6，2，管材及附件6。2。1 除了纯度与干燥度的控制外、洁净室的洁净度级别。是我们控制管道系统输送气体污染物粒子量级的重要依据,气体管道系统供气质量符合洁净室的等级要求 就能够满足工艺气体洁净度对粒子污染物的控制要求、关于管材选配原则，是这样考虑的,1、管材的透气性要小、1 对于不同材质的管道 其透气性能不同，如果管材本身透气性较大，而安装中不恰当地作了选用、那么,无论采取任何处理手段去除污染，都将无济于事。管材透气性见表1、防止大气中氧的渗透和腐蚀 不锈钢管和铜管最佳、对700mm长管路中水分的测定、见表2,2,气体中的水分主要来自管路系统 而管路系统中的水分,在很大程度上受周边环境湿度的影响、渗透对管路内的气质有很大破坏力 普通铜管内表面对杂质,尤其对水分的活性很高、因此.当使用这类管材时.切忌用溶剂或化学药品清洗 而应当用纯净气体吹扫，3.由于管道安装的环境可能在室外、即使在室内、环境空气也有一定的湿度，对铜管也有一定的影响 所以.使用铜管时 对铜管的吹扫时间应当延长，一般为不锈钢管的8 20倍。否则难以达到应有的效果。4、不锈钢管材的活性比铜管差、所以对要求较高的高纯，洁净气体来说.不锈钢管是一种较为理想的管材 对于在1、5级洁净室内,采用316L不锈钢管、对应国产品牌00Cr17Ni14Mo2，5.对于6。9级管路系统.视要求的高低可以采用316或者304不锈钢管。对应国产品牌分别为0Cr17Ni12Mo2。0Cr18Ni9、6,对氧气管路系统应根据使用条件和周边状况，可采用铜管 压缩空气管道,干燥度在,20。与,40,时 采用不锈钢管304,0Cr18Ni9，2 管材内表面吸附，解吸气体的作用要小。在不锈钢熔炼制材过程中 每吨可吸收大约200g的气体。所以、不锈钢材加工完毕 不仅其表面粘有各种污染物、而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体。这样。当管路中有气流通过时，金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中。污染纯净气体,尤其当管内气流为不连续流动时,这类材料的作用好比吸附剂.通过气流时 管材对所通过的气体形成压力下吸附.气流停止通过时、管材所吸附的气体又形成降压解析。而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中,同时.吸附。解析周而复始,使得管材内表面金属也会产生一定的粉末.这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体.3.保持管材内表面光滑 耐磨损。管材的这一特性至关重要,为了确保输送的气体的纯净度.不仅要求管材内表面有极高的光滑度、而且应当具有很高的耐磨特性，这样.既防止污染粒子及湿气在管壁滞留.管材本身在气流的高速冲刷、击、下，由于磨阻损耗低，也避免了管材的金属粉末进入气流中，造成气体的污染.不锈钢管和铜管的不同见表3、2，为提高内表面的相对粗糙度 要在管材生产工艺中加以解决.如特殊拉拔.光亮退火,内面电抛光等、比起在施工过程中加以处理要有效和可靠 因此要使用成品专用管，一般不能在现场加工。处理使用，4，具有良好的抗腐蚀性能.在生产工艺中,使用腐蚀性较强的气体时、必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管、否则。管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑.严重时会出现大片金属锈班剥离甚至导致管道穿孔，从而污染输配的纯净气体、这种场合不得使用普通无缝钢管或镀锌焊接钢管、5.在焊接处理时管材组织不发生变化、大流量的高纯.高洁净度气体输配管道的连接.原则上全部采用焊接 因此要求采用的管材在施焊时组织不发生变化、如果选用钢管.则低碳钢管材。316L、较为适宜，否则,含碳过高的材料在焊接时，受焊接热影响的部位可析出炭来、从而产生局部腐蚀应力。造成焊接部位的透气。使得管内外气体的相互渗透。破坏输送气体的纯度.干燥度和洁净度 导致各项努力全部失去意义，6、2,2、洁净室内的管材有具使用的特殊性、从进货。验证。保存 下料.焊接 装配,试压，吹除 运行等工序都有着严格的要求,所有这些内容与程序.都是管道系统质量的技术保障措施、因此。条文规定比较详细、以下几点应特别注意。1 洁净管材十分珍贵、进货不能像普通管材那样随意码放，不仅要保持外观的清洁。包装纸完好.更要防止磕碰、更重要的是保持内表面的粗糙度与光滑不受破坏、2。管端头的密封罩盖 甚至管外壁的包装纸都应完好无损、否则便成为施工单位的保管失职、3.由于特殊拉拔工艺生产的内表面.光亮退火BA、管材及内面、电研磨抛光的EP 管材,加工工艺复杂、价格昂贵 市场 内壁光滑洁净管，效果良莠不齐。不仅与国外的水平差距较大,国内各厂家的产品效果也相差甚远,必须进行相应的粗糙度的检测.验证其可靠性与真实性。确保施工起点高，从源头消除隐患.确保洁净室内相应级别的管道施工质量,因此、随机抽检内表面的粗糙度是否与设计相符 是否与出厂参数相符,是洁净管道施工的一项重要的程序，系统内表面加以处理 对减少管材自身可能造成的污染十分有效.目前。研磨 电抛光是管材内表面处理的最佳方式，如果在机械加工后经电抛光，则管路系统内表面的粗糙度会得到较大的改善,见表5,为确保输送气体的质量经过管道输送不发生变化增大了可靠性 6，2,5、管路附件材质最低应与主管材质一致。在采用铜材的管路系统中，可以采用不锈钢材质的管路附件、而在采用不锈钢材质的管路系统中,不得采用低于主管材的铜材质的管路附件,而且.凡是与应用气体接触的管路系统,均不得含有塑料制件。不锈钢管的耐磨性能优于铜管 在气流冲刷下产生的金属粉尘相对也少 对洁净度要求高的场合使用不锈钢管316L、316.304，不得采用铜管材.铜管内表而对杂质。尤其对水分的活性很高，因此。当使用这类管材时,切忌用溶剂或化学药品清洗。而应当用纯净气体吹扫、清洗也比不锈钢材难度大、而且在微电子生产中,个别生产工艺.如砷化镓的操作,为了防止产生器件电阻，不允许使用铜质管路及其附件,由于管道安装的环境空气也有一定的湿度、对铜管也有一定的影响。所以、使用铜管时、对铜管的吹扫时间应当延长，一般为不锈钢管的8 20倍