5,5,设备及工器具5，5 1,洁净室，区 内应采用具有防尘。防污染的生产设备和辅助生产设备,并应符合下列要求.1,表面应光洁。易清洁 不积尘。不挥发化学物质,2.设备的传动部件等应密封性能好,并应防止润滑油。冷却剂等的泄漏 3.对生产中发尘 排热量大或排出有毒。可燃气体的设备 应采取防扩散措施、4,设备的金属外壳应设置接地设施 5、5，2，当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室。区,时、宜采取密封隔断措施。5 5，3 洁净室，区、内的设备宜选用低噪声产品、当所选设备超过洁净室噪声容许值时 应采取隔声措施.5，5 4、洁净室，区 应设置对电子产品生产过程所使用的工器具进行净化处理的设施。5,5，5。洁净室、区，内、电子产品生产过程中各种零.部件存放和传送，宜采用专用容器 用于存放和传送的专用容器。应符合下列规定.1 制作材料应光洁。不吸湿.不锈蚀，不散发污染物、防静电、并在空气中不应被氧化，2，应密封性能好 3,当存放物有严格的洁净度要求时 宜充填高纯度或干燥氮气。4。构造，外形应满足生产工艺要求，并应方便操作和运送 5,5，6，洁净室,区，内设置真空泵时,应符合下列规定、1、使用油润滑的真空泵应设置除油装置,除油后尾气应排入排气系统。2.对传输含有可燃气体的真空泵.可燃气体浓度超过爆炸下限的20,时.应设尾气处理装置，在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分，3.传输易燃 自燃化学品或高浓度氧气的真空泵 应采用不燃泵油.并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁,