5,5,设备及工器具5。5。1。洁净室。区、内应采用具有防尘、防污染的生产设备和辅助生产设备、并应符合下列要求、1.表面应光洁，易清洁、不积尘 不挥发化学物质。2、设备的传动部件等应密封性能好.并应防止润滑油。冷却剂等的泄漏。3.对生产中发尘,排热量大或排出有毒 可燃气体的设备 应采取防扩散措施，4、设备的金属外壳应设置接地设施，5，5,2 当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室,区。时.宜采取密封隔断措施。5 5。3.洁净室、区、内的设备宜选用低噪声产品,当所选设备超过洁净室噪声容许值时 应采取隔声措施 5、5。4。洁净室。区。应设置对电子产品生产过程所使用的工器具进行净化处理的设施,5.5,5.洁净室，区。内，电子产品生产过程中各种零,部件存放和传送，宜采用专用容器。用于存放和传送的专用容器。应符合下列规定、1.制作材料应光洁 不吸湿 不锈蚀、不散发污染物 防静电.并在空气中不应被氧化.2 应密封性能好。3、当存放物有严格的洁净度要求时、宜充填高纯度或干燥氮气.4,构造、外形应满足生产工艺要求,并应方便操作和运送，5.5，6、洁净室.区。内设置真空泵时.应符合下列规定，1 使用油润滑的真空泵应设置除油装置,除油后尾气应排入排气系统，2、对传输含有可燃气体的真空泵 可燃气体浓度超过爆炸下限的20。时。应设尾气处理装置.在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分 3，传输易燃 自燃化学品或高浓度氧气的真空泵。应采用不燃泵油。并应配置氮气吹扫,氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。