7 空气净化和空调通风设计7。1 一般规定7 1、1、洁净厂房内各洁净室.区 的空气洁净度等级,应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定,7 1,2,气流流型应根据各洁净室,区 空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用.7。1、3 有下列情况之一者 净化空调系统宜分开设置、1、运行班次或使用时间不同。2,生产过程中散发的物质对其他工序,设备交叉污染.对产品质量或操作人员健康 安全有影响.3 对温,湿度控制要求差别大、4,洁净室 区。内工艺设备发热相差悬殊 5。净化空调系统与一般空调系统.6。系统风量过大的净化空调系统,7,1,4,洁净室.区,内的温度。相对湿度应符合本规范第3。2 3条的规定 7、1,5,洁净室。区。内的新鲜空气量应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范。GB,50073的有关规定 7,1 6,洁净室、区,与周围的空间应保持一定的静压差,静压差应符合下列规定、1。各洁净室.区,与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定。2。不同等级的洁净室.区 之间的静压差应大于等于5Pa,3.洁净室,区,与非洁净室,区。之间的静压差应大于5Pa 4。洁净室、区、与室外的静压差应大于10Pa,7 1、7。洁净室.区,维持静压差值所需的压差风量 宜采用缝隙法或换气次数法确定 7 1。8,送风。回风和排风系统的启闭联锁 控制要求、应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范,GB、50073的有关规定,7.1 9.非连续运行的洁净室、可根据生产工艺要求设置值班送风,并应进行净化处理。7 1、10 洁净室.区 的清扫方式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等级等因素确定,洁净室。区。宜采用移动式高效真空吸尘器,对于空气洁净度等级为1、5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统。洁净室内的吸尘系统管道应暗敷。

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