6.2,管材及附件6 2、1.除了纯度与干燥度的控制外。洁净室的洁净度级别，是我们控制管道系统输送气体污染物粒子量级的重要依据.气体管道系统供气质量符合洁净室的等级要求。就能够满足工艺气体洁净度对粒子污染物的控制要求、关于管材选配原则。是这样考虑的,1、管材的透气性要小，1。对于不同材质的管道、其透气性能不同 如果管材本身透气性较大 而安装中不恰当地作了选用.那么，无论采取任何处理手段去除污染、都将无济于事.管材透气性见表1 防止大气中氧的渗透和腐蚀,不锈钢管和铜管最佳.对700mm长管路中水分的测定。见表2。2。气体中的水分主要来自管路系统,而管路系统中的水分，在很大程度上受周边环境湿度的影响 渗透对管路内的气质有很大破坏力。普通铜管内表面对杂质，尤其对水分的活性很高 因此,当使用这类管材时，切忌用溶剂或化学药品清洗、而应当用纯净气体吹扫，3，由于管道安装的环境可能在室外,即使在室内 环境空气也有一定的湿度.对铜管也有一定的影响,所以 使用铜管时 对铜管的吹扫时间应当延长,一般为不锈钢管的8。20倍,否则难以达到应有的效果。4、不锈钢管材的活性比铜管差、所以对要求较高的高纯.洁净气体来说。不锈钢管是一种较为理想的管材、对于在1 5级洁净室内 采用316L不锈钢管,对应国产品牌00Cr17Ni14Mo2、5,对于6，9级管路系统,视要求的高低可以采用316或者304不锈钢管。对应国产品牌分别为0Cr17Ni12Mo2.0Cr18Ni9、6、对氧气管路系统应根据使用条件和周边状况 可采用铜管、压缩空气管道 干燥度在，20、与 40，时，采用不锈钢管304，0Cr18Ni9，2,管材内表面吸附.解吸气体的作用要小,在不锈钢熔炼制材过程中,每吨可吸收大约200g的气体，所以 不锈钢材加工完毕,不仅其表面粘有各种污染物,而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体。这样、当管路中有气流通过时，金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中,污染纯净气体.尤其当管内气流为不连续流动时 这类材料的作用好比吸附剂,通过气流时，管材对所通过的气体形成压力下吸附 气流停止通过时。管材所吸附的气体又形成降压解析,而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中 同时、吸附,解析周而复始。使得管材内表面金属也会产生一定的粉末。这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体 3，保持管材内表面光滑。耐磨损、管材的这一特性至关重要，为了确保输送的气体的纯净度 不仅要求管材内表面有极高的光滑度，而且应当具有很高的耐磨特性,这样、既防止污染粒子及湿气在管壁滞留，管材本身在气流的高速冲刷 击，下 由于磨阻损耗低.也避免了管材的金属粉末进入气流中、造成气体的污染，不锈钢管和铜管的不同见表3 2,为提高内表面的相对粗糙度。要在管材生产工艺中加以解决,如特殊拉拔。光亮退火 内面电抛光等,比起在施工过程中加以处理要有效和可靠 因此要使用成品专用管，一般不能在现场加工，处理使用 4,具有良好的抗腐蚀性能，在生产工艺中.使用腐蚀性较强的气体时.必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管,否则。管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑 严重时会出现大片金属锈班剥离甚至导致管道穿孔。从而污染输配的纯净气体 这种场合不得使用普通无缝钢管或镀锌焊接钢管.5，在焊接处理时管材组织不发生变化.大流量的高纯，高洁净度气体输配管道的连接。原则上全部采用焊接，因此要求采用的管材在施焊时组织不发生变化。如果选用钢管。则低碳钢管材,316L.较为适宜，否则，含碳过高的材料在焊接时.受焊接热影响的部位可析出炭来.从而产生局部腐蚀应力 造成焊接部位的透气、使得管内外气体的相互渗透、破坏输送气体的纯度。干燥度和洁净度 导致各项努力全部失去意义,6。2，2。洁净室内的管材有具使用的特殊性,从进货,验证。保存、下料。焊接、装配、试压。吹除,运行等工序都有着严格的要求，所有这些内容与程序、都是管道系统质量的技术保障措施、因此.条文规定比较详细，以下几点应特别注意 1、洁净管材十分珍贵 进货不能像普通管材那样随意码放.不仅要保持外观的清洁 包装纸完好 更要防止磕碰、更重要的是保持内表面的粗糙度与光滑不受破坏 2.管端头的密封罩盖.甚至管外壁的包装纸都应完好无损、否则便成为施工单位的保管失职.3 由于特殊拉拔工艺生产的内表面。光亮退火BA,管材及内面,电研磨抛光的EP,管材、加工工艺复杂。价格昂贵,市场.内壁光滑洁净管，效果良莠不齐,不仅与国外的水平差距较大、国内各厂家的产品效果也相差甚远,必须进行相应的粗糙度的检测.验证其可靠性与真实性，确保施工起点高，从源头消除隐患，确保洁净室内相应级别的管道施工质量 因此、随机抽检内表面的粗糙度是否与设计相符 是否与出厂参数相符，是洁净管道施工的一项重要的程序。系统内表面加以处理 对减少管材自身可能造成的污染十分有效，目前 研磨，电抛光是管材内表面处理的最佳方式，如果在机械加工后经电抛光.则管路系统内表面的粗糙度会得到较大的改善，见表5。为确保输送气体的质量经过管道输送不发生变化增大了可靠性，6.2 5.管路附件材质最低应与主管材质一致、在采用铜材的管路系统中，可以采用不锈钢材质的管路附件,而在采用不锈钢材质的管路系统中,不得采用低于主管材的铜材质的管路附件。而且,凡是与应用气体接触的管路系统.均不得含有塑料制件，不锈钢管的耐磨性能优于铜管 在气流冲刷下产生的金属粉尘相对也少，对洁净度要求高的场合使用不锈钢管316L.316。304.不得采用铜管材。铜管内表而对杂质，尤其对水分的活性很高，因此，当使用这类管材时.切忌用溶剂或化学药品清洗 而应当用纯净气体吹扫、清洗也比不锈钢材难度大,而且在微电子生产中、个别生产工艺，如砷化镓的操作.为了防止产生器件电阻,不允许使用铜质管路及其附件、由于管道安装的环境空气也有一定的湿度。对铜管也有一定的影响、所以.使用铜管时。对铜管的吹扫时间应当延长 一般为不锈钢管的8.20倍、