7、空气净化和空调通风设计7。1,一般规定7。1、1。洁净厂房内各洁净室,区。的空气洁净度等级 应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定、7,1,2,气流流型应根据各洁净室 区,空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用,7.1,3。有下列情况之一者,净化空调系统宜分开设置、1、运行班次或使用时间不同,2 生产过程中散发的物质对其他工序,设备交叉污染,对产品质量或操作人员健康.安全有影响、3,对温、湿度控制要求差别大 4、洁净室.区。内工艺设备发热相差悬殊。5、净化空调系统与一般空调系统,6、系统风量过大的净化空调系统,7。1,4 洁净室。区。内的温度.相对湿度应符合本规范第3、2 3条的规定。7,1,5、洁净室.区。内的新鲜空气量应符合现行国家标准 洁净厂房设计规范、GB 50073的有关规定 7.1 6、洁净室、区.与周围的空间应保持一定的静压差 静压差应符合下列规定,1、各洁净室.区 与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定,2.不同等级的洁净室、区、之间的静压差应大于等于5Pa、3,洁净室,区、与非洁净室、区,之间的静压差应大于5Pa。4,洁净室、区。与室外的静压差应大于10Pa。7,1 7 洁净室,区.维持静压差值所需的压差风量.宜采用缝隙法或换气次数法确定.7。1 8 送风 回风和排风系统的启闭联锁,控制要求,应符合现行国家标准、洁净厂房设计规范,GB。50073的有关规定,7 1 9 非连续运行的洁净室.可根据生产工艺要求设置值班送风.并应进行净化处理、7 1,10,洁净室。区,的清扫方式应根据洁净厂房的规模.空气洁净度等级等因素确定.洁净室。区。宜采用移动式高效真空吸尘器,对于空气洁净度等级为1,5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统。洁净室内的吸尘系统管道应暗敷
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