15，微振控制15 1、一般规定15.1.1、洁净厂房的微振控制设施的设计应分阶段进行。应包括设计 施工和投产等各阶段的微振动测试 厂房建筑结构微振控制设计,动力设备隔振设计和精密仪器设备隔振设计等 15,1 2、设计有微振控制要求的洁净厂房时，应符合下列规定。1。总平面布置时、应核实相邻厂房。建筑物或构筑物对精密设备。仪器的振动影响，2.设有精密设备,仪器的洁净厂房.其建筑基础构造。结构选型.隔振缝的设置 洁净室装修等应按微振控制要求设计。3、对设有精密设备.仪器的洁净室。区 有振动影响的动力设备及其管道。应采取主动隔振措施,4.洁净室，区，内精密设备 仪器 经测试确认受到周围振动影响时。应采取被动隔振措施，