5 5 设备及工器具5，5、1.洁净室.区，内应采用具有防尘,防污染的生产设备和辅助生产设备、并应符合下列要求 1、表面应光洁。易清洁。不积尘。不挥发化学物质，2.设备的传动部件等应密封性能好。并应防止润滑油.冷却剂等的泄漏,3。对生产中发尘，排热量大或排出有毒,可燃气体的设备.应采取防扩散措施,4，设备的金属外壳应设置接地设施,5.5.2.当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室 区,时，宜采取密封隔断措施，5,5,3，洁净室。区。内的设备宜选用低噪声产品。当所选设备超过洁净室噪声容许值时,应采取隔声措施。5,5，4。洁净室.区。应设置对电子产品生产过程所使用的工器具进行净化处理的设施,5、5.5，洁净室,区,内 电子产品生产过程中各种零,部件存放和传送。宜采用专用容器、用于存放和传送的专用容器，应符合下列规定，1，制作材料应光洁.不吸湿,不锈蚀 不散发污染物，防静电、并在空气中不应被氧化 2。应密封性能好 3。当存放物有严格的洁净度要求时。宜充填高纯度或干燥氮气,4，构造,外形应满足生产工艺要求。并应方便操作和运送 5 5，6、洁净室。区，内设置真空泵时,应符合下列规定 1、使用油润滑的真空泵应设置除油装置,除油后尾气应排入排气系统。2 对传输含有可燃气体的真空泵 可燃气体浓度超过爆炸下限的20.时，应设尾气处理装置、在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分。3 传输易燃、自燃化学品或高浓度氧气的真空泵 应采用不燃泵油、并应配置氮气吹扫,氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。