净室。区.的清扫方式应根据洁净厂房的规模.空气洁净度等级等因素确定.洁净室,区 宜采用移动式高效真空吸尘器。对于空气洁净度等级为1、5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统 洁净室内的吸尘系统管道应暗敷