8,2、给,水8 2,1 电子工业洁净厂房内的生产工艺一般为精细或超精细加工、对水质、水温,水压等的要求都较为严格,水质、水温、水压等的变化可能会导致次品或工艺设备故障。因此 应根据不同的工艺要求设置独立给水系统.常见的系统有、纯水或超纯水系统,工艺循环冷却水系统.一般工业给水系统,热、温、纯水系统等,对上述给水系统的补充水可从洁净厂房中的生活给水系统供给、8,2。2、电子工业半导体,液晶显示器等电子产品生产工艺中往往会使用大量的危险化学品 为此 在厂房 车间.设有危险化学品储存和分配系统,考虑到操作和维护人员的安全 应在这些地方设置紧急淋浴器和洗眼器,环行设置紧急淋浴器和洗眼器的供水管路,是为了提高供水的可靠性。确保在任何时刻都有水供应。8。2。3,本条是为了确保电子产品生产工艺用水的水质 水压、水温作出的相应规定,1,给水系统管材选用、首先 要保证该管材不会使所输送的水水质发生变化、即要求该管材具有良好的耐腐蚀性和良好的抗溶出性,其次 要确保该管材的允许工作压力大于系统的工作压力.2 由于半导体制造 液晶显示器生产等电子工业洁净厂房往往有较严格的微振控制要求,所以这类厂房的首层底板经常加厚、有时达到600。800mm。埋设在这些底板下的给水管道,维修和更换是较困难的.因此、埋地给水管一方面要按水的性质确定管内壁的耐腐蚀性.另一方面要按地下水及土壤的条件确定管外壁的耐腐蚀性、需要注意的是、镀锌层是防锈层而不是防腐层 所以埋地镀锌管必须做防腐处理,在进行洁净室的给水排水设计时,应尽量避免埋地管道,3 电子工业生产设备的冷却水、一般对电导率,TOC,pH值等提出要求.为确保生产设备循环冷却水的水质。给水管和回水管采用不锈钢管,钢塑管和塑料管是合适的 焊接钢管由于其耐腐蚀性差 容易产生锈蚀,故不宜使用在对电导率.TOC。pH值等有要求的场合、4,阀门及配件要求与管材一致 主要是为了保证供水水质,