4 总体设计4 1、位置选择和总平面布置4 1。1,电子产品生产用洁净厂房与其他工业洁净厂房的重要区别之一是一些电子产品生产对化学污染物有严格的要求、如微电子产品中需严格控制生产环境中的重金属,有机物的含量。在表2中列出集成度从64M发展到64G时，重金属要求从5.1010。原子，cm,2。严格至小于2，5.109,原子、cm.2，有机物从1，1014,原子.cm 2、严格至3、1012，原子，cm,2.据了解,一些微电子洁净厂房的产品生产中发现极微量的Na。等化学物质对产品生产影响极大 应予严格控制 近年来 国内外研究表明。由于全球环境保护的严峻形势和各类工业生产发展 人民生活水平提高都使大气中污染物种类，浓度发生了变化，尤其是城市中的工业燃烧排放物和汽车燃烧排放物的增加,大气中的微粒浓度.化学污染物也呈增加趋势，大气中化学污染物与所在地区的经济发展状况 固定燃烧源和移动燃烧源、汽车等、的组成，类型和数量关系密切 据大气检测表明.大气中的化学物质主要有阳离子Ca2。Na。Mg2.K 阴离子,Cl，F，等 还有一些浓度较低的Hg等,随着国民经济的发展 人民生活质量的提高.这些物质总的趋势是逐年增加，一些城市或一些具体场所还会由于工业生产或汽车数量的增加或气象条件的变化。有时或某一时间段这些化学物质的数量、浓度都会增加,所以在进行电子工厂特别在一些产品生产过程对化学污染物要求严格的洁净厂房的选址应予充分重视 为此，本条作出了三款的推荐性规定,4，1。2。本条规定电子工业洁净厂房的新风口与城市交通干道之间的距离,由于城市交通干道上运输车辆运行中所产生的污染物主要通过新风的吸入对洁净厂房产生影响、根据现行国家标准.洁净厂房设计规范。GB，50073的相关规定、此距离宜大于50m,近年来,我国各地区的城市交通于道两侧或城市交通于道与工厂之间都建设了绿化带 这些绿化带有以草坪为主或树。草间种或以树为主等多种形式，测试数据表明、各种形式的绿化带都具有一定吸尘 降低空气中微粒浓度的作用,所以本条规定 当电子工业洁净厂房与交通干道之间设有城市绿化带时,可视具体条件适当减少距离。4。1.3，对于有微振控制要求的电子工业洁净厂房的位置选择时,应实际测定拟建工厂厂址或已有工厂内拟选择洁净厂房的场地周围,现有振源和预测可能的振源的振动影响 此项测定正逐渐被相关科技人员和工程项目承建者关注和重视 但是由于微振控制要求和各类振源对微振控制的影响评价的技术复杂性,所以本条规定中强调、实际测定、和，模拟振源,的影响。4.1 4、近年来。电子工业洁净厂房的总平面布置时。在充分考虑电子产品生产工艺特点和具体工程项目中洁净厂房内各功能区，包括洁净生产区 辅助生产区、非洁净生产区.公用动力系统和办公等功能区.合理布置的情况下，在合理进行人流、物流组织。方便运行维护管理、合理布置公用动力管线。降低能量消耗.确保安全生产的条件下，常常将电子工业洁净厂房按组合式、大体量的综合性厂房布置,这些电子工厂投入使用后得到了各方面的认同 4。1 5 4、1。6 为减少电子工业洁净厂房周围的尘源或散发微粒的数量 在规范中规定.在洁净厂房周围及其周边或对于设有洁净厂房的电子工厂内相关道路的路面选择时。应选择整体性能好、不易产生裂缝的材料,不得选用容易发尘材料铺砌.通常推荐采用沥青路面,目前.电子工业洁净厂房周围进行绿化时.一般可以采用铺草坪的方式或草坪间种灌木等树种的方式，由于电子产品的品种较多 不可能推荐一种绿化方式.考虑到种植各类树种、花草等可能产生花粉等尘粒，并且微粒的化学组成十分复杂,为确保产品质量，本规范中规定、不宜种植对生产环境和产品质量有影响的植物 4,1。7 本条编写的依据是现行国家标准,建筑设计防火规范、GB.50016，2006中相关的规定,电子工业洁净厂房内均设有人净设施。物净设施等技术措施。洁净厂房内的疏散走道常常是曲折 多变、一旦出现火情后,为了方便消防人员能够及时到达出事地点,为此 本条对洁净厂房消防车道的设置不规定厂房占地面积下限值。