5.2。工艺布局5。2,1.洁净厂房的工艺布置应按产品生产工艺流程。洁净室的气流流型,工艺设备的安装和维修。物料运输等要求确定,在单向流洁净室内进行生产工艺设备 操作程序。人员流动路线和物料传输布置时。应采取避免发生气流干扰和交叉污染的措施、5.2,2。工艺布局应避免人流和物流之间的混杂和交叉.宜分别设置人员入口.物料入口和设备出入口、并应在各自的入口处设置相应的净化设施,5 2,3。在满足生产工艺和微振控制，噪声控制等要求的前提下。空气洁净度严格的洁净室 区。宜靠近空调机房布置。空气洁净度等级相同的工序或工作室宜集中布置.5 2.4.洁净室，区.内要求空气洁净度严格的工序,设备.应远离出入口和可能干扰气流的场所设置,并宜布置在上风侧、易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置或下风侧 5。2、5.工艺布置时,应根据大型生产工艺设备的运输.安装.维修的要求设置运输通道.安装口或检修口,5、2、6，洁净厂房内不同空气洁净度等级的洁净室，区。之间联系频繁时 应采取防止污染的措施