5.2，工艺布局5。2 1,洁净厂房的工艺布置应按产品生产工艺流程，洁净室的气流流型.工艺设备的安装和维修。物料运输等要求确定 在单向流洁净室内进行生产工艺设备,操作程序 人员流动路线和物料传输布置时 应采取避免发生气流干扰和交叉污染的措施。5,2、2、工艺布局应避免人流和物流之间的混杂和交叉、宜分别设置人员入口，物料入口和设备出入口。并应在各自的入口处设置相应的净化设施.5,2.3、在满足生产工艺和微振控制、噪声控制等要求的前提下,空气洁净度严格的洁净室,区.宜靠近空调机房布置.空气洁净度等级相同的工序或工作室宜集中布置。5,2,4，洁净室,区.内要求空气洁净度严格的工序、设备 应远离出入口和可能干扰气流的场所设置 并宜布置在上风侧,易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置或下风侧。5.2，5,工艺布置时 应根据大型生产工艺设备的运输.安装.维修的要求设置运输通道，安装口或检修口,5,2，6.洁净厂房内不同空气洁净度等级的洁净室、区、之间联系频繁时，应采取防止污染的措施，