6，2，管材及附件6 2、1、除了纯度与干燥度的控制外.洁净室的洁净度级别 是我们控制管道系统输送气体污染物粒子量级的重要依据,气体管道系统供气质量符合洁净室的等级要求。就能够满足工艺气体洁净度对粒子污染物的控制要求.关于管材选配原则 是这样考虑的 1.管材的透气性要小，1,对于不同材质的管道、其透气性能不同，如果管材本身透气性较大。而安装中不恰当地作了选用，那么。无论采取任何处理手段去除污染.都将无济于事。管材透气性见表1，防止大气中氧的渗透和腐蚀 不锈钢管和铜管最佳。对700mm长管路中水分的测定 见表2,2，气体中的水分主要来自管路系统,而管路系统中的水分、在很大程度上受周边环境湿度的影响，渗透对管路内的气质有很大破坏力,普通铜管内表面对杂质，尤其对水分的活性很高、因此，当使用这类管材时 切忌用溶剂或化学药品清洗。而应当用纯净气体吹扫 3.由于管道安装的环境可能在室外。即使在室内,环境空气也有一定的湿度,对铜管也有一定的影响，所以 使用铜管时、对铜管的吹扫时间应当延长，一般为不锈钢管的8、20倍,否则难以达到应有的效果.4,不锈钢管材的活性比铜管差 所以对要求较高的高纯 洁净气体来说,不锈钢管是一种较为理想的管材，对于在1。5级洁净室内,采用316L不锈钢管 对应国产品牌00Cr17Ni14Mo2,5，对于6 9级管路系统，视要求的高低可以采用316或者304不锈钢管.对应国产品牌分别为0Cr17Ni12Mo2 0Cr18Ni9，6,对氧气管路系统应根据使用条件和周边状况、可采用铜管，压缩空气管道 干燥度在,20,与，40，时.采用不锈钢管304。0Cr18Ni9,2.管材内表面吸附 解吸气体的作用要小.在不锈钢熔炼制材过程中,每吨可吸收大约200g的气体、所以。不锈钢材加工完毕 不仅其表面粘有各种污染物 而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体,这样 当管路中有气流通过时.金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中,污染纯净气体,尤其当管内气流为不连续流动时，这类材料的作用好比吸附剂。通过气流时 管材对所通过的气体形成压力下吸附。气流停止通过时，管材所吸附的气体又形成降压解析、而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中、同时.吸附。解析周而复始 使得管材内表面金属也会产生一定的粉末 这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体,3,保持管材内表面光滑 耐磨损 管材的这一特性至关重要，为了确保输送的气体的纯净度.不仅要求管材内表面有极高的光滑度，而且应当具有很高的耐磨特性。这样、既防止污染粒子及湿气在管壁滞留，管材本身在气流的高速冲刷、击。下，由于磨阻损耗低 也避免了管材的金属粉末进入气流中、造成气体的污染、不锈钢管和铜管的不同见表3.2、为提高内表面的相对粗糙度、要在管材生产工艺中加以解决.如特殊拉拔.光亮退火、内面电抛光等，比起在施工过程中加以处理要有效和可靠，因此要使用成品专用管 一般不能在现场加工,处理使用。4 具有良好的抗腐蚀性能 在生产工艺中.使用腐蚀性较强的气体时.必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管。否则 管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑.严重时会出现大片金属锈班剥离甚至导致管道穿孔,从而污染输配的纯净气体.这种场合不得使用普通无缝钢管或镀锌焊接钢管。5 在焊接处理时管材组织不发生变化，大流量的高纯，高洁净度气体输配管道的连接，原则上全部采用焊接。因此要求采用的管材在施焊时组织不发生变化。如果选用钢管.则低碳钢管材、316L,较为适宜，否则，含碳过高的材料在焊接时、受焊接热影响的部位可析出炭来,从而产生局部腐蚀应力,造成焊接部位的透气 使得管内外气体的相互渗透，破坏输送气体的纯度。干燥度和洁净度，导致各项努力全部失去意义。6、2，2,洁净室内的管材有具使用的特殊性，从进货，验证.保存，下料。焊接、装配，试压，吹除 运行等工序都有着严格的要求、所有这些内容与程序,都是管道系统质量的技术保障措施，因此.条文规定比较详细，以下几点应特别注意。1。洁净管材十分珍贵。进货不能像普通管材那样随意码放，不仅要保持外观的清洁、包装纸完好、更要防止磕碰 更重要的是保持内表面的粗糙度与光滑不受破坏.2、管端头的密封罩盖。甚至管外壁的包装纸都应完好无损 否则便成为施工单位的保管失职，3.由于特殊拉拔工艺生产的内表面 光亮退火BA.管材及内面。电研磨抛光的EP 管材 加工工艺复杂 价格昂贵 市场 内壁光滑洁净管,效果良莠不齐、不仅与国外的水平差距较大 国内各厂家的产品效果也相差甚远 必须进行相应的粗糙度的检测 验证其可靠性与真实性。确保施工起点高、从源头消除隐患.确保洁净室内相应级别的管道施工质量、因此.随机抽检内表面的粗糙度是否与设计相符.是否与出厂参数相符.是洁净管道施工的一项重要的程序.系统内表面加以处理,对减少管材自身可能造成的污染十分有效 目前,研磨 电抛光是管材内表面处理的最佳方式 如果在机械加工后经电抛光、则管路系统内表面的粗糙度会得到较大的改善。见表5、为确保输送气体的质量经过管道输送不发生变化增大了可靠性.6。2，5 管路附件材质最低应与主管材质一致。在采用铜材的管路系统中.可以采用不锈钢材质的管路附件、而在采用不锈钢材质的管路系统中.不得采用低于主管材的铜材质的管路附件 而且,凡是与应用气体接触的管路系统.均不得含有塑料制件、不锈钢管的耐磨性能优于铜管，在气流冲刷下产生的金属粉尘相对也少。对洁净度要求高的场合使用不锈钢管316L.316。304，不得采用铜管材 铜管内表而对杂质.尤其对水分的活性很高。因此 当使用这类管材时,切忌用溶剂或化学药品清洗.而应当用纯净气体吹扫。清洗也比不锈钢材难度大、而且在微电子生产中,个别生产工艺、如砷化镓的操作.为了防止产生器件电阻,不允许使用铜质管路及其附件 由于管道安装的环境空气也有一定的湿度,对铜管也有一定的影响,所以.使用铜管时。对铜管的吹扫时间应当延长，一般为不锈钢管的8，20倍.