7、4 空气净化设备7 4 1,空气过滤器的选用和布置应符合下列要求。1、空气过滤器应根据空气洁净度等级选用.2 空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量，3，中效。高中效、空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段.4,高效，亚高效 空气过滤器宜设置在净化空调系统的末端,超高效空气过滤器应设置在净化空调系统的末端。5、同一净化空调系统内末端安装的高效 亚高效、超高效。空气过滤器的阻力，效率应相近 6,同一净化空调系统内末端安装的高效。亚高效。超高效，空气过滤器的使用风量与额定风量之比值宜相近 7 对化学污染物有控制要求的洁净室 区,在净化空调系统中应根据环境条件设置化学过滤器或其他去除装置。8.高效 亚高效、超高效、空气过滤器应采用不燃或难燃材料制作,7，4 2。风机过滤器机组的设置应符合下列要求,1 应根据空气洁净度等级和送风量选用，2，应按洁净室。区.内生产工艺对气流流型的要求布置 3，终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定、4，送风量应能调节,5 应便于安装,维修及过滤器更换,满布或布置率较高时.外壳强度应满足检修要求，7,4 3 层流罩的设置应符合下列要求，1。洁净室,区，内等于或严于5级的局部净化区域宜采用层流罩.2,层流罩的形式和进风方式应根据生产工艺或设备需要选用，3 终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定。4.安装方式不应影响生产操作。7 4、4 微环境装置的设置应符合下列要求、1、当生产工艺或设备对空气洁净度等级，外扰或温度 相对湿度有较高要求，且所控区域不大时 宜采用微环境装置.2，微环境装置宜与生产工艺设备配套 3。在不影响工艺操作的前提下，应具有可靠的密闭性 内外表面应平整。光滑,4.围挡构造。材料的选用应方便生产操作，7.4。5.干表冷器的设置应符合下列要求，1 安装位置,外形尺寸应根据洁净厂房的平面和空间布置确定，2 迎面风速，结构形式应根据洁净室、区、冷负荷.风机过滤器机组所提供的机外余压确定、3.冷冻水进水温度.宜高于洁净室。区,内空气的露点温度，4。应设置排水设施。7，4.6,净化空调系统空气处理机组的选用和布置。应符合下列要求,1。应有良好的气密性、漏风率不得大于1,2.整体结构应有足够的强度和刚度 内表面应平整，光滑。外表面不应结露 3。布置应整齐.并应便于运行和维修.当多套空气处理机组为同一洁净室。区，服务时、宜选用相同规格的空气处理机组、4,送风机宜采取变频调速措施,送风机可按净化空调系统的总风量和总阻力值进行选择,计算系统总阻力时,中效、高中效、高效。亚高效.超高效 空气过滤器的阻力宜按其初阻力的1.5,2、0倍取值。5,应设置排水装置