7 空气净化和空调通风设计7。1、一般规定7。1,1.洁净厂房内各洁净室.区,的空气洁净度等级.应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定,7、1.2。气流流型应根据各洁净室,区 空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用、7、1.3、有下列情况之一者、净化空调系统宜分开设置,1,运行班次或使用时间不同,2。生产过程中散发的物质对其他工序。设备交叉污染 对产品质量或操作人员健康。安全有影响。3.对温,湿度控制要求差别大、4.洁净室 区.内工艺设备发热相差悬殊。5。净化空调系统与一般空调系统、6,系统风量过大的净化空调系统 7.1,4。洁净室。区、内的温度、相对湿度应符合本规范第3 2,3条的规定,7 1、5 洁净室 区。内的新鲜空气量应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范、GB.50073的有关规定、7,1,6,洁净室。区。与周围的空间应保持一定的静压差.静压差应符合下列规定。1.各洁净室,区、与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定.2。不同等级的洁净室.区,之间的静压差应大于等于5Pa。3.洁净室,区。与非洁净室 区,之间的静压差应大于5Pa、4,洁净室,区.与室外的静压差应大于10Pa、7。1、7.洁净室 区,维持静压差值所需的压差风量、宜采用缝隙法或换气次数法确定、7、1,8。送风,回风和排风系统的启闭联锁、控制要求,应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范、GB 50073的有关规定,7、1,9、非连续运行的洁净室。可根据生产工艺要求设置值班送风,并应进行净化处理、7.1。10。洁净室 区 的清扫方式应根据洁净厂房的规模,空气洁净度等级等因素确定,洁净室 区、宜采用移动式高效真空吸尘器.对于空气洁净度等级为1,5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统 洁净室内的吸尘系统管道应暗敷、
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