4.2。洁净室型式4 2.1、洁净室可根据电子产品生产工艺特点.空气洁净度等级和布置要求分为隧道式 开放式和微环境等 也可按气流流型分为单向流洁净室 非单向流洁净室和混合流洁净室,4,2 2、电子工业洁净厂房垂直单向流洁净室的空间。应包括活动地板以下的下技术夹层 洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层、4,2、3。洁净室型式的选择应综合生产工艺要求,节约能源。减少投资和降低运行费用等因素确定,各种空气洁净度等级的电子工业洁净厂房宜采用混合流洁净室、对空气洁净度净度要求严格时、宜采用微环境等型式、

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