10，4。特种气体系统10 4、1。特种气体应采用外购钢瓶气体，液态气体供应,在电子工厂内应设置储存、分配系统、10,4,2,洁净厂房内特种气体的储存分配间应采用耐火极限不低于2,0h不燃烧体的隔墙与洁净室.区，分隔，隔墙上的门窗应为甲级防火门窗.10，4。3。洁净室、区,内可燃或有毒的特种气体分配系统的设置 应符合下列规定 1,特种气体钢瓶.含硅烷或硅烷混合物，应设置在具有连续机械排风的特气柜中 2、排风机，泄漏报警.自动切断阀均应设置应急电源,3,一个特气分配系统供多台生产设备使用时、应设置多路阀门箱.4.可燃性 氧化性特种气体管道的设置应符合本规范第10,1和10,2节的有关规定,10.4,4。特种气体分配系统应设置吹扫盘，并应符合下列规定，1、应设置应急切断装置、2.应设置过流量控制装置.3,应设置手动隔离阀，4。吹扫气源不宜采用常用气体系统，5,不相容特种气体的吹扫盘不得共用吹扫气瓶 10，4，5,硅烷或硅烷混合物的气瓶应存放在洁净厂房建筑外的储存区内、储存区的设置应符合下列规定、1 储存区应至少三面敞开,气瓶应固定在钢制框架上,2。气瓶或气瓶组与周围的构筑物或围栏的间距应大于3，0m 3 储存区顶棚的高度应大于3，5m