7,空气净化和空调通风设计7,1。一般规定7。1.1、洁净厂房内各洁净室 区,的空气洁净度等级.应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定,7.1,2。气流流型应根据各洁净室 区,空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用.7。1 3、有下列情况之一者。净化空调系统宜分开设置,1,运行班次或使用时间不同、2,生产过程中散发的物质对其他工序 设备交叉污染,对产品质量或操作人员健康,安全有影响,3,对温、湿度控制要求差别大,4.洁净室、区,内工艺设备发热相差悬殊、5,净化空调系统与一般空调系统,6,系统风量过大的净化空调系统。7。1 4.洁净室.区,内的温度.相对湿度应符合本规范第3.2。3条的规定.7、1,5,洁净室。区、内的新鲜空气量应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范、GB 50073的有关规定,7、1。6.洁净室,区.与周围的空间应保持一定的静压差,静压差应符合下列规定、1 各洁净室 区、与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定、2。不同等级的洁净室.区,之间的静压差应大于等于5Pa,3、洁净室,区。与非洁净室、区、之间的静压差应大于5Pa.4、洁净室,区 与室外的静压差应大于10Pa、7、1.7。洁净室。区 维持静压差值所需的压差风量.宜采用缝隙法或换气次数法确定.7、1,8、送风 回风和排风系统的启闭联锁、控制要求 应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范。GB 50073的有关规定,7、1 9.非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班送风,并应进行净化处理,7。1,10。洁净室 区,的清扫方式应根据洁净厂房的规模。空气洁净度等级等因素确定、洁净室 区 宜采用移动式高效真空吸尘器.对于空气洁净度等级为1.5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统、洁净室内的吸尘系统管道应暗敷、
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