5、5、设备及工器具5,5.1.洁净室、区，内应采用具有防尘，防污染的生产设备和辅助生产设备,并应符合下列要求、1 表面应光洁，易清洁,不积尘。不挥发化学物质,2、设备的传动部件等应密封性能好，并应防止润滑油,冷却剂等的泄漏.3.对生产中发尘.排热量大或排出有毒。可燃气体的设备。应采取防扩散措施 4.设备的金属外壳应设置接地设施,5 5.2。当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室、区，时。宜采取密封隔断措施.5 5.3、洁净室，区，内的设备宜选用低噪声产品,当所选设备超过洁净室噪声容许值时、应采取隔声措施，5、5 4，洁净室 区 应设置对电子产品生产过程所使用的工器具进行净化处理的设施 5，5、5.洁净室，区、内、电子产品生产过程中各种零,部件存放和传送、宜采用专用容器，用于存放和传送的专用容器.应符合下列规定。1 制作材料应光洁.不吸湿、不锈蚀 不散发污染物。防静电。并在空气中不应被氧化。2、应密封性能好、3。当存放物有严格的洁净度要求时、宜充填高纯度或干燥氮气，4。构造 外形应满足生产工艺要求,并应方便操作和运送 5。5、6。洁净室、区 内设置真空泵时、应符合下列规定,1.使用油润滑的真空泵应设置除油装置 除油后尾气应排入排气系统.2。对传输含有可燃气体的真空泵、可燃气体浓度超过爆炸下限的20，时.应设尾气处理装置,在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分,3。传输易燃。自燃化学品或高浓度氧气的真空泵，应采用不燃泵油.并应配置氮气吹扫 氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁，