5、2。工艺布局5。2,1，洁净厂房的工艺布置应按产品生产工艺流程，洁净室的气流流型.工艺设备的安装和维修，物料运输等要求确定 在单向流洁净室内进行生产工艺设备.操作程序 人员流动路线和物料传输布置时。应采取避免发生气流干扰和交叉污染的措施.5,2.2，工艺布局应避免人流和物流之间的混杂和交叉,宜分别设置人员入口 物料入口和设备出入口.并应在各自的入口处设置相应的净化设施、5 2 3、在满足生产工艺和微振控制，噪声控制等要求的前提下 空气洁净度严格的洁净室.区.宜靠近空调机房布置.空气洁净度等级相同的工序或工作室宜集中布置.5,2,4.洁净室。区,内要求空气洁净度严格的工序.设备.应远离出入口和可能干扰气流的场所设置，并宜布置在上风侧.易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置或下风侧.5、2，5,工艺布置时、应根据大型生产工艺设备的运输、安装。维修的要求设置运输通道.安装口或检修口 5、2 6。洁净厂房内不同空气洁净度等级的洁净室、区、之间联系频繁时,应采取防止污染的措施，