5，5.设备及工器具5,5、1。洁净室。区。内应采用具有防尘.防污染的生产设备和辅助生产设备,并应符合下列要求,1，表面应光洁。易清洁、不积尘.不挥发化学物质、2，设备的传动部件等应密封性能好,并应防止润滑油。冷却剂等的泄漏、3 对生产中发尘 排热量大或排出有毒、可燃气体的设备 应采取防扩散措施.4、设备的金属外壳应设置接地设施，5、5.2。当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室，区.时、宜采取密封隔断措施.5.5.3 洁净室，区.内的设备宜选用低噪声产品 当所选设备超过洁净室噪声容许值时、应采取隔声措施，5、5.4、洁净室,区。应设置对电子产品生产过程所使用的工器具进行净化处理的设施，5。5，5 洁净室.区。内。电子产品生产过程中各种零，部件存放和传送 宜采用专用容器、用于存放和传送的专用容器、应符合下列规定.1,制作材料应光洁、不吸湿，不锈蚀、不散发污染物。防静电、并在空气中不应被氧化.2.应密封性能好、3。当存放物有严格的洁净度要求时,宜充填高纯度或干燥氮气、4 构造.外形应满足生产工艺要求。并应方便操作和运送 5.5。6。洁净室,区，内设置真空泵时，应符合下列规定,1，使用油润滑的真空泵应设置除油装置,除油后尾气应排入排气系统。2、对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超过爆炸下限的20.时,应设尾气处理装置、在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分 3,传输易燃 自燃化学品或高浓度氧气的真空泵，应采用不燃泵油,并应配置氮气吹扫，氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁.