7,空气净化和空调通风设计7。1、一般规定7、1.1、洁净厂房内各洁净室,区,的空气洁净度等级,应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定,7,1,2。气流流型应根据各洁净室、区 空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用,7.1 3,有下列情况之一者 净化空调系统宜分开设置、1,运行班次或使用时间不同,2、生产过程中散发的物质对其他工序、设备交叉污染.对产品质量或操作人员健康,安全有影响。3、对温 湿度控制要求差别大。4。洁净室,区.内工艺设备发热相差悬殊,5,净化空调系统与一般空调系统、6 系统风量过大的净化空调系统,7、1.4、洁净室,区,内的温度。相对湿度应符合本规范第3,2 3条的规定.7,1。5。洁净室,区、内的新鲜空气量应符合现行国家标准。洁净厂房设计规范、GB 50073的有关规定,7,1 6,洁净室、区 与周围的空间应保持一定的静压差。静压差应符合下列规定。1。各洁净室、区,与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定、2。不同等级的洁净室 区,之间的静压差应大于等于5Pa、3,洁净室,区,与非洁净室 区。之间的静压差应大于5Pa 4,洁净室、区.与室外的静压差应大于10Pa.7,1,7.洁净室、区.维持静压差值所需的压差风量、宜采用缝隙法或换气次数法确定 7.1,8、送风 回风和排风系统的启闭联锁,控制要求,应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范,GB 50073的有关规定 7.1 9。非连续运行的洁净室。可根据生产工艺要求设置值班送风。并应进行净化处理 7.1,10。洁净室 区、的清扫方式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等级等因素确定,洁净室.区。宜采用移动式高效真空吸尘器,对于空气洁净度等级为1,5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统、洁净室内的吸尘系统管道应暗敷
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