7。空气净化和空调通风设计7.1。一般规定7 1.1 洁净厂房内各洁净室、区.的空气洁净度等级.应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定 7，1 2,气流流型应根据各洁净室，区.空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用、7.1.3、有下列情况之一者，净化空调系统宜分开设置、1 运行班次或使用时间不同、2。生产过程中散发的物质对其他工序。设备交叉污染 对产品质量或操作人员健康 安全有影响，3,对温，湿度控制要求差别大 4、洁净室，区、内工艺设备发热相差悬殊.5 净化空调系统与一般空调系统.6。系统风量过大的净化空调系统,7.1,4.洁净室.区.内的温度,相对湿度应符合本规范第3,2、3条的规定 7、1、5 洁净室,区 内的新鲜空气量应符合现行国家标准，洁净厂房设计规范,GB，50073的有关规定、7,1.6.洁净室 区，与周围的空间应保持一定的静压差，静压差应符合下列规定,1 各洁净室、区.与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定，2、不同等级的洁净室.区。之间的静压差应大于等于5Pa，3.洁净室。区，与非洁净室,区，之间的静压差应大于5Pa,4,洁净室。区。与室外的静压差应大于10Pa,7、1，7.洁净室 区、维持静压差值所需的压差风量,宜采用缝隙法或换气次数法确定.7。1。8.送风.回风和排风系统的启闭联锁，控制要求.应符合现行国家标准.洁净厂房设计规范。GB，50073的有关规定.7，1.9。非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班送风,并应进行净化处理.7.1.10、洁净室,区,的清扫方式应根据洁净厂房的规模,空气洁净度等级等因素确定、洁净室 区，宜采用移动式高效真空吸尘器。对于空气洁净度等级为1 5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统、洁净室内的吸尘系统管道应暗敷,