12 4.自动控制12。4 1 12。4。2、电子工业洁净厂房的设备监控系统是一门集电气技术,自动化仪表,计算机技术和网络通信等技术为一体的综合技术,只有正确合理地运用各门技术.系统才能达到控制要求 为了保证电子工业洁净厂房对生产环境控制的特殊要求。公用动力工程系统 净化空调系统等的控制系统应具有高可靠性、其次、对于不同的控制设备。要求具有开放性。以适应实现全厂联网控制的要求、电子产品工艺技术发展迅速,电子工业洁净厂房设计应具有灵活性、扩展性,为此要求控制设备具有可扩展性。以满足洁净厂房控制要求的变化,集散式网络结构具有良好的人机交互界面,能较好地实现对生产环境,各类动力公用设备实施检测,监视和控制。可适用于采用计算机技术进行控制的洁净厂房.当洁净厂房的参数指标要求不是很严格时 也采用常规仪表进行控制、但无论采用何种方式。控制精度都应满足生产要求,并能做到稳定.可靠运行。达到节能的要求 12 4。3。洁净室。区 需要保持一定的静压差 这是实现洁净室,区、空气洁净度的基本要求。所有洁净室 区.都应采用各种不同的静压差控制方法.如余压阀 压差变送器等,12、4,4,净化空调系统采用电加热器对送入洁净室,区。的洁净空气进行加热时。通常都将电加热器设置在送风管的支干管或支管上 一旦发生风机事故停车或送风量减少引起送风温度超过允许温度时、可能诱发电加热器烧毁甚至相关部分着火事故、净化空调系统采用电加湿器时 加湿器加热汽化纯水对送入洁净室。区,的洁净空气增湿.通常将电加湿器安装在空气处理机组或送风管内。一旦发生纯水供水中断或无风时、也会诱发电加湿器烧毁甚至相关部分着火事故,为此作了本条的规定、并为强制性条文.

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