5、5。设备及工器具5、5、1 洁净室、区。内应采用具有防尘，防污染的生产设备和辅助生产设备。并应符合下列要求 1，表面应光洁.易清洁、不积尘.不挥发化学物质、2、设备的传动部件等应密封性能好 并应防止润滑油、冷却剂等的泄漏 3,对生产中发尘,排热量大或排出有毒、可燃气体的设备。应采取防扩散措施 4、设备的金属外壳应设置接地设施。5 5 2,当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室,区，时、宜采取密封隔断措施，5,5、3.洁净室,区。内的设备宜选用低噪声产品 当所选设备超过洁净室噪声容许值时。应采取隔声措施。5,5.4,洁净室,区。应设置对电子产品生产过程所使用的工器具进行净化处理的设施 5、5，5,洁净室、区。内、电子产品生产过程中各种零、部件存放和传送。宜采用专用容器,用于存放和传送的专用容器,应符合下列规定、1,制作材料应光洁、不吸湿 不锈蚀。不散发污染物，防静电。并在空气中不应被氧化.2、应密封性能好,3、当存放物有严格的洁净度要求时 宜充填高纯度或干燥氮气,4、构造、外形应满足生产工艺要求 并应方便操作和运送、5、5,6,洁净室。区 内设置真空泵时.应符合下列规定，1,使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统 2，对传输含有可燃气体的真空泵。可燃气体浓度超过爆炸下限的20 时.应设尾气处理装置 在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分.3.传输易燃。自燃化学品或高浓度氧气的真空泵,应采用不燃泵油,并应配置氮气吹扫，氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁