8,2.给 水8 2 1.电子工业洁净厂房内的生产工艺一般为精细或超精细加工,对水质,水温。水压等的要求都较为严格、水质 水温 水压等的变化可能会导致次品或工艺设备故障 因此,应根据不同的工艺要求设置独立给水系统,常见的系统有.纯水或超纯水系统,工艺循环冷却水系统,一般工业给水系统、热 温.纯水系统等 对上述给水系统的补充水可从洁净厂房中的生活给水系统供给。8，2。2.电子工业半导体，液晶显示器等电子产品生产工艺中往往会使用大量的危险化学品 为此.在厂房 车间。设有危险化学品储存和分配系统、考虑到操作和维护人员的安全、应在这些地方设置紧急淋浴器和洗眼器。环行设置紧急淋浴器和洗眼器的供水管路 是为了提高供水的可靠性.确保在任何时刻都有水供应,8、2,3.本条是为了确保电子产品生产工艺用水的水质、水压，水温作出的相应规定,1 给水系统管材选用.首先。要保证该管材不会使所输送的水水质发生变化.即要求该管材具有良好的耐腐蚀性和良好的抗溶出性、其次，要确保该管材的允许工作压力大于系统的工作压力、2,由于半导体制造、液晶显示器生产等电子工业洁净厂房往往有较严格的微振控制要求、所以这类厂房的首层底板经常加厚 有时达到600、800mm,埋设在这些底板下的给水管道，维修和更换是较困难的.因此.埋地给水管一方面要按水的性质确定管内壁的耐腐蚀性，另一方面要按地下水及土壤的条件确定管外壁的耐腐蚀性,需要注意的是,镀锌层是防锈层而不是防腐层，所以埋地镀锌管必须做防腐处理，在进行洁净室的给水排水设计时.应尽量避免埋地管道。3。电子工业生产设备的冷却水、一般对电导率,TOC.pH值等提出要求.为确保生产设备循环冷却水的水质，给水管和回水管采用不锈钢管 钢塑管和塑料管是合适的。焊接钢管由于其耐腐蚀性差。容易产生锈蚀。故不宜使用在对电导率 TOC。pH值等有要求的场合 4,阀门及配件要求与管材一致 主要是为了保证供水水质、