12，4 自动控制12。4.1，洁净厂房的自动控制系统宜采用集散式网络结构、并应具有稳定,可靠,节能 开放和可扩展性 12、4、2,洁净厂房应对净化空调，供热、供冷.纯水和气体供应等系统进行自动监控、12,4、3.洁净室.区、内外的压差监测 宜采用压差变送器通过控制系统调节洁净室,区.的送风量或回风量，12,4,4,净化空调系统采用电加热器时，电加热器与风机应联锁控制.并应设置无风,超温断电保护。当采用电加湿器时，应设置无水、无风断电保护 12,4、5、在满足生产工艺要求的前提下 宜对风机.水泵等动力设备采取变频调速等节能控制措施，