6，2,管材及附件6,2、1 除了纯度与干燥度的控制外、洁净室的洁净度级别 是我们控制管道系统输送气体污染物粒子量级的重要依据.气体管道系统供气质量符合洁净室的等级要求,就能够满足工艺气体洁净度对粒子污染物的控制要求、关于管材选配原则.是这样考虑的。1.管材的透气性要小。1，对于不同材质的管道.其透气性能不同，如果管材本身透气性较大，而安装中不恰当地作了选用,那么。无论采取任何处理手段去除污染.都将无济于事,管材透气性见表1，防止大气中氧的渗透和腐蚀.不锈钢管和铜管最佳,对700mm长管路中水分的测定,见表2。2.气体中的水分主要来自管路系统,而管路系统中的水分,在很大程度上受周边环境湿度的影响。渗透对管路内的气质有很大破坏力，普通铜管内表面对杂质，尤其对水分的活性很高、因此、当使用这类管材时,切忌用溶剂或化学药品清洗.而应当用纯净气体吹扫.3,由于管道安装的环境可能在室外 即使在室内,环境空气也有一定的湿度、对铜管也有一定的影响,所以 使用铜管时，对铜管的吹扫时间应当延长，一般为不锈钢管的8、20倍,否则难以达到应有的效果、4。不锈钢管材的活性比铜管差、所以对要求较高的高纯.洁净气体来说 不锈钢管是一种较为理想的管材.对于在1.5级洁净室内。采用316L不锈钢管.对应国产品牌00Cr17Ni14Mo2.5.对于6 9级管路系统.视要求的高低可以采用316或者304不锈钢管。对应国产品牌分别为0Cr17Ni12Mo2，0Cr18Ni9 6，对氧气管路系统应根据使用条件和周边状况,可采用铜管 压缩空气管道 干燥度在，20。与,40、时，采用不锈钢管304。0Cr18Ni9。2 管材内表面吸附,解吸气体的作用要小.在不锈钢熔炼制材过程中,每吨可吸收大约200g的气体、所以。不锈钢材加工完毕,不仅其表面粘有各种污染物 而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体 这样。当管路中有气流通过时.金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中.污染纯净气体、尤其当管内气流为不连续流动时,这类材料的作用好比吸附剂，通过气流时，管材对所通过的气体形成压力下吸附,气流停止通过时 管材所吸附的气体又形成降压解析,而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中。同时、吸附。解析周而复始,使得管材内表面金属也会产生一定的粉末，这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体，3.保持管材内表面光滑、耐磨损、管材的这一特性至关重要，为了确保输送的气体的纯净度。不仅要求管材内表面有极高的光滑度 而且应当具有很高的耐磨特性。这样、既防止污染粒子及湿气在管壁滞留，管材本身在气流的高速冲刷、击。下,由于磨阻损耗低，也避免了管材的金属粉末进入气流中 造成气体的污染.不锈钢管和铜管的不同见表3，2，为提高内表面的相对粗糙度.要在管材生产工艺中加以解决、如特殊拉拔 光亮退火.内面电抛光等,比起在施工过程中加以处理要有效和可靠 因此要使用成品专用管 一般不能在现场加工、处理使用 4、具有良好的抗腐蚀性能。在生产工艺中 使用腐蚀性较强的气体时，必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管.否则 管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑,严重时会出现大片金属锈班剥离甚至导致管道穿孔、从而污染输配的纯净气体。这种场合不得使用普通无缝钢管或镀锌焊接钢管.5，在焊接处理时管材组织不发生变化，大流量的高纯.高洁净度气体输配管道的连接，原则上全部采用焊接，因此要求采用的管材在施焊时组织不发生变化、如果选用钢管，则低碳钢管材。316L。较为适宜，否则、含碳过高的材料在焊接时,受焊接热影响的部位可析出炭来.从而产生局部腐蚀应力、造成焊接部位的透气。使得管内外气体的相互渗透、破坏输送气体的纯度，干燥度和洁净度.导致各项努力全部失去意义 6，2、2、洁净室内的管材有具使用的特殊性.从进货，验证。保存 下料、焊接 装配。试压。吹除 运行等工序都有着严格的要求.所有这些内容与程序、都是管道系统质量的技术保障措施,因此,条文规定比较详细 以下几点应特别注意 1。洁净管材十分珍贵.进货不能像普通管材那样随意码放、不仅要保持外观的清洁、包装纸完好、更要防止磕碰、更重要的是保持内表面的粗糙度与光滑不受破坏，2,管端头的密封罩盖.甚至管外壁的包装纸都应完好无损、否则便成为施工单位的保管失职,3。由于特殊拉拔工艺生产的内表面 光亮退火BA.管材及内面.电研磨抛光的EP 管材、加工工艺复杂、价格昂贵.市场 内壁光滑洁净管。效果良莠不齐,不仅与国外的水平差距较大，国内各厂家的产品效果也相差甚远,必须进行相应的粗糙度的检测，验证其可靠性与真实性,确保施工起点高 从源头消除隐患，确保洁净室内相应级别的管道施工质量,因此。随机抽检内表面的粗糙度是否与设计相符.是否与出厂参数相符、是洁净管道施工的一项重要的程序。系统内表面加以处理、对减少管材自身可能造成的污染十分有效,目前 研磨。电抛光是管材内表面处理的最佳方式.如果在机械加工后经电抛光,则管路系统内表面的粗糙度会得到较大的改善,见表5,为确保输送气体的质量经过管道输送不发生变化增大了可靠性。6.2。5、管路附件材质最低应与主管材质一致、在采用铜材的管路系统中，可以采用不锈钢材质的管路附件、而在采用不锈钢材质的管路系统中，不得采用低于主管材的铜材质的管路附件、而且 凡是与应用气体接触的管路系统。均不得含有塑料制件.不锈钢管的耐磨性能优于铜管,在气流冲刷下产生的金属粉尘相对也少.对洁净度要求高的场合使用不锈钢管316L,316,304.不得采用铜管材，铜管内表而对杂质.尤其对水分的活性很高、因此,当使用这类管材时,切忌用溶剂或化学药品清洗，而应当用纯净气体吹扫。清洗也比不锈钢材难度大，而且在微电子生产中 个别生产工艺,如砷化镓的操作，为了防止产生器件电阻.不允许使用铜质管路及其附件、由于管道安装的环境空气也有一定的湿度。对铜管也有一定的影响.所以，使用铜管时、对铜管的吹扫时间应当延长,一般为不锈钢管的8.20倍,