10。4、特种气体系统10、4 1.特种气体应采用外购钢瓶气体 液态气体供应、在电子工厂内应设置储存、分配系统，10.4,2、洁净厂房内特种气体的储存分配间应采用耐火极限不低于2、0h不燃烧体的隔墙与洁净室。区，分隔，隔墙上的门窗应为甲级防火门窗、10.4。3 洁净室，区。内可燃或有毒的特种气体分配系统的设置.应符合下列规定，1,特种气体钢瓶.含硅烷或硅烷混合物,应设置在具有连续机械排风的特气柜中，2.排风机，泄漏报警，自动切断阀均应设置应急电源.3 一个特气分配系统供多台生产设备使用时、应设置多路阀门箱。4、可燃性、氧化性特种气体管道的设置应符合本规范第10，1和10。2节的有关规定。10、4。4，特种气体分配系统应设置吹扫盘.并应符合下列规定，1、应设置应急切断装置,2，应设置过流量控制装置,3 应设置手动隔离阀.4、吹扫气源不宜采用常用气体系统.5、不相容特种气体的吹扫盘不得共用吹扫气瓶,10 4,5。硅烷或硅烷混合物的气瓶应存放在洁净厂房建筑外的储存区内 储存区的设置应符合下列规定 1、储存区应至少三面敞开，气瓶应固定在钢制框架上。2,气瓶或气瓶组与周围的构筑物或围栏的间距应大于3,0m.3 储存区顶棚的高度应大于3,5m