12.4、自动控制12 4.1，12、4 2、电子工业洁净厂房的设备监控系统是一门集电气技术 自动化仪表、计算机技术和网络通信等技术为一体的综合技术 只有正确合理地运用各门技术、系统才能达到控制要求，为了保证电子工业洁净厂房对生产环境控制的特殊要求，公用动力工程系统、净化空调系统等的控制系统应具有高可靠性。其次,对于不同的控制设备、要求具有开放性、以适应实现全厂联网控制的要求，电子产品工艺技术发展迅速 电子工业洁净厂房设计应具有灵活性、扩展性.为此要求控制设备具有可扩展性。以满足洁净厂房控制要求的变化 集散式网络结构具有良好的人机交互界面.能较好地实现对生产环境 各类动力公用设备实施检测，监视和控制。可适用于采用计算机技术进行控制的洁净厂房。当洁净厂房的参数指标要求不是很严格时,也采用常规仪表进行控制.但无论采用何种方式,控制精度都应满足生产要求、并能做到稳定、可靠运行、达到节能的要求、12，4 3.洁净室，区.需要保持一定的静压差,这是实现洁净室、区 空气洁净度的基本要求 所有洁净室,区、都应采用各种不同的静压差控制方法、如余压阀。压差变送器等 12 4、4、净化空调系统采用电加热器对送入洁净室。区、的洁净空气进行加热时。通常都将电加热器设置在送风管的支干管或支管上.一旦发生风机事故停车或送风量减少引起送风温度超过允许温度时、可能诱发电加热器烧毁甚至相关部分着火事故 净化空调系统采用电加湿器时、加湿器加热汽化纯水对送入洁净室.区，的洁净空气增湿.通常将电加湿器安装在空气处理机组或送风管内.一旦发生纯水供水中断或无风时。也会诱发电加湿器烧毁甚至相关部分着火事故、为此作了本条的规定.并为强制性条文、