13,3。防静电接地13,3,1 洁净厂房内金属物体包括洁净室,区,的墙面、门窗,吊顶的金属骨架、应与接地系统做可靠连接.导静电地面、活动地板 工作台面 座椅等应做静电接地,13、3、2,静电接地的连接线应有足够的机械强度和化学稳定性。其主干线截面不应小于95mm2,支线最小截面应为2、5mm2 13,3,3,与人体接触的静电接地应串接限流电阻,限流电阻的阻值宜为1MΩ 13.3。4、对电子产品生产过程中产生静电危害的设备、流动液体,气体或粉体管道.应采取防静电接地措施 其中有爆炸和火灾危险的设备 管道应符合现行国家标准,爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范,GB 50058的有关规定,
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