6.2,管材及附件6。2.1.除了纯度与干燥度的控制外。洁净室的洁净度级别 是我们控制管道系统输送气体污染物粒子量级的重要依据.气体管道系统供气质量符合洁净室的等级要求.就能够满足工艺气体洁净度对粒子污染物的控制要求、关于管材选配原则、是这样考虑的,1,管材的透气性要小，1。对于不同材质的管道.其透气性能不同，如果管材本身透气性较大 而安装中不恰当地作了选用,那么,无论采取任何处理手段去除污染。都将无济于事。管材透气性见表1 防止大气中氧的渗透和腐蚀，不锈钢管和铜管最佳，对700mm长管路中水分的测定,见表2 2,气体中的水分主要来自管路系统,而管路系统中的水分，在很大程度上受周边环境湿度的影响,渗透对管路内的气质有很大破坏力、普通铜管内表面对杂质、尤其对水分的活性很高 因此。当使用这类管材时.切忌用溶剂或化学药品清洗、而应当用纯净气体吹扫 3 由于管道安装的环境可能在室外 即使在室内 环境空气也有一定的湿度。对铜管也有一定的影响、所以.使用铜管时。对铜管的吹扫时间应当延长.一般为不锈钢管的8.20倍，否则难以达到应有的效果 4，不锈钢管材的活性比铜管差.所以对要求较高的高纯。洁净气体来说,不锈钢管是一种较为理想的管材，对于在1 5级洁净室内。采用316L不锈钢管。对应国产品牌00Cr17Ni14Mo2、5。对于6.9级管路系统，视要求的高低可以采用316或者304不锈钢管、对应国产品牌分别为0Cr17Ni12Mo2，0Cr18Ni9。6.对氧气管路系统应根据使用条件和周边状况 可采用铜管。压缩空气管道。干燥度在。20.与、40.时 采用不锈钢管304,0Cr18Ni9,2,管材内表面吸附.解吸气体的作用要小。在不锈钢熔炼制材过程中。每吨可吸收大约200g的气体、所以，不锈钢材加工完毕，不仅其表面粘有各种污染物,而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体、这样、当管路中有气流通过时 金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中、污染纯净气体，尤其当管内气流为不连续流动时,这类材料的作用好比吸附剂 通过气流时，管材对所通过的气体形成压力下吸附 气流停止通过时、管材所吸附的气体又形成降压解析，而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中.同时,吸附、解析周而复始，使得管材内表面金属也会产生一定的粉末 这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体。3，保持管材内表面光滑，耐磨损。管材的这一特性至关重要，为了确保输送的气体的纯净度.不仅要求管材内表面有极高的光滑度,而且应当具有很高的耐磨特性，这样 既防止污染粒子及湿气在管壁滞留。管材本身在气流的高速冲刷、击、下 由于磨阻损耗低.也避免了管材的金属粉末进入气流中，造成气体的污染,不锈钢管和铜管的不同见表3,2、为提高内表面的相对粗糙度.要在管材生产工艺中加以解决.如特殊拉拔、光亮退火。内面电抛光等、比起在施工过程中加以处理要有效和可靠。因此要使用成品专用管。一般不能在现场加工,处理使用 4、具有良好的抗腐蚀性能，在生产工艺中.使用腐蚀性较强的气体时,必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管。否则。管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑，严重时会出现大片金属锈班剥离甚至导致管道穿孔 从而污染输配的纯净气体，这种场合不得使用普通无缝钢管或镀锌焊接钢管,5。在焊接处理时管材组织不发生变化、大流量的高纯。高洁净度气体输配管道的连接.原则上全部采用焊接.因此要求采用的管材在施焊时组织不发生变化、如果选用钢管,则低碳钢管材。316L。较为适宜.否则，含碳过高的材料在焊接时，受焊接热影响的部位可析出炭来。从而产生局部腐蚀应力.造成焊接部位的透气，使得管内外气体的相互渗透,破坏输送气体的纯度 干燥度和洁净度。导致各项努力全部失去意义 6.2,2 洁净室内的管材有具使用的特殊性。从进货、验证。保存 下料，焊接。装配.试压.吹除.运行等工序都有着严格的要求.所有这些内容与程序 都是管道系统质量的技术保障措施,因此 条文规定比较详细 以下几点应特别注意，1 洁净管材十分珍贵。进货不能像普通管材那样随意码放.不仅要保持外观的清洁.包装纸完好 更要防止磕碰,更重要的是保持内表面的粗糙度与光滑不受破坏.2，管端头的密封罩盖，甚至管外壁的包装纸都应完好无损。否则便成为施工单位的保管失职,3.由于特殊拉拔工艺生产的内表面。光亮退火BA。管材及内面。电研磨抛光的EP,管材、加工工艺复杂 价格昂贵。市场，内壁光滑洁净管，效果良莠不齐。不仅与国外的水平差距较大.国内各厂家的产品效果也相差甚远，必须进行相应的粗糙度的检测 验证其可靠性与真实性、确保施工起点高、从源头消除隐患,确保洁净室内相应级别的管道施工质量、因此，随机抽检内表面的粗糙度是否与设计相符。是否与出厂参数相符.是洁净管道施工的一项重要的程序，系统内表面加以处理.对减少管材自身可能造成的污染十分有效 目前 研磨，电抛光是管材内表面处理的最佳方式,如果在机械加工后经电抛光。则管路系统内表面的粗糙度会得到较大的改善 见表5、为确保输送气体的质量经过管道输送不发生变化增大了可靠性。6 2、5。管路附件材质最低应与主管材质一致.在采用铜材的管路系统中。可以采用不锈钢材质的管路附件。而在采用不锈钢材质的管路系统中。不得采用低于主管材的铜材质的管路附件.而且。凡是与应用气体接触的管路系统,均不得含有塑料制件.不锈钢管的耐磨性能优于铜管.在气流冲刷下产生的金属粉尘相对也少 对洁净度要求高的场合使用不锈钢管316L、316.304。不得采用铜管材、铜管内表而对杂质。尤其对水分的活性很高。因此.当使用这类管材时、切忌用溶剂或化学药品清洗 而应当用纯净气体吹扫 清洗也比不锈钢材难度大，而且在微电子生产中,个别生产工艺.如砷化镓的操作，为了防止产生器件电阻。不允许使用铜质管路及其附件、由于管道安装的环境空气也有一定的湿度、对铜管也有一定的影响、所以，使用铜管时、对铜管的吹扫时间应当延长。一般为不锈钢管的8，20倍