7.空气净化和空调通风设计7,1.一般规定7,1,1、洁净厂房内各洁净室。区。的空气洁净度等级,应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定 7 1.2、气流流型应根据各洁净室。区.空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用,7、1,3、有下列情况之一者,净化空调系统宜分开设置,1,运行班次或使用时间不同,2,生产过程中散发的物质对其他工序,设备交叉污染。对产品质量或操作人员健康。安全有影响 3,对温、湿度控制要求差别大,4 洁净室,区、内工艺设备发热相差悬殊.5 净化空调系统与一般空调系统,6,系统风量过大的净化空调系统.7.1,4,洁净室。区、内的温度、相对湿度应符合本规范第3.2。3条的规定.7、1 5、洁净室,区、内的新鲜空气量应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范.GB。50073的有关规定。7。1,6 洁净室,区,与周围的空间应保持一定的静压差,静压差应符合下列规定。1,各洁净室 区,与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定,2.不同等级的洁净室.区 之间的静压差应大于等于5Pa.3.洁净室。区 与非洁净室.区,之间的静压差应大于5Pa,4.洁净室、区 与室外的静压差应大于10Pa、7,1。7,洁净室。区。维持静压差值所需的压差风量,宜采用缝隙法或换气次数法确定,7,1、8。送风 回风和排风系统的启闭联锁.控制要求,应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范,GB 50073的有关规定。7、1.9。非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班送风,并应进行净化处理,7,1,10.洁净室,区 的清扫方式应根据洁净厂房的规模,空气洁净度等级等因素确定、洁净室.区,宜采用移动式高效真空吸尘器 对于空气洁净度等级为1、5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统。洁净室内的吸尘系统管道应暗敷