7,空气净化和空调通风设计7.1,一般规定7,1。1、洁净厂房内各洁净室,区.的空气洁净度等级,应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定、7。1,2。气流流型应根据各洁净室,区 空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用,7 1 3 有下列情况之一者。净化空调系统宜分开设置。1,运行班次或使用时间不同。2。生产过程中散发的物质对其他工序。设备交叉污染、对产品质量或操作人员健康,安全有影响。3,对温 湿度控制要求差别大,4、洁净室。区,内工艺设备发热相差悬殊.5、净化空调系统与一般空调系统、6 系统风量过大的净化空调系统,7 1,4 洁净室。区,内的温度,相对湿度应符合本规范第3 2 3条的规定.7、1。5。洁净室.区 内的新鲜空气量应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范.GB、50073的有关规定。7,1。6,洁净室,区、与周围的空间应保持一定的静压差,静压差应符合下列规定,1,各洁净室.区 与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定。2 不同等级的洁净室。区、之间的静压差应大于等于5Pa 3、洁净室 区。与非洁净室,区。之间的静压差应大于5Pa 4。洁净室。区 与室外的静压差应大于10Pa、7.1。7、洁净室 区、维持静压差值所需的压差风量,宜采用缝隙法或换气次数法确定.7 1,8.送风、回风和排风系统的启闭联锁、控制要求.应符合现行国家标准。洁净厂房设计规范、GB,50073的有关规定 7.1 9.非连续运行的洁净室.可根据生产工艺要求设置值班送风.并应进行净化处理.7。1、10 洁净室.区,的清扫方式应根据洁净厂房的规模.空气洁净度等级等因素确定,洁净室 区 宜采用移动式高效真空吸尘器,对于空气洁净度等级为1.5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统。洁净室内的吸尘系统管道应暗敷