7，4，空气净化设备7,4,1。空气过滤器的选用和布置应符合下列要求，1,空气过滤器应根据空气洁净度等级选用，2,空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量。3.中效、高中效.空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段。4，高效、亚高效,空气过滤器宜设置在净化空调系统的末端，超高效空气过滤器应设置在净化空调系统的末端.5 同一净化空调系统内末端安装的高效,亚高效。超高效.空气过滤器的阻力。效率应相近、6。同一净化空调系统内末端安装的高效，亚高效、超高效。空气过滤器的使用风量与额定风量之比值宜相近,7 对化学污染物有控制要求的洁净室,区,在净化空调系统中应根据环境条件设置化学过滤器或其他去除装置、8.高效、亚高效.超高效 空气过滤器应采用不燃或难燃材料制作 7。4、2。风机过滤器机组的设置应符合下列要求、1。应根据空气洁净度等级和送风量选用、2、应按洁净室,区.内生产工艺对气流流型的要求布置.3,终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定、4。送风量应能调节,5 应便于安装,维修及过滤器更换,满布或布置率较高时、外壳强度应满足检修要求、7。4 3,层流罩的设置应符合下列要求，1。洁净室,区，内等于或严于5级的局部净化区域宜采用层流罩.2.层流罩的形式和进风方式应根据生产工艺或设备需要选用、3.终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定、4,安装方式不应影响生产操作。7，4。4。微环境装置的设置应符合下列要求、1.当生产工艺或设备对空气洁净度等级。外扰或温度.相对湿度有较高要求,且所控区域不大时。宜采用微环境装置、2。微环境装置宜与生产工艺设备配套,3。在不影响工艺操作的前提下.应具有可靠的密闭性 内外表面应平整。光滑、4，围挡构造 材料的选用应方便生产操作 7.4,5。干表冷器的设置应符合下列要求。1,安装位置.外形尺寸应根据洁净厂房的平面和空间布置确定 2。迎面风速,结构形式应根据洁净室。区,冷负荷 风机过滤器机组所提供的机外余压确定,3.冷冻水进水温度 宜高于洁净室、区.内空气的露点温度。4.应设置排水设施.7。4,6、净化空调系统空气处理机组的选用和布置。应符合下列要求。1。应有良好的气密性、漏风率不得大于1 2、整体结构应有足够的强度和刚度，内表面应平整 光滑,外表面不应结露、3。布置应整齐.并应便于运行和维修，当多套空气处理机组为同一洁净室,区,服务时、宜选用相同规格的空气处理机组 4，送风机宜采取变频调速措施。送风机可按净化空调系统的总风量和总阻力值进行选择,计算系统总阻力时 中效、高中效。高效 亚高效.超高效、空气过滤器的阻力宜按其初阻力的1,5.2.0倍取值 5，应设置排水装置.