7.空气净化和空调通风设计7,1.一般规定7,1 1 洁净厂房内各洁净室 区.的空气洁净度等级.应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定。7。1,2。气流流型应根据各洁净室.区,空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用.7,1 3、有下列情况之一者。净化空调系统宜分开设置.1、运行班次或使用时间不同.2,生产过程中散发的物质对其他工序、设备交叉污染.对产品质量或操作人员健康、安全有影响,3,对温,湿度控制要求差别大、4,洁净室,区 内工艺设备发热相差悬殊。5、净化空调系统与一般空调系统,6,系统风量过大的净化空调系统 7,1.4、洁净室。区 内的温度.相对湿度应符合本规范第3、2。3条的规定、7 1 5。洁净室,区,内的新鲜空气量应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范 GB、50073的有关规定 7.1,6。洁净室。区、与周围的空间应保持一定的静压差,静压差应符合下列规定。1,各洁净室 区,与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定。2。不同等级的洁净室、区,之间的静压差应大于等于5Pa,3 洁净室。区、与非洁净室 区.之间的静压差应大于5Pa、4,洁净室,区,与室外的静压差应大于10Pa,7。1.7,洁净室,区 维持静压差值所需的压差风量.宜采用缝隙法或换气次数法确定,7.1 8.送风、回风和排风系统的启闭联锁.控制要求。应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范.GB,50073的有关规定,7、1。9 非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班送风,并应进行净化处理,7,1,10。洁净室、区 的清扫方式应根据洁净厂房的规模,空气洁净度等级等因素确定,洁净室,区。宜采用移动式高效真空吸尘器、对于空气洁净度等级为1,5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统.洁净室内的吸尘系统管道应暗敷.