10。4.特种气体系统10、4.1,特种气体应采用外购钢瓶气体。液态气体供应 在电子工厂内应设置储存,分配系统，10 4.2，洁净厂房内特种气体的储存分配间应采用耐火极限不低于2、0h不燃烧体的隔墙与洁净室，区.分隔 隔墙上的门窗应为甲级防火门窗。10,4.3,洁净室,区,内可燃或有毒的特种气体分配系统的设置,应符合下列规定 1,特种气体钢瓶，含硅烷或硅烷混合物,应设置在具有连续机械排风的特气柜中、2，排风机.泄漏报警。自动切断阀均应设置应急电源 3,一个特气分配系统供多台生产设备使用时、应设置多路阀门箱 4、可燃性、氧化性特种气体管道的设置应符合本规范第10.1和10、2节的有关规定.10.4、4、特种气体分配系统应设置吹扫盘 并应符合下列规定。1。应设置应急切断装置 2、应设置过流量控制装置,3，应设置手动隔离阀,4.吹扫气源不宜采用常用气体系统、5 不相容特种气体的吹扫盘不得共用吹扫气瓶,10,4，5、硅烷或硅烷混合物的气瓶应存放在洁净厂房建筑外的储存区内.储存区的设置应符合下列规定、1。储存区应至少三面敞开。气瓶应固定在钢制框架上、2 气瓶或气瓶组与周围的构筑物或围栏的间距应大于3.0m.3，储存区顶棚的高度应大于3,5m.