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11,5、工艺设备安装11、5,2、这是为了在安装过程中避免有污染发生 而在系统已稳定运行条件下、可保证能及时迅速排除污染 11 5.5。此条是参照IS0、14644有关部分的精神制定的。说明在安装期间、安装空间不能有正压风,而把污染压向外界、11,5.7、这是为了避免移动时少破坏少产尘.11,5.10,这是为了防止缝隙中积尘不好清洁.
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