12。4,自动控制12,4.1.洁净厂房的自动控制系统宜采用集散式网络结构.并应具有稳定。可靠，节能.开放和可扩展性。12。4 2 洁净厂房应对净化空调，供热,供冷、纯水和气体供应等系统进行自动监控，12 4,3，洁净室 区,内外的压差监测,宜采用压差变送器通过控制系统调节洁净室.区.的送风量或回风量。12。4,4、净化空调系统采用电加热器时，电加热器与风机应联锁控制 并应设置无风。超温断电保护.当采用电加湿器时,应设置无水，无风断电保护.12。4、5 在满足生产工艺要求的前提下,宜对风机 水泵等动力设备采取变频调速等节能控制措施