7,空气净化和空调通风设计7。1.一般规定7 1 1,洁净厂房内各洁净室,区、的空气洁净度等级,应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定.7.1,2。气流流型应根据各洁净室.区,空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用。7。1.3,有下列情况之一者、净化空调系统宜分开设置,1 运行班次或使用时间不同.2。生产过程中散发的物质对其他工序。设备交叉污染.对产品质量或操作人员健康、安全有影响,3,对温 湿度控制要求差别大,4,洁净室。区、内工艺设备发热相差悬殊 5,净化空调系统与一般空调系统.6、系统风量过大的净化空调系统.7,1,4,洁净室 区,内的温度,相对湿度应符合本规范第3,2,3条的规定 7,1。5 洁净室,区.内的新鲜空气量应符合现行国家标准 洁净厂房设计规范,GB。50073的有关规定.7。1.6。洁净室,区 与周围的空间应保持一定的静压差。静压差应符合下列规定。1,各洁净室。区,与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定.2、不同等级的洁净室.区.之间的静压差应大于等于5Pa,3,洁净室,区、与非洁净室。区,之间的静压差应大于5Pa,4,洁净室 区,与室外的静压差应大于10Pa 7,1。7 洁净室。区、维持静压差值所需的压差风量,宜采用缝隙法或换气次数法确定、7.1 8。送风,回风和排风系统的启闭联锁。控制要求、应符合现行国家标准。洁净厂房设计规范 GB、50073的有关规定 7 1,9.非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班送风,并应进行净化处理.7,1,10。洁净室。区 的清扫方式应根据洁净厂房的规模。空气洁净度等级等因素确定,洁净室。区、宜采用移动式高效真空吸尘器 对于空气洁净度等级为1.5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统.洁净室内的吸尘系统管道应暗敷
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