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7,空气净化和空调通风设计7、1,一般规定7,1.1,洁净厂房内各洁净室,区,的空气洁净度等级。应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定。7.1,2、气流流型应根据各洁净室,区,空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用.7.1。3。有下列情况之一者,净化空调系统宜分开设置.1、运行班次或使用时间不同 2 生产过程中散发的物质对其他工序 设备交叉污染,对产品质量或操作人员健康,安全有影响,3、对温。湿度控制要求差别大,4,洁净室,区,内工艺设备发热相差悬殊、5,净化空调系统与一般空调系统,6.系统风量过大的净化空调系统,7,1,4 洁净室 区.内的温度、相对湿度应符合本规范第3、2.3条的规定、7 1.5。洁净室,区、内的新鲜空气量应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范.GB、50073的有关规定 7,1,6,洁净室,区,与周围的空间应保持一定的静压差.静压差应符合下列规定,1,各洁净室。区.与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定.2。不同等级的洁净室、区,之间的静压差应大于等于5Pa 3。洁净室,区.与非洁净室.区 之间的静压差应大于5Pa,4。洁净室。区,与室外的静压差应大于10Pa。7。1。7 洁净室.区.维持静压差值所需的压差风量.宜采用缝隙法或换气次数法确定.7,1.8 送风。回风和排风系统的启闭联锁、控制要求、应符合现行国家标准,洁净厂房设计规范。GB、50073的有关规定,7.1,9 非连续运行的洁净室.可根据生产工艺要求设置值班送风。并应进行净化处理,7。1。10、洁净室。区 的清扫方式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等级等因素确定.洁净室。区。宜采用移动式高效真空吸尘器 对于空气洁净度等级为1,5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统,洁净室内的吸尘系统管道应暗敷,
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