5、5。设备及工器具5。5.1.洁净室 区、内应采用具有防尘 防污染的生产设备和辅助生产设备,并应符合下列要求.1、表面应光洁，易清洁.不积尘。不挥发化学物质,2.设备的传动部件等应密封性能好、并应防止润滑油。冷却剂等的泄漏.3。对生产中发尘 排热量大或排出有毒。可燃气体的设备、应采取防扩散措施。4 设备的金属外壳应设置接地设施 5，5。2.当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室,区 时，宜采取密封隔断措施。5，5，3,洁净室.区。内的设备宜选用低噪声产品、当所选设备超过洁净室噪声容许值时,应采取隔声措施.5,5 4。洁净室，区 应设置对电子产品生产过程所使用的工器具进行净化处理的设施 5,5,5 洁净室，区，内。电子产品生产过程中各种零、部件存放和传送。宜采用专用容器，用于存放和传送的专用容器，应符合下列规定 1.制作材料应光洁.不吸湿.不锈蚀，不散发污染物。防静电 并在空气中不应被氧化、2，应密封性能好,3。当存放物有严格的洁净度要求时、宜充填高纯度或干燥氮气,4 构造，外形应满足生产工艺要求.并应方便操作和运送.5、5、6，洁净室.区、内设置真空泵时,应符合下列规定,1，使用油润滑的真空泵应设置除油装置。除油后尾气应排入排气系统、2、对传输含有可燃气体的真空泵.可燃气体浓度超过爆炸下限的20。时.应设尾气处理装置。在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分,3、传输易燃.自燃化学品或高浓度氧气的真空泵、应采用不燃泵油,并应配置氮气吹扫，氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁,