5.5.设备及工器具5，5 1.洁净室.区 内应采用具有防尘.防污染的生产设备和辅助生产设备，并应符合下列要求、1。表面应光洁.易清洁.不积尘,不挥发化学物质，2、设备的传动部件等应密封性能好，并应防止润滑油,冷却剂等的泄漏。3,对生产中发尘,排热量大或排出有毒，可燃气体的设备,应采取防扩散措施,4，设备的金属外壳应设置接地设施 5.5，2.当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室.区.时，宜采取密封隔断措施.5、5 3。洁净室 区，内的设备宜选用低噪声产品。当所选设备超过洁净室噪声容许值时.应采取隔声措施.5，5 4、洁净室,区。应设置对电子产品生产过程所使用的工器具进行净化处理的设施、5，5,5。洁净室 区、内 电子产品生产过程中各种零 部件存放和传送,宜采用专用容器,用于存放和传送的专用容器.应符合下列规定。1，制作材料应光洁.不吸湿,不锈蚀，不散发污染物 防静电 并在空气中不应被氧化。2 应密封性能好,3 当存放物有严格的洁净度要求时,宜充填高纯度或干燥氮气,4 构造 外形应满足生产工艺要求、并应方便操作和运送.5.5.6，洁净室。区,内设置真空泵时。应符合下列规定。1,使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统，2.对传输含有可燃气体的真空泵、可燃气体浓度超过爆炸下限的20.时.应设尾气处理装置.在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分、3、传输易燃.自燃化学品或高浓度氧气的真空泵,应采用不燃泵油、并应配置氮气吹扫，氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁,