6、2，管材及附件6,2。1.除了纯度与干燥度的控制外。洁净室的洁净度级别.是我们控制管道系统输送气体污染物粒子量级的重要依据.气体管道系统供气质量符合洁净室的等级要求、就能够满足工艺气体洁净度对粒子污染物的控制要求，关于管材选配原则、是这样考虑的、1 管材的透气性要小。1。对于不同材质的管道,其透气性能不同.如果管材本身透气性较大.而安装中不恰当地作了选用。那么，无论采取任何处理手段去除污染。都将无济于事。管材透气性见表1。防止大气中氧的渗透和腐蚀。不锈钢管和铜管最佳、对700mm长管路中水分的测定、见表2 2。气体中的水分主要来自管路系统,而管路系统中的水分。在很大程度上受周边环境湿度的影响、渗透对管路内的气质有很大破坏力,普通铜管内表面对杂质，尤其对水分的活性很高，因此，当使用这类管材时。切忌用溶剂或化学药品清洗 而应当用纯净气体吹扫，3,由于管道安装的环境可能在室外。即使在室内,环境空气也有一定的湿度,对铜管也有一定的影响，所以。使用铜管时 对铜管的吹扫时间应当延长。一般为不锈钢管的8,20倍、否则难以达到应有的效果、4、不锈钢管材的活性比铜管差、所以对要求较高的高纯 洁净气体来说。不锈钢管是一种较为理想的管材,对于在1 5级洁净室内.采用316L不锈钢管。对应国产品牌00Cr17Ni14Mo2、5，对于6 9级管路系统，视要求的高低可以采用316或者304不锈钢管。对应国产品牌分别为0Cr17Ni12Mo2，0Cr18Ni9，6.对氧气管路系统应根据使用条件和周边状况.可采用铜管。压缩空气管道，干燥度在、20 与,40。时.采用不锈钢管304 0Cr18Ni9。2,管材内表面吸附、解吸气体的作用要小 在不锈钢熔炼制材过程中。每吨可吸收大约200g的气体.所以、不锈钢材加工完毕,不仅其表面粘有各种污染物.而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体。这样，当管路中有气流通过时 金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中、污染纯净气体。尤其当管内气流为不连续流动时.这类材料的作用好比吸附剂 通过气流时,管材对所通过的气体形成压力下吸附,气流停止通过时 管材所吸附的气体又形成降压解析。而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中 同时、吸附、解析周而复始 使得管材内表面金属也会产生一定的粉末.这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体。3 保持管材内表面光滑.耐磨损,管材的这一特性至关重要、为了确保输送的气体的纯净度、不仅要求管材内表面有极高的光滑度.而且应当具有很高的耐磨特性。这样，既防止污染粒子及湿气在管壁滞留、管材本身在气流的高速冲刷、击、下。由于磨阻损耗低.也避免了管材的金属粉末进入气流中 造成气体的污染,不锈钢管和铜管的不同见表3。2、为提高内表面的相对粗糙度,要在管材生产工艺中加以解决,如特殊拉拔、光亮退火 内面电抛光等 比起在施工过程中加以处理要有效和可靠 因此要使用成品专用管 一般不能在现场加工 处理使用 4。具有良好的抗腐蚀性能，在生产工艺中,使用腐蚀性较强的气体时.必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管，否则 管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑，严重时会出现大片金属锈班剥离甚至导致管道穿孔,从而污染输配的纯净气体、这种场合不得使用普通无缝钢管或镀锌焊接钢管,5,在焊接处理时管材组织不发生变化、大流量的高纯.高洁净度气体输配管道的连接、原则上全部采用焊接.因此要求采用的管材在施焊时组织不发生变化，如果选用钢管.则低碳钢管材、316L,较为适宜、否则.含碳过高的材料在焊接时,受焊接热影响的部位可析出炭来,从而产生局部腐蚀应力.造成焊接部位的透气 使得管内外气体的相互渗透.破坏输送气体的纯度 干燥度和洁净度 导致各项努力全部失去意义。6 2.2,洁净室内的管材有具使用的特殊性 从进货、验证，保存 下料，焊接。装配，试压 吹除 运行等工序都有着严格的要求，所有这些内容与程序。都是管道系统质量的技术保障措施 因此。条文规定比较详细,以下几点应特别注意.1。洁净管材十分珍贵,进货不能像普通管材那样随意码放.不仅要保持外观的清洁，包装纸完好。更要防止磕碰 更重要的是保持内表面的粗糙度与光滑不受破坏。2，管端头的密封罩盖。甚至管外壁的包装纸都应完好无损。否则便成为施工单位的保管失职，3.由于特殊拉拔工艺生产的内表面 光亮退火BA 管材及内面.电研磨抛光的EP、管材、加工工艺复杂，价格昂贵 市场 内壁光滑洁净管、效果良莠不齐，不仅与国外的水平差距较大、国内各厂家的产品效果也相差甚远 必须进行相应的粗糙度的检测。验证其可靠性与真实性，确保施工起点高,从源头消除隐患 确保洁净室内相应级别的管道施工质量。因此 随机抽检内表面的粗糙度是否与设计相符,是否与出厂参数相符，是洁净管道施工的一项重要的程序 系统内表面加以处理 对减少管材自身可能造成的污染十分有效、目前、研磨、电抛光是管材内表面处理的最佳方式，如果在机械加工后经电抛光，则管路系统内表面的粗糙度会得到较大的改善。见表5、为确保输送气体的质量经过管道输送不发生变化增大了可靠性，6,2.5 管路附件材质最低应与主管材质一致、在采用铜材的管路系统中，可以采用不锈钢材质的管路附件 而在采用不锈钢材质的管路系统中，不得采用低于主管材的铜材质的管路附件.而且，凡是与应用气体接触的管路系统.均不得含有塑料制件。不锈钢管的耐磨性能优于铜管。在气流冲刷下产生的金属粉尘相对也少、对洁净度要求高的场合使用不锈钢管316L、316，304.不得采用铜管材,铜管内表而对杂质、尤其对水分的活性很高、因此。当使用这类管材时,切忌用溶剂或化学药品清洗。而应当用纯净气体吹扫。清洗也比不锈钢材难度大 而且在微电子生产中.个别生产工艺 如砷化镓的操作。为了防止产生器件电阻 不允许使用铜质管路及其附件 由于管道安装的环境空气也有一定的湿度，对铜管也有一定的影响 所以、使用铜管时。对铜管的吹扫时间应当延长，一般为不锈钢管的8，20倍,