7、4、空气净化设备7。4，1.空气过滤器的选用和布置应符合下列要求 1.空气过滤器应根据空气洁净度等级选用、2，空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量.3，中效。高中效，空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段 4.高效、亚高效.空气过滤器宜设置在净化空调系统的末端，超高效空气过滤器应设置在净化空调系统的末端、5，同一净化空调系统内末端安装的高效.亚高效,超高效、空气过滤器的阻力 效率应相近、6、同一净化空调系统内末端安装的高效,亚高效。超高效、空气过滤器的使用风量与额定风量之比值宜相近，7。对化学污染物有控制要求的洁净室。区 在净化空调系统中应根据环境条件设置化学过滤器或其他去除装置，8、高效，亚高效.超高效 空气过滤器应采用不燃或难燃材料制作。7,4 2。风机过滤器机组的设置应符合下列要求。1。应根据空气洁净度等级和送风量选用 2。应按洁净室，区。内生产工艺对气流流型的要求布置，3.终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定。4，送风量应能调节,5、应便于安装，维修及过滤器更换.满布或布置率较高时,外壳强度应满足检修要求，7.4 3 层流罩的设置应符合下列要求，1,洁净室,区，内等于或严于5级的局部净化区域宜采用层流罩。2。层流罩的形式和进风方式应根据生产工艺或设备需要选用,3,终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定。4,安装方式不应影响生产操作、7。4.4.微环境装置的设置应符合下列要求，1 当生产工艺或设备对空气洁净度等级，外扰或温度 相对湿度有较高要求.且所控区域不大时，宜采用微环境装置、2、微环境装置宜与生产工艺设备配套,3,在不影响工艺操作的前提下 应具有可靠的密闭性,内外表面应平整。光滑,4,围挡构造。材料的选用应方便生产操作,7，4，5。干表冷器的设置应符合下列要求，1。安装位置,外形尺寸应根据洁净厂房的平面和空间布置确定、2.迎面风速,结构形式应根据洁净室，区,冷负荷。风机过滤器机组所提供的机外余压确定，3，冷冻水进水温度。宜高于洁净室.区。内空气的露点温度 4、应设置排水设施.7.4,6.净化空调系统空气处理机组的选用和布置,应符合下列要求、1 应有良好的气密性,漏风率不得大于1.2,整体结构应有足够的强度和刚度,内表面应平整 光滑,外表面不应结露 3,布置应整齐，并应便于运行和维修、当多套空气处理机组为同一洁净室，区,服务时。宜选用相同规格的空气处理机组 4、送风机宜采取变频调速措施，送风机可按净化空调系统的总风量和总阻力值进行选择，计算系统总阻力时 中效.高中效，高效.亚高效.超高效、空气过滤器的阻力宜按其初阻力的1，5 2,0倍取值，5.应设置排水装置.