7、空气净化和空调通风设计7 1、一般规定7、1,1,洁净厂房内各洁净室.区。的空气洁净度等级，应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定.7。1、2、气流流型应根据各洁净室，区，空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用,7.1.3。有下列情况之一者.净化空调系统宜分开设置,1,运行班次或使用时间不同。2,生产过程中散发的物质对其他工序 设备交叉污染，对产品质量或操作人员健康，安全有影响。3、对温 湿度控制要求差别大 4 洁净室 区、内工艺设备发热相差悬殊 5 净化空调系统与一般空调系统，6，系统风量过大的净化空调系统、7 1,4，洁净室.区,内的温度,相对湿度应符合本规范第3、2。3条的规定.7、1.5,洁净室,区 内的新鲜空气量应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范，GB.50073的有关规定、7.1 6、洁净室.区。与周围的空间应保持一定的静压差.静压差应符合下列规定.1.各洁净室。区、与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定 2.不同等级的洁净室.区.之间的静压差应大于等于5Pa。3、洁净室，区.与非洁净室、区.之间的静压差应大于5Pa。4,洁净室,区,与室外的静压差应大于10Pa 7，1。7、洁净室、区,维持静压差值所需的压差风量,宜采用缝隙法或换气次数法确定，7，1,8 送风，回风和排风系统的启闭联锁 控制要求。应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范 GB,50073的有关规定，7、1 9。非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班送风。并应进行净化处理 7 1，10.洁净室。区、的清扫方式应根据洁净厂房的规模 空气洁净度等级等因素确定.洁净室.区 宜采用移动式高效真空吸尘器.对于空气洁净度等级为1、5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统、洁净室内的吸尘系统管道应暗敷。