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7.空气净化和空调通风设计7,1,一般规定7。1.1,洁净厂房内各洁净室 区。的空气洁净度等级。应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定、7 1,2、气流流型应根据各洁净室、区,空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用.7。1,3.有下列情况之一者.净化空调系统宜分开设置.1 运行班次或使用时间不同、2.生产过程中散发的物质对其他工序。设备交叉污染,对产品质量或操作人员健康、安全有影响、3 对温。湿度控制要求差别大、4、洁净室、区、内工艺设备发热相差悬殊。5、净化空调系统与一般空调系统。6。系统风量过大的净化空调系统,7、1。4,洁净室、区,内的温度.相对湿度应符合本规范第3。2,3条的规定,7、1、5、洁净室,区 内的新鲜空气量应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范,GB、50073的有关规定,7 1,6,洁净室,区,与周围的空间应保持一定的静压差,静压差应符合下列规定,1 各洁净室。区、与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定,2.不同等级的洁净室、区,之间的静压差应大于等于5Pa 3,洁净室、区。与非洁净室,区,之间的静压差应大于5Pa、4 洁净室,区、与室外的静压差应大于10Pa.7,1,7,洁净室、区 维持静压差值所需的压差风量。宜采用缝隙法或换气次数法确定,7.1。8。送风,回风和排风系统的启闭联锁.控制要求,应符合现行国家标准。洁净厂房设计规范,GB、50073的有关规定,7,1.9,非连续运行的洁净室.可根据生产工艺要求设置值班送风,并应进行净化处理,7、1 10。洁净室,区。的清扫方式应根据洁净厂房的规模.空气洁净度等级等因素确定、洁净室,区,宜采用移动式高效真空吸尘器、对于空气洁净度等级为1、5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统 洁净室内的吸尘系统管道应暗敷。
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