15 微振控制15 1.一般规定15,1 1 洁净厂房的微振控制设施的设计应分阶段进行.应包括设计，施工和投产等各阶段的微振动测试.厂房建筑结构微振控制设计。动力设备隔振设计和精密仪器设备隔振设计等,15 1。2.设计有微振控制要求的洁净厂房时.应符合下列规定.1 总平面布置时，应核实相邻厂房,建筑物或构筑物对精密设备 仪器的振动影响,2、设有精密设备。仪器的洁净厂房.其建筑基础构造，结构选型。隔振缝的设置.洁净室装修等应按微振控制要求设计,3。对设有精密设备 仪器的洁净室.区。有振动影响的动力设备及其管道，应采取主动隔振措施。4.洁净室.区。内精密设备,仪器、经测试确认受到周围振动影响时,应采取被动隔振措施.