12、4,自动控制12,4.1。12.4,2 电子工业洁净厂房的设备监控系统是一门集电气技术，自动化仪表,计算机技术和网络通信等技术为一体的综合技术.只有正确合理地运用各门技术,系统才能达到控制要求,为了保证电子工业洁净厂房对生产环境控制的特殊要求,公用动力工程系统.净化空调系统等的控制系统应具有高可靠性,其次。对于不同的控制设备，要求具有开放性、以适应实现全厂联网控制的要求、电子产品工艺技术发展迅速 电子工业洁净厂房设计应具有灵活性,扩展性，为此要求控制设备具有可扩展性 以满足洁净厂房控制要求的变化。集散式网络结构具有良好的人机交互界面、能较好地实现对生产环境,各类动力公用设备实施检测,监视和控制,可适用于采用计算机技术进行控制的洁净厂房 当洁净厂房的参数指标要求不是很严格时 也采用常规仪表进行控制，但无论采用何种方式，控制精度都应满足生产要求 并能做到稳定，可靠运行.达到节能的要求.12。4，3 洁净室,区。需要保持一定的静压差 这是实现洁净室，区、空气洁净度的基本要求，所有洁净室,区。都应采用各种不同的静压差控制方法。如余压阀。压差变送器等.12、4、4、净化空调系统采用电加热器对送入洁净室.区.的洁净空气进行加热时、通常都将电加热器设置在送风管的支干管或支管上。一旦发生风机事故停车或送风量减少引起送风温度超过允许温度时，可能诱发电加热器烧毁甚至相关部分着火事故.净化空调系统采用电加湿器时.加湿器加热汽化纯水对送入洁净室 区、的洁净空气增湿.通常将电加湿器安装在空气处理机组或送风管内,一旦发生纯水供水中断或无风时。也会诱发电加湿器烧毁甚至相关部分着火事故、为此作了本条的规定,并为强制性条文.