7,空气净化和空调通风设计7 1,一般规定7、1 1,洁净厂房内各洁净室。区。的空气洁净度等级。应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定。7.1、2。气流流型应根据各洁净室.区,空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用。7,1.3、有下列情况之一者,净化空调系统宜分开设置,1,运行班次或使用时间不同,2,生产过程中散发的物质对其他工序、设备交叉污染、对产品质量或操作人员健康 安全有影响,3.对温,湿度控制要求差别大。4、洁净室.区。内工艺设备发热相差悬殊 5。净化空调系统与一般空调系统、6。系统风量过大的净化空调系统。7。1,4。洁净室,区,内的温度,相对湿度应符合本规范第3.2,3条的规定。7。1.5,洁净室。区 内的新鲜空气量应符合现行国家标准。洁净厂房设计规范。GB、50073的有关规定、7,1 6,洁净室,区。与周围的空间应保持一定的静压差.静压差应符合下列规定 1 各洁净室 区。与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定,2、不同等级的洁净室、区.之间的静压差应大于等于5Pa、3,洁净室,区。与非洁净室、区。之间的静压差应大于5Pa.4、洁净室。区、与室外的静压差应大于10Pa、7、1,7。洁净室,区、维持静压差值所需的压差风量。宜采用缝隙法或换气次数法确定,7。1,8.送风,回风和排风系统的启闭联锁,控制要求。应符合现行国家标准 洁净厂房设计规范、GB。50073的有关规定.7.1。9,非连续运行的洁净室.可根据生产工艺要求设置值班送风.并应进行净化处理 7,1 10.洁净室 区,的清扫方式应根据洁净厂房的规模.空气洁净度等级等因素确定,洁净室,区、宜采用移动式高效真空吸尘器。对于空气洁净度等级为1,5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统,洁净室内的吸尘系统管道应暗敷,
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