7 4，空气净化设备7.4、1.空气过滤器的选用和布置应符合下列要求,1 空气过滤器应根据空气洁净度等级选用，2 空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量，3。中效。高中效。空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段 4。高效 亚高效。空气过滤器宜设置在净化空调系统的末端,超高效空气过滤器应设置在净化空调系统的末端，5.同一净化空调系统内末端安装的高效,亚高效 超高效 空气过滤器的阻力、效率应相近、6 同一净化空调系统内末端安装的高效，亚高效，超高效 空气过滤器的使用风量与额定风量之比值宜相近。7、对化学污染物有控制要求的洁净室、区、在净化空调系统中应根据环境条件设置化学过滤器或其他去除装置、8 高效，亚高效。超高效、空气过滤器应采用不燃或难燃材料制作。7。4、2 风机过滤器机组的设置应符合下列要求，1，应根据空气洁净度等级和送风量选用。2，应按洁净室、区 内生产工艺对气流流型的要求布置.3,终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定。4.送风量应能调节 5 应便于安装,维修及过滤器更换,满布或布置率较高时，外壳强度应满足检修要求 7 4、3.层流罩的设置应符合下列要求，1.洁净室.区.内等于或严于5级的局部净化区域宜采用层流罩.2.层流罩的形式和进风方式应根据生产工艺或设备需要选用.3 终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定、4、安装方式不应影响生产操作.7、4。4 微环境装置的设置应符合下列要求。1，当生产工艺或设备对空气洁净度等级.外扰或温度，相对湿度有较高要求，且所控区域不大时,宜采用微环境装置.2、微环境装置宜与生产工艺设备配套、3,在不影响工艺操作的前提下。应具有可靠的密闭性 内外表面应平整、光滑.4 围挡构造,材料的选用应方便生产操作，7、4，5.干表冷器的设置应符合下列要求。1，安装位置、外形尺寸应根据洁净厂房的平面和空间布置确定、2、迎面风速 结构形式应根据洁净室。区 冷负荷、风机过滤器机组所提供的机外余压确定，3.冷冻水进水温度、宜高于洁净室.区,内空气的露点温度 4.应设置排水设施 7.4.6.净化空调系统空气处理机组的选用和布置,应符合下列要求、1、应有良好的气密性，漏风率不得大于1。2.整体结构应有足够的强度和刚度、内表面应平整 光滑,外表面不应结露、3。布置应整齐 并应便于运行和维修，当多套空气处理机组为同一洁净室、区.服务时 宜选用相同规格的空气处理机组.4、送风机宜采取变频调速措施.送风机可按净化空调系统的总风量和总阻力值进行选择，计算系统总阻力时 中效.高中效,高效，亚高效.超高效.空气过滤器的阻力宜按其初阻力的1。5、2、0倍取值。5。应设置排水装置、