10 气体供应10 1 一般规定10,1 1.洁净厂房使用的气体有常用气体,干燥压缩空气及特种气体三大类.根据各种电子产品品种及其生产工艺的不同.使用气体的品种.纯度及杂质含量是不相同的。表22是几类电子产品所需气体品种。10.1、3。洁净厂房所使用气体的制备。纯化.储存及分配系统。除应遵守本规范外.还应遵守相关现行国家标准的规定，其中主要有，建筑设计防火规范、GB 50016、压缩空气站设计规范，GB。50029 氢气站设计规范.GB.50177,氧气站设计规范。GB 50030、工业金属管道设计规范 GB。50316等，10、1.4。10。1 6.目前。各类电子工业洁净厂房中 常用气体管道的一次配管。均敷设在与用气设备相关洁净室 区.毗邻的技术夹层或技术夹道内,除压缩空气管道外、其他各类气体管道不得穿过与其无关的房间或不使用这些气体的房间。有时为布置的方便或可减少大量的管材，必须穿越时应设套管或双层管 以免运行中这些气体泄漏,由于此类无关房间未采取通风.报警措施.易引起事故,特种气体管道由于管径较小,一般均采用相对集中敷设。洁净室、区、内的惰性及无危害性气体管道及其管架宜暗敷或设置在便于检查.维护的装饰面板内，可燃,有毒或有害气体管道应外露敷设，可燃气体。有毒气体穿过洁净室，区，墙或楼板处管道应设套管、该套管内的气体管道不得有焊缝.以避免因焊缝质量问题 泄漏气体后无法检查.形成逐渐积聚 成为安全事故的隐患,10，1.7、电子工业洁净厂房中.由于高纯气体管道内输送的气体中杂质含量都极低 一般氧含量都在10，6，10、10 水含量在10 5，10、9。而洁净室生产环境中的氧浓度、水汽含量均在10。1以上。即高纯气体输送管内外的氧气。水分的分压差达105，1010.分压差极大 根据国内外许多研究试验和实际运行都表明.高纯气体输送过程中存在着被生产环境中的气体或水分所污染的巨大潜在危险.为此.防渗漏污染是高纯气体管路设计中必须认真解决的技术措施.另外、在高纯气体管道施工安装或检修后或因故停气恢复时、管内存在的各种杂质气体的吹扫或因停气后不可避免地因管内外分压差而被污染 也需进行吹扫置换达到所要求纯度和杂质容许含量，为了减少吹扫、置换时间.也要求高纯气体管路设计时 必须采取相应的技术措施、本条规定的3款规定正是这些技术措施的具体要求，它们是国内外从事高纯气体设计 安装和运行的科技人员多年经验的总结、其中第2,3款作为强制性条文、是有关设计者必须遵守的规定.10。1、8。本条为电子工业洁净厂房内设有可燃气体管道时 应采取的安全技术措施、制定这些规定的理由是.1、在使用可燃气体的洁净室厂房内、为避免可燃气体的泄漏引发燃烧 爆炸事故.一般是将管路上的阀门设置在阀门箱内。此类阀门箱均设有气体泄漏报警和事故排风装置，2。目前.在电子工业洁净厂房中的氢气或含氢可燃气体等接至用气设备 无明火,的支管和放散管.为防火回火引发事故、均设有阻火器 但除此之外的可燃气体管道大部分没有设阻火器。所以本条规定、宜设置阻火设施,