7 空气净化和空调通风设计7 1,一般规定7 1。1、洁净厂房内各洁净室 区.的空气洁净度等级。应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定。7.1。2,气流流型应根据各洁净室,区、空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用。7、1。3。有下列情况之一者,净化空调系统宜分开设置。1。运行班次或使用时间不同,2,生产过程中散发的物质对其他工序.设备交叉污染,对产品质量或操作人员健康、安全有影响,3 对温.湿度控制要求差别大,4.洁净室 区。内工艺设备发热相差悬殊,5 净化空调系统与一般空调系统 6.系统风量过大的净化空调系统。7。1,4.洁净室。区、内的温度 相对湿度应符合本规范第3 2,3条的规定、7、1.5,洁净室 区。内的新鲜空气量应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范.GB.50073的有关规定、7 1。6 洁净室 区 与周围的空间应保持一定的静压差.静压差应符合下列规定.1 各洁净室 区。与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定 2,不同等级的洁净室、区。之间的静压差应大于等于5Pa,3 洁净室 区、与非洁净室、区 之间的静压差应大于5Pa,4。洁净室.区。与室外的静压差应大于10Pa,7。1。7.洁净室.区,维持静压差值所需的压差风量。宜采用缝隙法或换气次数法确定.7、1,8,送风。回风和排风系统的启闭联锁。控制要求,应符合现行国家标准.洁净厂房设计规范,GB、50073的有关规定 7,1、9。非连续运行的洁净室、可根据生产工艺要求设置值班送风 并应进行净化处理,7 1 10。洁净室,区 的清扫方式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等级等因素确定,洁净室、区、宜采用移动式高效真空吸尘器.对于空气洁净度等级为1、5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统.洁净室内的吸尘系统管道应暗敷。

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