7，4,空气净化设备7,4、1 空气过滤器的选用和布置应符合下列要求、1。空气过滤器应根据空气洁净度等级选用.2,空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量,3。中效.高中效，空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段.4、高效、亚高效.空气过滤器宜设置在净化空调系统的末端.超高效空气过滤器应设置在净化空调系统的末端.5.同一净化空调系统内末端安装的高效.亚高效。超高效 空气过滤器的阻力、效率应相近.6,同一净化空调系统内末端安装的高效、亚高效。超高效,空气过滤器的使用风量与额定风量之比值宜相近、7.对化学污染物有控制要求的洁净室.区。在净化空调系统中应根据环境条件设置化学过滤器或其他去除装置 8，高效 亚高效。超高效。空气过滤器应采用不燃或难燃材料制作，7。4，2。风机过滤器机组的设置应符合下列要求,1,应根据空气洁净度等级和送风量选用,2、应按洁净室、区,内生产工艺对气流流型的要求布置,3、终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定。4、送风量应能调节、5。应便于安装，维修及过滤器更换。满布或布置率较高时,外壳强度应满足检修要求，7,4、3,层流罩的设置应符合下列要求 1，洁净室。区.内等于或严于5级的局部净化区域宜采用层流罩.2。层流罩的形式和进风方式应根据生产工艺或设备需要选用.3。终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定 4，安装方式不应影响生产操作，7,4。4。微环境装置的设置应符合下列要求。1,当生产工艺或设备对空气洁净度等级 外扰或温度.相对湿度有较高要求、且所控区域不大时。宜采用微环境装置、2,微环境装置宜与生产工艺设备配套。3.在不影响工艺操作的前提下、应具有可靠的密闭性 内外表面应平整 光滑，4。围挡构造 材料的选用应方便生产操作 7,4.5。干表冷器的设置应符合下列要求，1、安装位置 外形尺寸应根据洁净厂房的平面和空间布置确定.2.迎面风速，结构形式应根据洁净室,区 冷负荷。风机过滤器机组所提供的机外余压确定，3、冷冻水进水温度.宜高于洁净室，区,内空气的露点温度。4,应设置排水设施。7、4，6，净化空调系统空气处理机组的选用和布置。应符合下列要求 1。应有良好的气密性、漏风率不得大于1、2、整体结构应有足够的强度和刚度，内表面应平整。光滑,外表面不应结露,3，布置应整齐，并应便于运行和维修.当多套空气处理机组为同一洁净室,区 服务时，宜选用相同规格的空气处理机组。4。送风机宜采取变频调速措施,送风机可按净化空调系统的总风量和总阻力值进行选择。计算系统总阻力时,中效 高中效、高效 亚高效、超高效,空气过滤器的阻力宜按其初阻力的1，5 2,0倍取值,5.应设置排水装置。