10.4,特种气体系统10 4.1,特种气体应采用外购钢瓶气体,液态气体供应、在电子工厂内应设置储存、分配系统,10.4.2、洁净厂房内特种气体的储存分配间应采用耐火极限不低于2,0h不燃烧体的隔墙与洁净室,区.分隔.隔墙上的门窗应为甲级防火门窗、10、4.3、洁净室,区。内可燃或有毒的特种气体分配系统的设置.应符合下列规定.1 特种气体钢瓶、含硅烷或硅烷混合物、应设置在具有连续机械排风的特气柜中，2、排风机，泄漏报警、自动切断阀均应设置应急电源。3.一个特气分配系统供多台生产设备使用时.应设置多路阀门箱、4 可燃性、氧化性特种气体管道的设置应符合本规范第10、1和10,2节的有关规定，10。4 4。特种气体分配系统应设置吹扫盘.并应符合下列规定。1.应设置应急切断装置，2。应设置过流量控制装置、3.应设置手动隔离阀,4，吹扫气源不宜采用常用气体系统，5、不相容特种气体的吹扫盘不得共用吹扫气瓶，10。4，5，硅烷或硅烷混合物的气瓶应存放在洁净厂房建筑外的储存区内.储存区的设置应符合下列规定，1。储存区应至少三面敞开。气瓶应固定在钢制框架上 2、气瓶或气瓶组与周围的构筑物或围栏的间距应大于3 0m，3,储存区顶棚的高度应大于3.5m，