4,3、洁净室布置和综合协调4。3。1,洁净厂房的平面布置应合理安排洁净生产区.辅助区和动力区,并应符合下列要求。1,洁净室,区,人员净化.物料净化和各种辅助用房,应合理分区布置,2,生产工艺或生产设备有特殊要求时.宜分隔为单独的房间、3 生产过程中排放腐蚀性气体的生产设备或生产工序应分类,集中布置或与其他生产房间分隔.4 发热量,发尘量大的生产工序或生产设备 宜与空气洁净度要求严格的房间分隔布置。5.洁净室.区.的辅助设备,维修间等技术支持区,宜集中布置在洁净室,区,的相邻房间.技术支持区的空气洁净度等级应低于洁净室.区,的等级,6、若需在洁净室.区,内设置洁净电梯时,应采取气闸间 洁净送风措施、7。应符合有关防爆,防火,消防等要求 4、3。2,洁净室 区,的空间布置应满足下列要求,1、生产设备。物料运输系统应根据产品生产工艺要求布置,并应做到有效、灵活和操作方便,2 各类管线的空间布置应满足生产工艺,安全间距和维修要求、3 终端高效空气过滤器 照明灯具和各种公用动力设施的布置,应满足生产工艺、洁净度等级 安全生产和维修要求。4,洁净生产层的高度应按生产设备,微环境装置和物料运输设备的外形尺寸确定 技术夹层高度应根据具体工程要求确定。4,3 3。洁净室 区.内应少分隔 但下列情况应予分隔.1 按火灾危险性分类、甲,乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间、或有防火分隔要求时,应设隔墙,2,在电子产品生产过程中,经常不同时使用的两个生产区段或房间之间,3。生产过程中排放影响产品质量的有害气体或化学污染物的工序,设备.宜分隔设独立房间.4,3 4.洁净厂房的布置应综合协调生产操作、设备安装和维修。公用动力管线 气流流型以及净化空调系统等各类技术设施的需要.
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