7。4 空气净化设备7，4，1，电子工业洁净厂房的净化空调系统的核心设备之一的空气过滤器的正确选用和合理布置、是至关重要的、首先。应遵循我国的相关国家标准，行业标准合理选用空气过滤器。包括空气过滤器的处理风量，效率,阻力、材质和检测方法，含检漏方法。等。其次,根据具体工程项目的产品生产要求和净化空调系统设计，合理安排各类空气过滤器的位置 在空调箱中、中效,高中效 空气过滤器常安装在正压段,但近年来为了保持表冷器表面清洁 减少尘粒沉积、已有许多设计中在风机前安装中效空气过滤器、图7便是一例 鉴于目前我国的相关标准中还没有去除化学污染物的空气过滤器或其他去除装置的标准,只能参照相关国际标准进行选用和布置，7 4.2 风机过滤机组 FFU,是将风机与高效过滤器。HEPA 或超高效过滤器,ULPA 组合在一起。构成自身可提供推动力的末端空气净化装置 它由风机、过滤器。机壳和电器控制等部分组成，FFU的主要技术性能包括风量,一般以断面风速表示,余压，能耗、效率。噪声和控制方式等 目前国内电子工业洁净室应用FFU越来越多、不仅在大面积,空气洁净度要求严格的单向流或混合流洁净室 区。采用。而且在各种用途的,面积不是很大的单向流或混合流洁净室，区 中也有应用，目前在应用中受到各方面关注的主要是FFU装置的经济性、投资、运行费、风量和余压、噪声 能耗等性能参数.表21是对国内市场的几个制造厂家生产的FFU装置的实测性能参数.从表21中数据可见，4种同样风速,风量下的FFU装置.余压,能耗相差较大。单台噪声均在60dB。A。以下。但是数十台,数百台甚至上千台FFU装置安装后的叠加噪声将是不同的 据初步估算、为了达到本规范规定的单向流，混合流洁净室噪声不超过65dB A 空态，的要求 FFU在断面风速为0、45m。s的条件下.其余压大于100Pa时 单台FFU装置的噪声应为50dB.A、左右、基于上述情况,本条对电子工业洁净厂房中FFU装置的设置 提出了5款基本要求,7.4。5，干表冷器是以中温水为冷媒的空气换热设备,其功能只要求空气降温,不需去湿，即无凝结水析出 在与FFU联合使用时.干表冷器设置在FFU回风的通道上.其冷媒的进水温度应计算确定。通过的风速不宜过高,一般应小于2m,s.干表冷器的风阻力不应太大.应在30 40Pa左右、在正常运行时虽无凝结水析出。但是为了安全。最好还应设置滴水盘或其他排水措施。7 4 6，空气处理机组是电子工业洁净厂房净化空调系统的关键设备。它与舒适性空调系统中的空气处理机组相比、首先应做到气密性好,既应减少系统中的空气往外泄漏.使能量消耗增加。又要防止、机组,周围相对脏的空气渗入、机组，增大各级过滤器的负荷.所以本条规定机组的漏风率不得大于1,第二,为了做到空气处理机组在运行维护中.不易渗漏 散发微粒和便于擦拭、清洁 不仅整体结构应耐压具有足够强度和刚度、而且内表面应乎整，光滑.并应具有较好的保温和防冷桥的性能，第三。洁净室设计经验表明,洁净厂房能量消耗大、其中净化空调系统及其冷热源设备又是能量消耗大户.送风量大是能量消耗大的主要源头.降低送风量有多项技术措施,在净化空调系统已经确定送风量的情况下,随着电子产品生产过程中生产工艺设备开启数量和负荷率的变化 室内外温湿度的变化等因素的变化.都可能需要调节送风量，另外、净化空调系统中的初,中,高效过滤器的阻力是不断变化的。为此送风机采取变频变速措施 可调节风机转数、调节送风量,减少电能消耗.是洁净厂房的重要节能措施之一。但是送风机的变频变速措施的设置。一定要结合具体工程项目的实际情况.合理进行选择