5，5,设备及工器具5、5、1 洁净室。区。内应采用具有防尘，防污染的生产设备和辅助生产设备 并应符合下列要求.1，表面应光洁,易清洁、不积尘，不挥发化学物质，2.设备的传动部件等应密封性能好、并应防止润滑油.冷却剂等的泄漏,3、对生产中发尘,排热量大或排出有毒.可燃气体的设备，应采取防扩散措施,4 设备的金属外壳应设置接地设施、5,5，2.当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室，区，时、宜采取密封隔断措施,5、5,3 洁净室，区、内的设备宜选用低噪声产品.当所选设备超过洁净室噪声容许值时、应采取隔声措施、5 5,4,洁净室 区,应设置对电子产品生产过程所使用的工器具进行净化处理的设施，5.5。5.洁净室，区。内，电子产品生产过程中各种零，部件存放和传送,宜采用专用容器、用于存放和传送的专用容器、应符合下列规定、1 制作材料应光洁,不吸湿。不锈蚀 不散发污染物、防静电.并在空气中不应被氧化。2、应密封性能好,3 当存放物有严格的洁净度要求时。宜充填高纯度或干燥氮气，4,构造 外形应满足生产工艺要求,并应方便操作和运送，5 5,6.洁净室。区,内设置真空泵时 应符合下列规定，1，使用油润滑的真空泵应设置除油装置。除油后尾气应排入排气系统 2 对传输含有可燃气体的真空泵,可燃气体浓度超过爆炸下限的20，时.应设尾气处理装置.在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分，3,传输易燃.自燃化学品或高浓度氧气的真空泵 应采用不燃泵油，并应配置氮气吹扫，氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁