12、4,自动控制12。4。1、洁净厂房的自动控制系统宜采用集散式网络结构.并应具有稳定，可靠 节能。开放和可扩展性、12,4，2,洁净厂房应对净化空调。供热、供冷,纯水和气体供应等系统进行自动监控,12 4，3 洁净室 区，内外的压差监测,宜采用压差变送器通过控制系统调节洁净室，区，的送风量或回风量 12,4.4，净化空调系统采用电加热器时。电加热器与风机应联锁控制,并应设置无风、超温断电保护.当采用电加湿器时、应设置无水,无风断电保护.12，4,5。在满足生产工艺要求的前提下 宜对风机、水泵等动力设备采取变频调速等节能控制措施,