15、微振控制15，1 一般规定15。1 1 洁净厂房的微振控制设施的设计应分阶段进行、应包括设计 施工和投产等各阶段的微振动测试，厂房建筑结构微振控制设计,动力设备隔振设计和精密仪器设备隔振设计等、15,1。2,设计有微振控制要求的洁净厂房时.应符合下列规定,1 总平面布置时。应核实相邻厂房。建筑物或构筑物对精密设备，仪器的振动影响、2。设有精密设备 仪器的洁净厂房.其建筑基础构造 结构选型、隔振缝的设置,洁净室装修等应按微振控制要求设计，3,对设有精密设备 仪器的洁净室 区.有振动影响的动力设备及其管道,应采取主动隔振措施.4，洁净室 区,内精密设备.仪器，经测试确认受到周围振动影响时.应采取被动隔振措施。