12,4。自动控制12，4 1.12，4.2.电子工业洁净厂房的设备监控系统是一门集电气技术、自动化仪表，计算机技术和网络通信等技术为一体的综合技术，只有正确合理地运用各门技术。系统才能达到控制要求 为了保证电子工业洁净厂房对生产环境控制的特殊要求。公用动力工程系统.净化空调系统等的控制系统应具有高可靠性。其次.对于不同的控制设备.要求具有开放性、以适应实现全厂联网控制的要求,电子产品工艺技术发展迅速。电子工业洁净厂房设计应具有灵活性.扩展性 为此要求控制设备具有可扩展性、以满足洁净厂房控制要求的变化，集散式网络结构具有良好的人机交互界面。能较好地实现对生产环境.各类动力公用设备实施检测，监视和控制、可适用于采用计算机技术进行控制的洁净厂房,当洁净厂房的参数指标要求不是很严格时。也采用常规仪表进行控制，但无论采用何种方式，控制精度都应满足生产要求、并能做到稳定。可靠运行。达到节能的要求,12、4,3，洁净室 区，需要保持一定的静压差.这是实现洁净室 区 空气洁净度的基本要求，所有洁净室，区,都应采用各种不同的静压差控制方法.如余压阀。压差变送器等.12.4 4.净化空调系统采用电加热器对送入洁净室.区.的洁净空气进行加热时，通常都将电加热器设置在送风管的支干管或支管上.一旦发生风机事故停车或送风量减少引起送风温度超过允许温度时，可能诱发电加热器烧毁甚至相关部分着火事故，净化空调系统采用电加湿器时 加湿器加热汽化纯水对送入洁净室,区 的洁净空气增湿、通常将电加湿器安装在空气处理机组或送风管内,一旦发生纯水供水中断或无风时,也会诱发电加湿器烧毁甚至相关部分着火事故 为此作了本条的规定,并为强制性条文,