7.空气净化和空调通风设计7,1、一般规定7、1,1、洁净厂房内各洁净室,区。的空气洁净度等级 应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定.7、1、2,气流流型应根据各洁净室.区,空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用 7.1,3。有下列情况之一者,净化空调系统宜分开设置 1 运行班次或使用时间不同 2 生产过程中散发的物质对其他工序,设备交叉污染,对产品质量或操作人员健康,安全有影响,3、对温,湿度控制要求差别大,4 洁净室,区。内工艺设备发热相差悬殊,5、净化空调系统与一般空调系统,6,系统风量过大的净化空调系统,7 1.4。洁净室 区。内的温度,相对湿度应符合本规范第3 2、3条的规定.7.1、5.洁净室 区,内的新鲜空气量应符合现行国家标准 洁净厂房设计规范,GB、50073的有关规定,7、1。6 洁净室,区、与周围的空间应保持一定的静压差.静压差应符合下列规定,1,各洁净室、区,与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定 2.不同等级的洁净室。区.之间的静压差应大于等于5Pa。3.洁净室。区,与非洁净室、区 之间的静压差应大于5Pa、4.洁净室,区,与室外的静压差应大于10Pa、7 1 7 洁净室,区 维持静压差值所需的压差风量,宜采用缝隙法或换气次数法确定 7。1。8、送风,回风和排风系统的启闭联锁.控制要求.应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范.GB.50073的有关规定、7.1.9 非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班送风。并应进行净化处理。7。1,10、洁净室,区、的清扫方式应根据洁净厂房的规模 空气洁净度等级等因素确定、洁净室,区 宜采用移动式高效真空吸尘器.对于空气洁净度等级为1.5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统 洁净室内的吸尘系统管道应暗敷、