7。空气净化和空调通风设计7。1 一般规定7，1。1 洁净厂房内各洁净室.区，的空气洁净度等级，应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定.7.1.2，气流流型应根据各洁净室,区、空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用、7 1、3.有下列情况之一者，净化空调系统宜分开设置 1 运行班次或使用时间不同,2,生产过程中散发的物质对其他工序,设备交叉污染 对产品质量或操作人员健康 安全有影响、3.对温.湿度控制要求差别大 4。洁净室.区,内工艺设备发热相差悬殊，5，净化空调系统与一般空调系统 6。系统风量过大的净化空调系统，7，1，4 洁净室.区.内的温度,相对湿度应符合本规范第3.2.3条的规定。7、1、5 洁净室。区、内的新鲜空气量应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范,GB，50073的有关规定,7 1。6，洁净室 区、与周围的空间应保持一定的静压差 静压差应符合下列规定、1、各洁净室，区 与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定，2.不同等级的洁净室。区、之间的静压差应大于等于5Pa.3。洁净室,区 与非洁净室,区。之间的静压差应大于5Pa，4,洁净室，区。与室外的静压差应大于10Pa、7 1、7.洁净室.区.维持静压差值所需的压差风量 宜采用缝隙法或换气次数法确定 7 1。8,送风 回风和排风系统的启闭联锁,控制要求，应符合现行国家标准.洁净厂房设计规范,GB 50073的有关规定 7、1、9,非连续运行的洁净室.可根据生产工艺要求设置值班送风.并应进行净化处理 7，1 10.洁净室、区 的清扫方式应根据洁净厂房的规模。空气洁净度等级等因素确定.洁净室、区 宜采用移动式高效真空吸尘器,对于空气洁净度等级为1。5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统 洁净室内的吸尘系统管道应暗敷,