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- 电子工业洁净厂房设计规范 GB 50472-2008
- 1 总 则
- 2 术 语
- 3 电子产品生产环境设计要求
- 4 总体设计
- 5 工艺设计
- 6 洁净建筑设计
- 7 空气净化和空调通风设计
- 8 给水排水设计
- 9 纯水供应
- 10 气体供应
- 11 化学品供应
- 12 电气设计
- 13 防静电与接地设计
- 14 噪声控制
- 15 微振控制
- 15.1 一般规定
- 15.2 容许振动值
- 15.3 微振动控制设计
- 附录A 各类电子产品生产对空气洁净度等级的要求
- 附录B 电子产品生产间／工序的火灾危险性分类举例
- 附录C 精密仪器、设备的容许振动值举例
- 附录D 洁净室(区)性能测试和认证
- 本规范用词说明
- 条文说明
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15、2、容许振动值15。2，1.微振动控制设计应根据精密仪器 设备的特性.采取综合隔振措施、并应满足容许振动值的要求，15.2，2。精密设备，仪器的容许振动值物理量的表述 应采用时间域或频率域的振动加速度.振动速度和振动位移等、15.2，3、精密仪器，设备的容许振动值.应由制造商提供,无法确定时、可按本规范附录C或根据其工作特性确定