7,空气净化和空调通风设计7。1,一般规定7 1.1 洁净厂房内各洁净室、区,的空气洁净度等级 应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定、7 1、2。气流流型应根据各洁净室 区.空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用。7。1,3。有下列情况之一者,净化空调系统宜分开设置,1 运行班次或使用时间不同。2 生产过程中散发的物质对其他工序 设备交叉污染,对产品质量或操作人员健康、安全有影响,3 对温、湿度控制要求差别大 4,洁净室。区、内工艺设备发热相差悬殊.5,净化空调系统与一般空调系统,6,系统风量过大的净化空调系统,7 1,4、洁净室。区.内的温度,相对湿度应符合本规范第3.2。3条的规定、7.1、5。洁净室.区.内的新鲜空气量应符合现行国家标准。洁净厂房设计规范,GB,50073的有关规定 7,1 6,洁净室,区。与周围的空间应保持一定的静压差,静压差应符合下列规定。1、各洁净室、区.与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定,2。不同等级的洁净室,区,之间的静压差应大于等于5Pa,3,洁净室。区,与非洁净室,区、之间的静压差应大于5Pa、4 洁净室,区,与室外的静压差应大于10Pa,7、1。7,洁净室,区,维持静压差值所需的压差风量 宜采用缝隙法或换气次数法确定。7,1,8、送风。回风和排风系统的启闭联锁 控制要求 应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范。GB 50073的有关规定、7。1,9 非连续运行的洁净室.可根据生产工艺要求设置值班送风.并应进行净化处理.7。1。10,洁净室 区,的清扫方式应根据洁净厂房的规模.空气洁净度等级等因素确定。洁净室.区.宜采用移动式高效真空吸尘器 对于空气洁净度等级为1,5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统.洁净室内的吸尘系统管道应暗敷,
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