12.4，自动控制12、4 1.12，4、2.电子工业洁净厂房的设备监控系统是一门集电气技术。自动化仪表 计算机技术和网络通信等技术为一体的综合技术,只有正确合理地运用各门技术，系统才能达到控制要求.为了保证电子工业洁净厂房对生产环境控制的特殊要求.公用动力工程系统。净化空调系统等的控制系统应具有高可靠性,其次.对于不同的控制设备，要求具有开放性.以适应实现全厂联网控制的要求 电子产品工艺技术发展迅速，电子工业洁净厂房设计应具有灵活性，扩展性、为此要求控制设备具有可扩展性,以满足洁净厂房控制要求的变化。集散式网络结构具有良好的人机交互界面,能较好地实现对生产环境、各类动力公用设备实施检测 监视和控制、可适用于采用计算机技术进行控制的洁净厂房 当洁净厂房的参数指标要求不是很严格时。也采用常规仪表进行控制，但无论采用何种方式。控制精度都应满足生产要求,并能做到稳定，可靠运行。达到节能的要求、12、4.3,洁净室。区。需要保持一定的静压差.这是实现洁净室，区、空气洁净度的基本要求、所有洁净室 区，都应采用各种不同的静压差控制方法 如余压阀。压差变送器等.12、4、4。净化空调系统采用电加热器对送入洁净室.区。的洁净空气进行加热时、通常都将电加热器设置在送风管的支干管或支管上、一旦发生风机事故停车或送风量减少引起送风温度超过允许温度时、可能诱发电加热器烧毁甚至相关部分着火事故，净化空调系统采用电加湿器时.加湿器加热汽化纯水对送入洁净室 区 的洁净空气增湿。通常将电加湿器安装在空气处理机组或送风管内.一旦发生纯水供水中断或无风时.也会诱发电加湿器烧毁甚至相关部分着火事故,为此作了本条的规定.并为强制性条文。