10 气体供应10 1 一般规定10.1，1，洁净厂房内应根据生产的需求使用各种不同类型的特种气体，常用气体.干燥压缩空气。其气体品质应满足生产工艺要求 10。1.2 常用气体的供气方式和供气系统,应根据气体用量，气体品质和当地的供气状况等因素,经技术经济比较后确定、10 1.3.洁净厂房常用气体 特种气体的制备,储存,分配系统.除应符合本规范外.还应符合现行国家标准,建筑设计防火规范.GB50016,氢气站设计规范,GB。50177和,氧气站设计规范.GB.50030等的有关规定.10 1 4.洁净厂房内的气体管道的干管,应敷设在技术夹层或技术夹道内 当与水,电管线共架时。比空气重的气体管道宜设在水,电管线下部。比空气轻的气体管道宜设在水、电管线上部.10、1,5、洁净室，区、内的可燃气体管道和有毒气体管道应明敷.穿过洁净室.区.的墙壁或楼板处的管段应设置套管。套管内的管道不得有焊缝。套管与管道之间应采取密封措施、10 1。6,可燃气体管道和有毒气体管道不得穿过不使用此类气体的房间，当必须穿过时应设套管或双层管 10，1，7,高纯气体管道设计应符合下列规定、1、管径应按气体容许流量,压力或生产工艺设备确定，管外径不宜小于6mm。壁厚不宜小于1mm，2，不得出现不易吹除的、盲管 等死空间.3。管道系统应设置吹扫口和取样口 10、1。8,洁净厂房的可燃气体管道系统应设置下列安全设施 1 可燃气体管道设置阀门时应设置阀门箱 阀门箱应设置气体泄漏报警和事故排风装置.报警装置应与相应的事故排风机联锁。2、接至用气设备的支管和放散管.宜设置阻火设施,3，引至室外的放散管。应设置防雷保护设施,4,应设置导除静电的接地设施。10 1.9。气体过滤器应根据产品生产工艺对气体洁净度的要求进行选择和配置 终端气体过滤器应设置在靠近用气点处.