6,2,管材及附件6,2、1.除了纯度与干燥度的控制外，洁净室的洁净度级别 是我们控制管道系统输送气体污染物粒子量级的重要依据.气体管道系统供气质量符合洁净室的等级要求,就能够满足工艺气体洁净度对粒子污染物的控制要求、关于管材选配原则，是这样考虑的 1 管材的透气性要小、1。对于不同材质的管道,其透气性能不同、如果管材本身透气性较大。而安装中不恰当地作了选用 那么，无论采取任何处理手段去除污染,都将无济于事.管材透气性见表1，防止大气中氧的渗透和腐蚀。不锈钢管和铜管最佳,对700mm长管路中水分的测定,见表2、2.气体中的水分主要来自管路系统。而管路系统中的水分。在很大程度上受周边环境湿度的影响。渗透对管路内的气质有很大破坏力 普通铜管内表面对杂质，尤其对水分的活性很高，因此，当使用这类管材时 切忌用溶剂或化学药品清洗、而应当用纯净气体吹扫，3，由于管道安装的环境可能在室外 即使在室内、环境空气也有一定的湿度,对铜管也有一定的影响、所以、使用铜管时。对铜管的吹扫时间应当延长 一般为不锈钢管的8 20倍、否则难以达到应有的效果。4，不锈钢管材的活性比铜管差,所以对要求较高的高纯，洁净气体来说、不锈钢管是一种较为理想的管材.对于在1，5级洁净室内，采用316L不锈钢管.对应国产品牌00Cr17Ni14Mo2 5、对于6，9级管路系统、视要求的高低可以采用316或者304不锈钢管，对应国产品牌分别为0Cr17Ni12Mo2，0Cr18Ni9 6.对氧气管路系统应根据使用条件和周边状况，可采用铜管，压缩空气管道.干燥度在，20。与，40，时、采用不锈钢管304,0Cr18Ni9、2 管材内表面吸附 解吸气体的作用要小、在不锈钢熔炼制材过程中,每吨可吸收大约200g的气体。所以,不锈钢材加工完毕 不仅其表面粘有各种污染物。而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体、这样,当管路中有气流通过时 金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中。污染纯净气体 尤其当管内气流为不连续流动时,这类材料的作用好比吸附剂 通过气流时，管材对所通过的气体形成压力下吸附、气流停止通过时.管材所吸附的气体又形成降压解析 而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中。同时。吸附、解析周而复始、使得管材内表面金属也会产生一定的粉末,这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体 3.保持管材内表面光滑，耐磨损，管材的这一特性至关重要,为了确保输送的气体的纯净度,不仅要求管材内表面有极高的光滑度.而且应当具有很高的耐磨特性.这样、既防止污染粒子及湿气在管壁滞留、管材本身在气流的高速冲刷，击.下、由于磨阻损耗低、也避免了管材的金属粉末进入气流中.造成气体的污染，不锈钢管和铜管的不同见表3、2,为提高内表面的相对粗糙度.要在管材生产工艺中加以解决、如特殊拉拔、光亮退火,内面电抛光等.比起在施工过程中加以处理要有效和可靠.因此要使用成品专用管，一般不能在现场加工 处理使用.4、具有良好的抗腐蚀性能、在生产工艺中 使用腐蚀性较强的气体时，必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管。否则,管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑、严重时会出现大片金属锈班剥离甚至导致管道穿孔。从而污染输配的纯净气体.这种场合不得使用普通无缝钢管或镀锌焊接钢管、5，在焊接处理时管材组织不发生变化。大流量的高纯、高洁净度气体输配管道的连接.原则上全部采用焊接。因此要求采用的管材在施焊时组织不发生变化.如果选用钢管,则低碳钢管材.316L。较为适宜.否则 含碳过高的材料在焊接时,受焊接热影响的部位可析出炭来.从而产生局部腐蚀应力，造成焊接部位的透气,使得管内外气体的相互渗透,破坏输送气体的纯度,干燥度和洁净度。导致各项努力全部失去意义、6 2 2 洁净室内的管材有具使用的特殊性,从进货，验证、保存、下料、焊接，装配,试压.吹除,运行等工序都有着严格的要求.所有这些内容与程序 都是管道系统质量的技术保障措施.因此，条文规定比较详细 以下几点应特别注意、1,洁净管材十分珍贵.进货不能像普通管材那样随意码放，不仅要保持外观的清洁，包装纸完好 更要防止磕碰。更重要的是保持内表面的粗糙度与光滑不受破坏，2.管端头的密封罩盖.甚至管外壁的包装纸都应完好无损。否则便成为施工单位的保管失职.3。由于特殊拉拔工艺生产的内表面,光亮退火BA 管材及内面，电研磨抛光的EP，管材、加工工艺复杂 价格昂贵.市场。内壁光滑洁净管，效果良莠不齐、不仅与国外的水平差距较大.国内各厂家的产品效果也相差甚远、必须进行相应的粗糙度的检测、验证其可靠性与真实性，确保施工起点高、从源头消除隐患，确保洁净室内相应级别的管道施工质量，因此。随机抽检内表面的粗糙度是否与设计相符,是否与出厂参数相符,是洁净管道施工的一项重要的程序。系统内表面加以处理，对减少管材自身可能造成的污染十分有效 目前、研磨。电抛光是管材内表面处理的最佳方式.如果在机械加工后经电抛光 则管路系统内表面的粗糙度会得到较大的改善、见表5.为确保输送气体的质量经过管道输送不发生变化增大了可靠性、6,2.5。管路附件材质最低应与主管材质一致,在采用铜材的管路系统中,可以采用不锈钢材质的管路附件.而在采用不锈钢材质的管路系统中.不得采用低于主管材的铜材质的管路附件。而且。凡是与应用气体接触的管路系统、均不得含有塑料制件、不锈钢管的耐磨性能优于铜管、在气流冲刷下产生的金属粉尘相对也少，对洁净度要求高的场合使用不锈钢管316L。316 304、不得采用铜管材、铜管内表而对杂质.尤其对水分的活性很高，因此 当使用这类管材时。切忌用溶剂或化学药品清洗，而应当用纯净气体吹扫,清洗也比不锈钢材难度大.而且在微电子生产中,个别生产工艺、如砷化镓的操作 为了防止产生器件电阻、不允许使用铜质管路及其附件,由于管道安装的环境空气也有一定的湿度。对铜管也有一定的影响 所以、使用铜管时.对铜管的吹扫时间应当延长.一般为不锈钢管的8、20倍