12.4、自动控制12。4。1。12,4.2,电子工业洁净厂房的设备监控系统是一门集电气技术.自动化仪表 计算机技术和网络通信等技术为一体的综合技术 只有正确合理地运用各门技术 系统才能达到控制要求 为了保证电子工业洁净厂房对生产环境控制的特殊要求 公用动力工程系统 净化空调系统等的控制系统应具有高可靠性.其次。对于不同的控制设备,要求具有开放性,以适应实现全厂联网控制的要求。电子产品工艺技术发展迅速、电子工业洁净厂房设计应具有灵活性、扩展性,为此要求控制设备具有可扩展性,以满足洁净厂房控制要求的变化,集散式网络结构具有良好的人机交互界面。能较好地实现对生产环境,各类动力公用设备实施检测.监视和控制.可适用于采用计算机技术进行控制的洁净厂房,当洁净厂房的参数指标要求不是很严格时.也采用常规仪表进行控制 但无论采用何种方式、控制精度都应满足生产要求,并能做到稳定 可靠运行.达到节能的要求 12.4、3,洁净室。区,需要保持一定的静压差 这是实现洁净室 区,空气洁净度的基本要求 所有洁净室 区。都应采用各种不同的静压差控制方法,如余压阀、压差变送器等 12。4 4、净化空调系统采用电加热器对送入洁净室,区 的洁净空气进行加热时。通常都将电加热器设置在送风管的支干管或支管上、一旦发生风机事故停车或送风量减少引起送风温度超过允许温度时,可能诱发电加热器烧毁甚至相关部分着火事故,净化空调系统采用电加湿器时 加湿器加热汽化纯水对送入洁净室,区 的洁净空气增湿。通常将电加湿器安装在空气处理机组或送风管内。一旦发生纯水供水中断或无风时 也会诱发电加湿器烧毁甚至相关部分着火事故。为此作了本条的规定,并为强制性条文
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