5 5 设备及工器具5，5、1，洁净室，区。内应采用具有防尘,防污染的生产设备和辅助生产设备.并应符合下列要求 1.表面应光洁、易清洁。不积尘,不挥发化学物质.2，设备的传动部件等应密封性能好。并应防止润滑油,冷却剂等的泄漏、3、对生产中发尘。排热量大或排出有毒、可燃气体的设备,应采取防扩散措施、4、设备的金属外壳应设置接地设施，5、5、2,当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室.区,时。宜采取密封隔断措施，5，5。3 洁净室.区.内的设备宜选用低噪声产品,当所选设备超过洁净室噪声容许值时 应采取隔声措施,5、5，4、洁净室。区.应设置对电子产品生产过程所使用的工器具进行净化处理的设施、5。5,5.洁净室.区 内,电子产品生产过程中各种零、部件存放和传送、宜采用专用容器,用于存放和传送的专用容器 应符合下列规定.1 制作材料应光洁 不吸湿、不锈蚀，不散发污染物 防静电 并在空气中不应被氧化、2，应密封性能好，3、当存放物有严格的洁净度要求时 宜充填高纯度或干燥氮气.4、构造、外形应满足生产工艺要求 并应方便操作和运送 5.5，6，洁净室，区.内设置真空泵时。应符合下列规定.1，使用油润滑的真空泵应设置除油装置、除油后尾气应排入排气系统.2,对传输含有可燃气体的真空泵,可燃气体浓度超过爆炸下限的20,时.应设尾气处理装置、在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分,3,传输易燃,自燃化学品或高浓度氧气的真空泵.应采用不燃泵油,并应配置氮气吹扫,氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁、