12,4。自动控制12 4,1.12.4 2 电子工业洁净厂房的设备监控系统是一门集电气技术。自动化仪表,计算机技术和网络通信等技术为一体的综合技术.只有正确合理地运用各门技术、系统才能达到控制要求 为了保证电子工业洁净厂房对生产环境控制的特殊要求。公用动力工程系统,净化空调系统等的控制系统应具有高可靠性.其次.对于不同的控制设备.要求具有开放性、以适应实现全厂联网控制的要求。电子产品工艺技术发展迅速.电子工业洁净厂房设计应具有灵活性,扩展性。为此要求控制设备具有可扩展性.以满足洁净厂房控制要求的变化、集散式网络结构具有良好的人机交互界面.能较好地实现对生产环境,各类动力公用设备实施检测.监视和控制,可适用于采用计算机技术进行控制的洁净厂房、当洁净厂房的参数指标要求不是很严格时、也采用常规仪表进行控制,但无论采用何种方式、控制精度都应满足生产要求。并能做到稳定。可靠运行 达到节能的要求 12,4,3、洁净室、区、需要保持一定的静压差 这是实现洁净室。区.空气洁净度的基本要求.所有洁净室.区 都应采用各种不同的静压差控制方法,如余压阀,压差变送器等、12.4,4.净化空调系统采用电加热器对送入洁净室。区。的洁净空气进行加热时,通常都将电加热器设置在送风管的支干管或支管上,一旦发生风机事故停车或送风量减少引起送风温度超过允许温度时。可能诱发电加热器烧毁甚至相关部分着火事故 净化空调系统采用电加湿器时。加湿器加热汽化纯水对送入洁净室,区,的洁净空气增湿,通常将电加湿器安装在空气处理机组或送风管内。一旦发生纯水供水中断或无风时。也会诱发电加湿器烧毁甚至相关部分着火事故,为此作了本条的规定.并为强制性条文

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