10.4,特种气体系统10 4，1.特种气体应采用外购钢瓶气体.液态气体供应，在电子工厂内应设置储存、分配系统.10 4 2，洁净厂房内特种气体的储存分配间应采用耐火极限不低于2.0h不燃烧体的隔墙与洁净室 区，分隔、隔墙上的门窗应为甲级防火门窗、10 4.3，洁净室,区.内可燃或有毒的特种气体分配系统的设置.应符合下列规定、1 特种气体钢瓶 含硅烷或硅烷混合物,应设置在具有连续机械排风的特气柜中、2 排风机 泄漏报警。自动切断阀均应设置应急电源 3，一个特气分配系统供多台生产设备使用时,应设置多路阀门箱，4。可燃性,氧化性特种气体管道的设置应符合本规范第10 1和10、2节的有关规定，10.4,4、特种气体分配系统应设置吹扫盘、并应符合下列规定、1、应设置应急切断装置、2，应设置过流量控制装置.3，应设置手动隔离阀.4、吹扫气源不宜采用常用气体系统，5,不相容特种气体的吹扫盘不得共用吹扫气瓶.10,4.5。硅烷或硅烷混合物的气瓶应存放在洁净厂房建筑外的储存区内.储存区的设置应符合下列规定、1，储存区应至少三面敞开、气瓶应固定在钢制框架上 2.气瓶或气瓶组与周围的构筑物或围栏的间距应大于3.0m,3,储存区顶棚的高度应大于3，5m.