6 2、管材及附件6.2、1。除了纯度与干燥度的控制外.洁净室的洁净度级别、是我们控制管道系统输送气体污染物粒子量级的重要依据、气体管道系统供气质量符合洁净室的等级要求 就能够满足工艺气体洁净度对粒子污染物的控制要求、关于管材选配原则。是这样考虑的 1，管材的透气性要小.1。对于不同材质的管道、其透气性能不同。如果管材本身透气性较大.而安装中不恰当地作了选用，那么 无论采取任何处理手段去除污染,都将无济于事。管材透气性见表1、防止大气中氧的渗透和腐蚀,不锈钢管和铜管最佳,对700mm长管路中水分的测定.见表2 2 气体中的水分主要来自管路系统，而管路系统中的水分,在很大程度上受周边环境湿度的影响、渗透对管路内的气质有很大破坏力.普通铜管内表面对杂质.尤其对水分的活性很高,因此。当使用这类管材时.切忌用溶剂或化学药品清洗、而应当用纯净气体吹扫 3.由于管道安装的环境可能在室外。即使在室内 环境空气也有一定的湿度。对铜管也有一定的影响.所以、使用铜管时.对铜管的吹扫时间应当延长。一般为不锈钢管的8 20倍 否则难以达到应有的效果 4,不锈钢管材的活性比铜管差。所以对要求较高的高纯 洁净气体来说，不锈钢管是一种较为理想的管材、对于在1,5级洁净室内.采用316L不锈钢管,对应国产品牌00Cr17Ni14Mo2.5、对于6.9级管路系统、视要求的高低可以采用316或者304不锈钢管、对应国产品牌分别为0Cr17Ni12Mo2。0Cr18Ni9 6,对氧气管路系统应根据使用条件和周边状况、可采用铜管。压缩空气管道，干燥度在。20、与 40，时 采用不锈钢管304。0Cr18Ni9,2 管材内表面吸附、解吸气体的作用要小 在不锈钢熔炼制材过程中，每吨可吸收大约200g的气体、所以、不锈钢材加工完毕 不仅其表面粘有各种污染物 而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体，这样、当管路中有气流通过时 金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中。污染纯净气体 尤其当管内气流为不连续流动时 这类材料的作用好比吸附剂、通过气流时.管材对所通过的气体形成压力下吸附。气流停止通过时,管材所吸附的气体又形成降压解析,而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中，同时,吸附 解析周而复始、使得管材内表面金属也会产生一定的粉末、这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体 3 保持管材内表面光滑.耐磨损.管材的这一特性至关重要。为了确保输送的气体的纯净度,不仅要求管材内表面有极高的光滑度 而且应当具有很高的耐磨特性 这样。既防止污染粒子及湿气在管壁滞留.管材本身在气流的高速冲刷。击 下,由于磨阻损耗低,也避免了管材的金属粉末进入气流中,造成气体的污染 不锈钢管和铜管的不同见表3、2、为提高内表面的相对粗糙度、要在管材生产工艺中加以解决,如特殊拉拔,光亮退火，内面电抛光等，比起在施工过程中加以处理要有效和可靠.因此要使用成品专用管.一般不能在现场加工。处理使用、4。具有良好的抗腐蚀性能 在生产工艺中、使用腐蚀性较强的气体时 必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管 否则 管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑。严重时会出现大片金属锈班剥离甚至导致管道穿孔.从而污染输配的纯净气体、这种场合不得使用普通无缝钢管或镀锌焊接钢管。5。在焊接处理时管材组织不发生变化、大流量的高纯，高洁净度气体输配管道的连接、原则上全部采用焊接,因此要求采用的管材在施焊时组织不发生变化 如果选用钢管。则低碳钢管材.316L、较为适宜，否则,含碳过高的材料在焊接时,受焊接热影响的部位可析出炭来,从而产生局部腐蚀应力、造成焊接部位的透气。使得管内外气体的相互渗透。破坏输送气体的纯度.干燥度和洁净度、导致各项努力全部失去意义，6.2,2,洁净室内的管材有具使用的特殊性,从进货，验证、保存,下料.焊接、装配，试压 吹除 运行等工序都有着严格的要求.所有这些内容与程序。都是管道系统质量的技术保障措施.因此.条文规定比较详细,以下几点应特别注意，1，洁净管材十分珍贵,进货不能像普通管材那样随意码放.不仅要保持外观的清洁。包装纸完好 更要防止磕碰、更重要的是保持内表面的粗糙度与光滑不受破坏、2.管端头的密封罩盖,甚至管外壁的包装纸都应完好无损、否则便成为施工单位的保管失职,3、由于特殊拉拔工艺生产的内表面.光亮退火BA，管材及内面，电研磨抛光的EP,管材。加工工艺复杂。价格昂贵。市场.内壁光滑洁净管 效果良莠不齐,不仅与国外的水平差距较大,国内各厂家的产品效果也相差甚远，必须进行相应的粗糙度的检测.验证其可靠性与真实性,确保施工起点高 从源头消除隐患，确保洁净室内相应级别的管道施工质量，因此 随机抽检内表面的粗糙度是否与设计相符，是否与出厂参数相符,是洁净管道施工的一项重要的程序。系统内表面加以处理、对减少管材自身可能造成的污染十分有效。目前.研磨 电抛光是管材内表面处理的最佳方式，如果在机械加工后经电抛光,则管路系统内表面的粗糙度会得到较大的改善。见表5。为确保输送气体的质量经过管道输送不发生变化增大了可靠性、6.2。5.管路附件材质最低应与主管材质一致 在采用铜材的管路系统中、可以采用不锈钢材质的管路附件，而在采用不锈钢材质的管路系统中，不得采用低于主管材的铜材质的管路附件.而且 凡是与应用气体接触的管路系统，均不得含有塑料制件，不锈钢管的耐磨性能优于铜管，在气流冲刷下产生的金属粉尘相对也少，对洁净度要求高的场合使用不锈钢管316L。316,304,不得采用铜管材.铜管内表而对杂质 尤其对水分的活性很高 因此，当使用这类管材时,切忌用溶剂或化学药品清洗。而应当用纯净气体吹扫。清洗也比不锈钢材难度大 而且在微电子生产中.个别生产工艺 如砷化镓的操作。为了防止产生器件电阻、不允许使用铜质管路及其附件,由于管道安装的环境空气也有一定的湿度 对铜管也有一定的影响,所以 使用铜管时，对铜管的吹扫时间应当延长,一般为不锈钢管的8，20倍、