11。化学品供应11.1。一般规定11、1、1,电子工业洁净厂房常常需使用各种化学品。根据电子产品品种及其生产工艺的不同.各种电子产品生产所使用的化学品是不相同的.其中以集成电路芯片制造过程,TFT、LCD生产过程所需的化学品品种多,有的纯度要求严格,表25是这两种电子产品生产用洁净厂房内所用的主要化学品种类.表26是有关资料提出的集成电路芯片64M生产过程部分化学品的质量要求 11 1,2、电子工业洁净厂房所用化学品如表25所列品种较多、它们的分类.储存应符合现行国家标准,常用危险化学品的分类及标志、GB,13690 常用危险化学品贮存通则,GB.15603等的相关规定。危险化学品按主要危险特性分为8类,即第1类爆炸品、第2类压缩气体和液化气体。第3类易燃液体.第4类易燃固体。自燃物品和遇湿易燃物品,第5类氧化剂和有机氧化物,第6类有毒品,第7类放射性物品、第8类腐蚀品 由于各类化学品的性质不同.因此常用化学危险品应分区.分类,分库储存。并不得与禁忌物料混合储存,储存化学危险品的建筑物不得有地下室或其他地下建筑。其耐火等级,层数.占地面积。安全疏散和防火间距 应符合国家有关规定,
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