8 2,给、水8、2、1,电子工业洁净厂房内的生产工艺一般为精细或超精细加工.对水质、水温,水压等的要求都较为严格 水质,水温,水压等的变化可能会导致次品或工艺设备故障 因此、应根据不同的工艺要求设置独立给水系统、常见的系统有,纯水或超纯水系统。工艺循环冷却水系统,一般工业给水系统,热,温 纯水系统等。对上述给水系统的补充水可从洁净厂房中的生活给水系统供给,8、2 2。电子工业半导体,液晶显示器等电子产品生产工艺中往往会使用大量的危险化学品、为此,在厂房,车间.设有危险化学品储存和分配系统。考虑到操作和维护人员的安全、应在这些地方设置紧急淋浴器和洗眼器。环行设置紧急淋浴器和洗眼器的供水管路、是为了提高供水的可靠性 确保在任何时刻都有水供应,8,2.3,本条是为了确保电子产品生产工艺用水的水质 水压 水温作出的相应规定、1,给水系统管材选用 首先.要保证该管材不会使所输送的水水质发生变化.即要求该管材具有良好的耐腐蚀性和良好的抗溶出性。其次 要确保该管材的允许工作压力大于系统的工作压力,2,由于半导体制造,液晶显示器生产等电子工业洁净厂房往往有较严格的微振控制要求.所以这类厂房的首层底板经常加厚,有时达到600、800mm、埋设在这些底板下的给水管道、维修和更换是较困难的,因此、埋地给水管一方面要按水的性质确定管内壁的耐腐蚀性,另一方面要按地下水及土壤的条件确定管外壁的耐腐蚀性,需要注意的是、镀锌层是防锈层而不是防腐层、所以埋地镀锌管必须做防腐处理,在进行洁净室的给水排水设计时。应尽量避免埋地管道。3.电子工业生产设备的冷却水.一般对电导率 TOC、pH值等提出要求,为确保生产设备循环冷却水的水质 给水管和回水管采用不锈钢管 钢塑管和塑料管是合适的。焊接钢管由于其耐腐蚀性差,容易产生锈蚀 故不宜使用在对电导率,TOC pH值等有要求的场合 4,阀门及配件要求与管材一致、主要是为了保证供水水质

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