12。4.自动控制12、4.1 洁净厂房的自动控制系统宜采用集散式网络结构,并应具有稳定、可靠.节能,开放和可扩展性，12，4、2、洁净厂房应对净化空调。供热.供冷 纯水和气体供应等系统进行自动监控、12 4,3.洁净室。区，内外的压差监测、宜采用压差变送器通过控制系统调节洁净室,区，的送风量或回风量、12.4,4,净化空调系统采用电加热器时 电加热器与风机应联锁控制。并应设置无风,超温断电保护.当采用电加湿器时，应设置无水.无风断电保护,12，4、5.在满足生产工艺要求的前提下，宜对风机,水泵等动力设备采取变频调速等节能控制措施,