12 4。自动控制12 4。1 12,4 2、电子工业洁净厂房的设备监控系统是一门集电气技术 自动化仪表,计算机技术和网络通信等技术为一体的综合技术 只有正确合理地运用各门技术 系统才能达到控制要求，为了保证电子工业洁净厂房对生产环境控制的特殊要求、公用动力工程系统、净化空调系统等的控制系统应具有高可靠性.其次，对于不同的控制设备,要求具有开放性.以适应实现全厂联网控制的要求、电子产品工艺技术发展迅速,电子工业洁净厂房设计应具有灵活性.扩展性 为此要求控制设备具有可扩展性。以满足洁净厂房控制要求的变化、集散式网络结构具有良好的人机交互界面 能较好地实现对生产环境.各类动力公用设备实施检测.监视和控制,可适用于采用计算机技术进行控制的洁净厂房.当洁净厂房的参数指标要求不是很严格时.也采用常规仪表进行控制，但无论采用何种方式,控制精度都应满足生产要求，并能做到稳定,可靠运行.达到节能的要求。12。4，3 洁净室,区.需要保持一定的静压差,这是实现洁净室、区、空气洁净度的基本要求,所有洁净室.区。都应采用各种不同的静压差控制方法，如余压阀，压差变送器等,12,4。4，净化空调系统采用电加热器对送入洁净室，区，的洁净空气进行加热时，通常都将电加热器设置在送风管的支干管或支管上.一旦发生风机事故停车或送风量减少引起送风温度超过允许温度时.可能诱发电加热器烧毁甚至相关部分着火事故 净化空调系统采用电加湿器时.加湿器加热汽化纯水对送入洁净室，区、的洁净空气增湿。通常将电加湿器安装在空气处理机组或送风管内，一旦发生纯水供水中断或无风时.也会诱发电加湿器烧毁甚至相关部分着火事故 为此作了本条的规定,并为强制性条文、