12，4 自动控制12。4,1 洁净厂房的自动控制系统宜采用集散式网络结构。并应具有稳定、可靠.节能 开放和可扩展性.12。4.2.洁净厂房应对净化空调。供热，供冷 纯水和气体供应等系统进行自动监控，12 4,3、洁净室.区 内外的压差监测，宜采用压差变送器通过控制系统调节洁净室，区、的送风量或回风量。12,4 4，净化空调系统采用电加热器时。电加热器与风机应联锁控制 并应设置无风.超温断电保护、当采用电加湿器时,应设置无水 无风断电保护、12，4 5.在满足生产工艺要求的前提下。宜对风机.水泵等动力设备采取变频调速等节能控制措施。