5，5.设备及工器具5，5、1.洁净室。区 内应采用具有防尘.防污染的生产设备和辅助生产设备.并应符合下列要求，1.表面应光洁，易清洁，不积尘.不挥发化学物质,2.设备的传动部件等应密封性能好。并应防止润滑油 冷却剂等的泄漏、3、对生产中发尘 排热量大或排出有毒,可燃气体的设备,应采取防扩散措施，4，设备的金属外壳应设置接地设施。5，5、2,当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室，区，时 宜采取密封隔断措施.5,5.3 洁净室 区、内的设备宜选用低噪声产品、当所选设备超过洁净室噪声容许值时，应采取隔声措施。5，5，4,洁净室.区。应设置对电子产品生产过程所使用的工器具进行净化处理的设施、5，5,5，洁净室，区。内 电子产品生产过程中各种零.部件存放和传送。宜采用专用容器，用于存放和传送的专用容器，应符合下列规定 1，制作材料应光洁。不吸湿 不锈蚀,不散发污染物，防静电。并在空气中不应被氧化 2、应密封性能好 3，当存放物有严格的洁净度要求时,宜充填高纯度或干燥氮气。4、构造，外形应满足生产工艺要求。并应方便操作和运送，5.5.6.洁净室,区 内设置真空泵时。应符合下列规定.1,使用油润滑的真空泵应设置除油装置、除油后尾气应排入排气系统、2 对传输含有可燃气体的真空泵,可燃气体浓度超过爆炸下限的20,时 应设尾气处理装置、在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分,3，传输易燃,自燃化学品或高浓度氧气的真空泵，应采用不燃泵油，并应配置氮气吹扫.氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。