12.3,通信与安全保护装置12 3 1.电子工业洁净厂房是一密闭性建筑,为确保正常生产 安全生产.在洁净室.区、内设置通信设施。是加强内外联系和实现科学管理的重要手段.1,洁净室内设置内外联系的通信设施。主要指建立内外语音和数据通信.鉴于洁净室内的工作人员是主要的尘源 人员走动时的发尘量是静止时的5，10倍,为了减少洁净室内人员的走动。保证室内洁净度 在每个工位宜设一个有线语音插座。2 若洁净室，区,设有无线通信系统时、应采用功率小的微蜂窝无线通信等系统、以避免对生产设备造成干扰 3。洁净室生产工艺大多采用自动化操作.需要网络来支持，现代化生产管理,也需要网络来支持 因此 需在洁净室,区 设局域网的线路及插座 4.为减少洁净室.区,内人员的活动。最大限度地减少不必要人员进入.通信配线及管理设备不应设置在洁净室,区，内,12 3。2，电子产品生产用洁净厂房中的丙类生产厂房,按照现行国家标准、火灾自动报警系统设计规范.GB、50116的要求,其火灾保护等级应为二级,当此类洁净厂房中防火分区面积不超过现行国家标准,建筑设计防火规范，GB、50016要求的防火分区的最大允许建筑面积时.是可行的、但有些电子工业洁净厂房由于工艺流程的需要。其防火分区的面积超过现行国家标准、建筑设计防火规范,GB、50016的规定 有的甚至超过几倍。另外.电子产品生产工艺复杂，有些电子产品生产中要使用多种易燃、有毒化学溶剂和易燃,有毒气体，特种气体、洁净厂房是密闭性空间，一旦发生火灾、热量无处泄漏 火情扩散速度较快,且通过风管或风道彼此串通，烟火会沿着风管或风道迅速蔓延,电子工业洁净厂房中的生产设备又很昂贵.加强对洁净室的火灾报警系统设置是非常必要的。所以。在防火分区面积超过规定时，应将保护等级提高为一级，12 3.3,由于洁净室.区 进出程序比较复杂、一般未做身体净化的人员是不能进入的 当洁净室内火灾报警时、又需要进行火灾确认后方可手动控制空调机等设备的动作。因此，应该在洁净室、区，内。包括下技术夹层内,空调机房、动力站房。各类控制室内均应设置固定消防电话分机,建立洁净室与消防控制室的消防专用通信线路.以便消防控制人员通过电话及时了解洁净室，区.和相关房间内的火灾情况，12.3,4。制定本条的依据是 1。电子工业洁净厂房内火灾探测器选择时,应充分考虑洁净室.区。的环境条件及房间构造特点,如高度。面积，空气流向、流速，有无对火灾探测器的干扰等。以及火灾探测器的特性和技术指标,选用智能型探测器可比较可靠地探测火灾、2.在一些芯片制造和第五代.六代以上液晶显示器生产用洁净厂房、洁净生产区的面积较大、防火分区的面积大大超过现行国家标准。建筑设计防火规范。GB。50016规定的最大容许建筑面积.为强化消防设计技术措施，本条明确规定在洁净室.区 内净化空调系统混入新风前的回风气流中.应设置高灵敏度的早期烟雾报警探测器 把着眼点放在不可见烟雾的探测，尽早发现火情、把火灾消灭在萌发阶段 为避免事态扩大争取到更多的宝贵时间 据了解,近年来这类洁净厂房均在回风气流中安装了高灵敏度早期报警火灾探测器。虽然费用较高和安装.维护要求严格 但仍然得到了用户和消防部门的认可、3、在室温下、硅烷是一种在空气中可以自燃的气体。硅烷一旦泄漏.很快燃烧,不产生烟雾,而红外。紫外线、UV IR、双重扫描的火焰探测器.对硅烷产生的火灾反应速度最快，故规定硅烷储存.分配间 区、应采用火焰探测器、4,洁净室，区、的上下技术夹层.静压箱有时是有操作人员在现场的.当这些区域发生火灾时.为了第一时间发出警报,便于人员疏散,应设置手动报警按钮和声光报警装置，12、3.5.在消防控制室平时对下列设备不应自动联动 应对洁净室。区,的火灾报警进行核实.当确认火灾后 才能在消防控制室进行手动控制、1、由于一旦关闭电动防火阀 停止送风.洁净室、区,的环境就会遭到破坏。恢复起来需要一定的代价和时间。所以规定应在火灾报警核实、确认火灾后.才能实施。关闭有关部位的电动防火阀 停止相应的净化空调系统的送风机，排风机和新风机、并接收其反馈信号、2。为防止误报造成不必要的损失,宜在消防值班室或低压配电室采用人工方式 对洁净室、区 空调循环风机。新风机等各类设备的非消防用电进行控制,12,3、6。12,3。8，制定这三条的根据是1、在一些电子产品生产过程中使用品种多样的易燃 易爆.有毒气体、如SiH4,SiH2Cl2，NH3 C4F6。AsH3、PH3。Cl2等。这些气体一旦泄漏，将可能产生火灾或爆炸，或危及操作人员安全，或对设备造成损害 因此 必须设置有效 安全,可靠的气体探测和控制系统 避免,防止因气体泄漏造成事故 气体探测器按原理分。有电化学式、化学纸带式。红外技术和固态金属氧化物技术等。按采样方式分.有泵吸式和扩散式、应根据所监测的气体物化特性和使用环境特点合理选用.2、因在各种气体的输送管道和特种气体的气瓶柜。分配阀门箱内的气瓶阀。减压阀、分配阀、切换阀等的连接处容易产生气体泄漏 在特气柜更换气瓶时因操作不当阀门未关紧，管道接口 阀门受腐蚀或连接不牢固等原因 易产生气体泄漏.因此 在这些易发生泄漏的场所 沿程管道的阀门或接头易泄漏处和气瓶柜 分配阀门箱内均应设置检测点.气瓶柜，分配阀门箱均设有强制排风系统 如有气体泄漏时、泄漏的气体大部分被吸入到排风管内，所以应将采样点设置在排风管口处.3、气体泄漏报警装置报警后。为了及时切断相应气体的气源,防止继续泄漏 造成着火。爆炸事故,应自动联锁相应气体输送管道的进气阀门。4.美国消防协会发布的NFPA，318,洁净室消防标准，第6，6，1条规定、易燃或有毒气体在使用中。应设置于配有排气通风的柜内，柜内应设置气体监测报警和自动切断气体供应设施.第6 6.3条规定.在可能有易燃，有毒气体泄漏的场所 阀门或装配件或接头处,应设置气体报警和排气通风设施 一旦报警时。应能切断气源,第6,6,5条规定，对可能发生易燃气体泄漏的场所 设置爆炸下限20 的报警装置.以上各条要求是制定本条规定的主要依据