7.空气净化和空调通风设计7、1,一般规定7,1,1。洁净厂房内各洁净室 区.的空气洁净度等级,应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定,7。1。2 气流流型应根据各洁净室.区 空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用,7、1,3、有下列情况之一者,净化空调系统宜分开设置.1,运行班次或使用时间不同 2,生产过程中散发的物质对其他工序,设备交叉污染,对产品质量或操作人员健康,安全有影响,3,对温.湿度控制要求差别大,4 洁净室。区、内工艺设备发热相差悬殊 5.净化空调系统与一般空调系统,6,系统风量过大的净化空调系统,7,1,4 洁净室,区,内的温度.相对湿度应符合本规范第3.2.3条的规定.7,1。5,洁净室、区、内的新鲜空气量应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范。GB,50073的有关规定 7,1,6 洁净室 区,与周围的空间应保持一定的静压差,静压差应符合下列规定、1、各洁净室,区,与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定,2、不同等级的洁净室,区 之间的静压差应大于等于5Pa、3 洁净室.区 与非洁净室、区.之间的静压差应大于5Pa,4,洁净室,区 与室外的静压差应大于10Pa、7,1。7.洁净室、区,维持静压差值所需的压差风量。宜采用缝隙法或换气次数法确定.7,1、8、送风.回风和排风系统的启闭联锁,控制要求,应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范、GB、50073的有关规定、7。1.9,非连续运行的洁净室、可根据生产工艺要求设置值班送风、并应进行净化处理。7。1、10,洁净室。区,的清扫方式应根据洁净厂房的规模 空气洁净度等级等因素确定,洁净室 区 宜采用移动式高效真空吸尘器,对于空气洁净度等级为1,5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统,洁净室内的吸尘系统管道应暗敷