7,空气净化和空调通风设计7,1 一般规定7,1、1,洁净厂房内各洁净室.区 的空气洁净度等级,应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定 7。1,2,气流流型应根据各洁净室。区、空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用、7 1,3 有下列情况之一者、净化空调系统宜分开设置。1。运行班次或使用时间不同。2、生产过程中散发的物质对其他工序 设备交叉污染,对产品质量或操作人员健康、安全有影响、3.对温 湿度控制要求差别大.4,洁净室.区、内工艺设备发热相差悬殊,5、净化空调系统与一般空调系统、6 系统风量过大的净化空调系统、7,1,4。洁净室.区,内的温度,相对湿度应符合本规范第3,2。3条的规定、7,1。5 洁净室,区 内的新鲜空气量应符合现行国家标准.洁净厂房设计规范,GB,50073的有关规定。7。1。6.洁净室,区、与周围的空间应保持一定的静压差,静压差应符合下列规定,1,各洁净室。区,与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定。2 不同等级的洁净室 区 之间的静压差应大于等于5Pa 3。洁净室,区。与非洁净室,区.之间的静压差应大于5Pa 4。洁净室,区 与室外的静压差应大于10Pa 7.1,7,洁净室,区,维持静压差值所需的压差风量 宜采用缝隙法或换气次数法确定、7,1.8.送风、回风和排风系统的启闭联锁。控制要求,应符合现行国家标准.洁净厂房设计规范、GB,50073的有关规定 7。1 9 非连续运行的洁净室 可根据生产工艺要求设置值班送风。并应进行净化处理。7 1 10,洁净室。区,的清扫方式应根据洁净厂房的规模,空气洁净度等级等因素确定。洁净室 区、宜采用移动式高效真空吸尘器、对于空气洁净度等级为1,5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统。洁净室内的吸尘系统管道应暗敷,