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8、2。给.水8.2、1。电子工业洁净厂房内的生产工艺一般为精细或超精细加工,对水质、水温、水压等的要求都较为严格。水质.水温,水压等的变化可能会导致次品或工艺设备故障.因此,应根据不同的工艺要求设置独立给水系统,常见的系统有、纯水或超纯水系统.工艺循环冷却水系统.一般工业给水系统.热,温、纯水系统等、对上述给水系统的补充水可从洁净厂房中的生活给水系统供给,8 2,2、电子工业半导体 液晶显示器等电子产品生产工艺中往往会使用大量的危险化学品.为此.在厂房、车间 设有危险化学品储存和分配系统.考虑到操作和维护人员的安全 应在这些地方设置紧急淋浴器和洗眼器。环行设置紧急淋浴器和洗眼器的供水管路,是为了提高供水的可靠性 确保在任何时刻都有水供应.8 2.3,本条是为了确保电子产品生产工艺用水的水质.水压。水温作出的相应规定,1。给水系统管材选用.首先.要保证该管材不会使所输送的水水质发生变化。即要求该管材具有良好的耐腐蚀性和良好的抗溶出性、其次.要确保该管材的允许工作压力大于系统的工作压力.2 由于半导体制造.液晶显示器生产等电子工业洁净厂房往往有较严格的微振控制要求。所以这类厂房的首层底板经常加厚,有时达到600 800mm,埋设在这些底板下的给水管道。维修和更换是较困难的.因此.埋地给水管一方面要按水的性质确定管内壁的耐腐蚀性,另一方面要按地下水及土壤的条件确定管外壁的耐腐蚀性。需要注意的是.镀锌层是防锈层而不是防腐层,所以埋地镀锌管必须做防腐处理 在进行洁净室的给水排水设计时,应尽量避免埋地管道,3。电子工业生产设备的冷却水。一般对电导率。TOC.pH值等提出要求。为确保生产设备循环冷却水的水质.给水管和回水管采用不锈钢管,钢塑管和塑料管是合适的。焊接钢管由于其耐腐蚀性差 容易产生锈蚀.故不宜使用在对电导率,TOC、pH值等有要求的场合。4,阀门及配件要求与管材一致.主要是为了保证供水水质,
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