12 4，自动控制12,4 1、12 4 2,电子工业洁净厂房的设备监控系统是一门集电气技术。自动化仪表。计算机技术和网络通信等技术为一体的综合技术、只有正确合理地运用各门技术，系统才能达到控制要求。为了保证电子工业洁净厂房对生产环境控制的特殊要求 公用动力工程系统.净化空调系统等的控制系统应具有高可靠性,其次、对于不同的控制设备。要求具有开放性.以适应实现全厂联网控制的要求,电子产品工艺技术发展迅速 电子工业洁净厂房设计应具有灵活性.扩展性,为此要求控制设备具有可扩展性，以满足洁净厂房控制要求的变化、集散式网络结构具有良好的人机交互界面。能较好地实现对生产环境，各类动力公用设备实施检测,监视和控制 可适用于采用计算机技术进行控制的洁净厂房.当洁净厂房的参数指标要求不是很严格时,也采用常规仪表进行控制、但无论采用何种方式。控制精度都应满足生产要求、并能做到稳定.可靠运行 达到节能的要求，12、4。3，洁净室。区、需要保持一定的静压差,这是实现洁净室,区,空气洁净度的基本要求。所有洁净室.区、都应采用各种不同的静压差控制方法、如余压阀。压差变送器等、12，4，4、净化空调系统采用电加热器对送入洁净室,区，的洁净空气进行加热时，通常都将电加热器设置在送风管的支干管或支管上、一旦发生风机事故停车或送风量减少引起送风温度超过允许温度时,可能诱发电加热器烧毁甚至相关部分着火事故，净化空调系统采用电加湿器时，加湿器加热汽化纯水对送入洁净室 区。的洁净空气增湿.通常将电加湿器安装在空气处理机组或送风管内。一旦发生纯水供水中断或无风时 也会诱发电加湿器烧毁甚至相关部分着火事故,为此作了本条的规定，并为强制性条文。