5。5，设备及工器具5，5，1,洁净室、区,内应采用具有防尘,防污染的生产设备和辅助生产设备 并应符合下列要求。1、表面应光洁。易清洁 不积尘,不挥发化学物质.2、设备的传动部件等应密封性能好,并应防止润滑油，冷却剂等的泄漏、3,对生产中发尘。排热量大或排出有毒 可燃气体的设备。应采取防扩散措施。4.设备的金属外壳应设置接地设施.5。5，2.当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室、区,时、宜采取密封隔断措施,5。5.3，洁净室、区、内的设备宜选用低噪声产品、当所选设备超过洁净室噪声容许值时 应采取隔声措施,5.5，4 洁净室 区、应设置对电子产品生产过程所使用的工器具进行净化处理的设施.5,5 5.洁净室.区,内 电子产品生产过程中各种零。部件存放和传送、宜采用专用容器，用于存放和传送的专用容器。应符合下列规定。1、制作材料应光洁，不吸湿，不锈蚀、不散发污染物.防静电,并在空气中不应被氧化,2,应密封性能好,3、当存放物有严格的洁净度要求时，宜充填高纯度或干燥氮气,4,构造。外形应满足生产工艺要求.并应方便操作和运送、5,5、6，洁净室。区。内设置真空泵时 应符合下列规定,1。使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统 2,对传输含有可燃气体的真空泵,可燃气体浓度超过爆炸下限的20、时 应设尾气处理装置.在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分。3。传输易燃，自燃化学品或高浓度氧气的真空泵 应采用不燃泵油。并应配置氮气吹扫.氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。