7,4.空气净化设备7、4.1。空气过滤器的选用和布置应符合下列要求 1,空气过滤器应根据空气洁净度等级选用。2 空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量,3、中效。高中效.空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段.4,高效,亚高效 空气过滤器宜设置在净化空调系统的末端.超高效空气过滤器应设置在净化空调系统的末端、5。同一净化空调系统内末端安装的高效 亚高效,超高效.空气过滤器的阻力 效率应相近、6.同一净化空调系统内末端安装的高效，亚高效。超高效 空气过滤器的使用风量与额定风量之比值宜相近.7、对化学污染物有控制要求的洁净室.区 在净化空调系统中应根据环境条件设置化学过滤器或其他去除装置,8 高效,亚高效，超高效。空气过滤器应采用不燃或难燃材料制作 7，4.2 风机过滤器机组的设置应符合下列要求。1，应根据空气洁净度等级和送风量选用 2.应按洁净室.区、内生产工艺对气流流型的要求布置.3,终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定、4.送风量应能调节。5，应便于安装,维修及过滤器更换,满布或布置率较高时,外壳强度应满足检修要求 7 4、3.层流罩的设置应符合下列要求 1。洁净室。区，内等于或严于5级的局部净化区域宜采用层流罩,2，层流罩的形式和进风方式应根据生产工艺或设备需要选用，3、终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定,4、安装方式不应影响生产操作、7.4。4、微环境装置的设置应符合下列要求,1、当生产工艺或设备对空气洁净度等级,外扰或温度 相对湿度有较高要求。且所控区域不大时 宜采用微环境装置、2.微环境装置宜与生产工艺设备配套 3 在不影响工艺操作的前提下,应具有可靠的密闭性，内外表面应平整，光滑 4 围挡构造 材料的选用应方便生产操作，7。4。5 干表冷器的设置应符合下列要求、1.安装位置,外形尺寸应根据洁净厂房的平面和空间布置确定 2、迎面风速。结构形式应根据洁净室,区 冷负荷.风机过滤器机组所提供的机外余压确定，3 冷冻水进水温度,宜高于洁净室,区.内空气的露点温度,4。应设置排水设施,7 4.6、净化空调系统空气处理机组的选用和布置、应符合下列要求。1，应有良好的气密性。漏风率不得大于1，2、整体结构应有足够的强度和刚度 内表面应平整.光滑 外表面不应结露,3。布置应整齐，并应便于运行和维修，当多套空气处理机组为同一洁净室。区,服务时，宜选用相同规格的空气处理机组、4,送风机宜采取变频调速措施。送风机可按净化空调系统的总风量和总阻力值进行选择,计算系统总阻力时 中效、高中效 高效.亚高效 超高效,空气过滤器的阻力宜按其初阻力的1。5 2、0倍取值.5 应设置排水装置，