12 4、自动控制12,4.1.12、4.2、电子工业洁净厂房的设备监控系统是一门集电气技术，自动化仪表 计算机技术和网络通信等技术为一体的综合技术.只有正确合理地运用各门技术、系统才能达到控制要求、为了保证电子工业洁净厂房对生产环境控制的特殊要求,公用动力工程系统 净化空调系统等的控制系统应具有高可靠性,其次.对于不同的控制设备，要求具有开放性、以适应实现全厂联网控制的要求.电子产品工艺技术发展迅速.电子工业洁净厂房设计应具有灵活性，扩展性,为此要求控制设备具有可扩展性,以满足洁净厂房控制要求的变化.集散式网络结构具有良好的人机交互界面。能较好地实现对生产环境，各类动力公用设备实施检测 监视和控制,可适用于采用计算机技术进行控制的洁净厂房.当洁净厂房的参数指标要求不是很严格时。也采用常规仪表进行控制 但无论采用何种方式.控制精度都应满足生产要求、并能做到稳定，可靠运行 达到节能的要求.12 4，3 洁净室。区，需要保持一定的静压差,这是实现洁净室 区，空气洁净度的基本要求 所有洁净室。区，都应采用各种不同的静压差控制方法、如余压阀、压差变送器等 12，4 4，净化空调系统采用电加热器对送入洁净室,区.的洁净空气进行加热时、通常都将电加热器设置在送风管的支干管或支管上 一旦发生风机事故停车或送风量减少引起送风温度超过允许温度时 可能诱发电加热器烧毁甚至相关部分着火事故。净化空调系统采用电加湿器时。加湿器加热汽化纯水对送入洁净室、区、的洁净空气增湿、通常将电加湿器安装在空气处理机组或送风管内.一旦发生纯水供水中断或无风时、也会诱发电加湿器烧毁甚至相关部分着火事故,为此作了本条的规定,并为强制性条文.