6,2，管材及附件6、2.1。除了纯度与干燥度的控制外，洁净室的洁净度级别,是我们控制管道系统输送气体污染物粒子量级的重要依据。气体管道系统供气质量符合洁净室的等级要求,就能够满足工艺气体洁净度对粒子污染物的控制要求、关于管材选配原则 是这样考虑的,1 管材的透气性要小。1 对于不同材质的管道 其透气性能不同,如果管材本身透气性较大 而安装中不恰当地作了选用.那么,无论采取任何处理手段去除污染。都将无济于事。管材透气性见表1。防止大气中氧的渗透和腐蚀、不锈钢管和铜管最佳、对700mm长管路中水分的测定.见表2,2 气体中的水分主要来自管路系统,而管路系统中的水分，在很大程度上受周边环境湿度的影响 渗透对管路内的气质有很大破坏力.普通铜管内表面对杂质.尤其对水分的活性很高。因此.当使用这类管材时。切忌用溶剂或化学药品清洗.而应当用纯净气体吹扫、3.由于管道安装的环境可能在室外、即使在室内.环境空气也有一定的湿度、对铜管也有一定的影响 所以 使用铜管时、对铜管的吹扫时间应当延长,一般为不锈钢管的8 20倍。否则难以达到应有的效果、4.不锈钢管材的活性比铜管差.所以对要求较高的高纯、洁净气体来说,不锈钢管是一种较为理想的管材 对于在1 5级洁净室内、采用316L不锈钢管,对应国产品牌00Cr17Ni14Mo2,5、对于6、9级管路系统。视要求的高低可以采用316或者304不锈钢管。对应国产品牌分别为0Cr17Ni12Mo2,0Cr18Ni9.6 对氧气管路系统应根据使用条件和周边状况，可采用铜管.压缩空气管道.干燥度在.20、与。40，时。采用不锈钢管304 0Cr18Ni9，2.管材内表面吸附，解吸气体的作用要小。在不锈钢熔炼制材过程中 每吨可吸收大约200g的气体.所以.不锈钢材加工完毕、不仅其表面粘有各种污染物,而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体，这样、当管路中有气流通过时,金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中.污染纯净气体.尤其当管内气流为不连续流动时。这类材料的作用好比吸附剂 通过气流时,管材对所通过的气体形成压力下吸附，气流停止通过时 管材所吸附的气体又形成降压解析 而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中，同时。吸附.解析周而复始。使得管材内表面金属也会产生一定的粉末,这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体，3.保持管材内表面光滑。耐磨损、管材的这一特性至关重要,为了确保输送的气体的纯净度。不仅要求管材内表面有极高的光滑度。而且应当具有很高的耐磨特性.这样,既防止污染粒子及湿气在管壁滞留，管材本身在气流的高速冲刷。击，下 由于磨阻损耗低。也避免了管材的金属粉末进入气流中。造成气体的污染,不锈钢管和铜管的不同见表3.2。为提高内表面的相对粗糙度、要在管材生产工艺中加以解决 如特殊拉拔、光亮退火 内面电抛光等 比起在施工过程中加以处理要有效和可靠。因此要使用成品专用管、一般不能在现场加工.处理使用 4，具有良好的抗腐蚀性能，在生产工艺中.使用腐蚀性较强的气体时。必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管,否则。管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑。严重时会出现大片金属锈班剥离甚至导致管道穿孔.从而污染输配的纯净气体,这种场合不得使用普通无缝钢管或镀锌焊接钢管。5,在焊接处理时管材组织不发生变化 大流量的高纯。高洁净度气体输配管道的连接.原则上全部采用焊接.因此要求采用的管材在施焊时组织不发生变化，如果选用钢管,则低碳钢管材,316L，较为适宜。否则。含碳过高的材料在焊接时、受焊接热影响的部位可析出炭来、从而产生局部腐蚀应力 造成焊接部位的透气 使得管内外气体的相互渗透 破坏输送气体的纯度。干燥度和洁净度。导致各项努力全部失去意义.6.2,2 洁净室内的管材有具使用的特殊性.从进货，验证、保存,下料.焊接。装配。试压。吹除.运行等工序都有着严格的要求.所有这些内容与程序,都是管道系统质量的技术保障措施 因此，条文规定比较详细，以下几点应特别注意，1。洁净管材十分珍贵,进货不能像普通管材那样随意码放，不仅要保持外观的清洁、包装纸完好。更要防止磕碰。更重要的是保持内表面的粗糙度与光滑不受破坏，2.管端头的密封罩盖、甚至管外壁的包装纸都应完好无损、否则便成为施工单位的保管失职、3。由于特殊拉拔工艺生产的内表面。光亮退火BA 管材及内面,电研磨抛光的EP,管材.加工工艺复杂。价格昂贵。市场，内壁光滑洁净管、效果良莠不齐 不仅与国外的水平差距较大.国内各厂家的产品效果也相差甚远 必须进行相应的粗糙度的检测 验证其可靠性与真实性、确保施工起点高。从源头消除隐患、确保洁净室内相应级别的管道施工质量、因此、随机抽检内表面的粗糙度是否与设计相符 是否与出厂参数相符，是洁净管道施工的一项重要的程序.系统内表面加以处理，对减少管材自身可能造成的污染十分有效,目前,研磨,电抛光是管材内表面处理的最佳方式、如果在机械加工后经电抛光、则管路系统内表面的粗糙度会得到较大的改善.见表5,为确保输送气体的质量经过管道输送不发生变化增大了可靠性 6 2，5、管路附件材质最低应与主管材质一致 在采用铜材的管路系统中 可以采用不锈钢材质的管路附件，而在采用不锈钢材质的管路系统中.不得采用低于主管材的铜材质的管路附件，而且，凡是与应用气体接触的管路系统.均不得含有塑料制件,不锈钢管的耐磨性能优于铜管 在气流冲刷下产生的金属粉尘相对也少.对洁净度要求高的场合使用不锈钢管316L，316.304.不得采用铜管材 铜管内表而对杂质，尤其对水分的活性很高,因此、当使用这类管材时 切忌用溶剂或化学药品清洗,而应当用纯净气体吹扫 清洗也比不锈钢材难度大。而且在微电子生产中.个别生产工艺 如砷化镓的操作 为了防止产生器件电阻 不允许使用铜质管路及其附件,由于管道安装的环境空气也有一定的湿度、对铜管也有一定的影响，所以.使用铜管时。对铜管的吹扫时间应当延长 一般为不锈钢管的8 20倍。