6 2、管材及附件6 2 1 除了纯度与干燥度的控制外。洁净室的洁净度级别，是我们控制管道系统输送气体污染物粒子量级的重要依据，气体管道系统供气质量符合洁净室的等级要求.就能够满足工艺气体洁净度对粒子污染物的控制要求,关于管材选配原则.是这样考虑的.1.管材的透气性要小、1。对于不同材质的管道，其透气性能不同 如果管材本身透气性较大、而安装中不恰当地作了选用，那么.无论采取任何处理手段去除污染.都将无济于事。管材透气性见表1,防止大气中氧的渗透和腐蚀，不锈钢管和铜管最佳，对700mm长管路中水分的测定，见表2、2,气体中的水分主要来自管路系统,而管路系统中的水分 在很大程度上受周边环境湿度的影响，渗透对管路内的气质有很大破坏力、普通铜管内表面对杂质，尤其对水分的活性很高。因此.当使用这类管材时,切忌用溶剂或化学药品清洗、而应当用纯净气体吹扫，3.由于管道安装的环境可能在室外、即使在室内,环境空气也有一定的湿度 对铜管也有一定的影响，所以，使用铜管时，对铜管的吹扫时间应当延长.一般为不锈钢管的8，20倍、否则难以达到应有的效果。4。不锈钢管材的活性比铜管差.所以对要求较高的高纯,洁净气体来说、不锈钢管是一种较为理想的管材,对于在1。5级洁净室内、采用316L不锈钢管、对应国产品牌00Cr17Ni14Mo2，5.对于6，9级管路系统.视要求的高低可以采用316或者304不锈钢管。对应国产品牌分别为0Cr17Ni12Mo2。0Cr18Ni9、6.对氧气管路系统应根据使用条件和周边状况、可采用铜管,压缩空气管道。干燥度在。20,与.40.时,采用不锈钢管304.0Cr18Ni9，2.管材内表面吸附、解吸气体的作用要小.在不锈钢熔炼制材过程中 每吨可吸收大约200g的气体、所以,不锈钢材加工完毕 不仅其表面粘有各种污染物、而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体、这样。当管路中有气流通过时，金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中 污染纯净气体，尤其当管内气流为不连续流动时,这类材料的作用好比吸附剂 通过气流时，管材对所通过的气体形成压力下吸附，气流停止通过时 管材所吸附的气体又形成降压解析。而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中。同时、吸附.解析周而复始、使得管材内表面金属也会产生一定的粉末、这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体、3.保持管材内表面光滑。耐磨损.管材的这一特性至关重要,为了确保输送的气体的纯净度、不仅要求管材内表面有极高的光滑度,而且应当具有很高的耐磨特性 这样,既防止污染粒子及湿气在管壁滞留、管材本身在气流的高速冲刷.击 下,由于磨阻损耗低.也避免了管材的金属粉末进入气流中 造成气体的污染。不锈钢管和铜管的不同见表3.2.为提高内表面的相对粗糙度，要在管材生产工艺中加以解决，如特殊拉拔。光亮退火、内面电抛光等、比起在施工过程中加以处理要有效和可靠。因此要使用成品专用管，一般不能在现场加工.处理使用。4.具有良好的抗腐蚀性能 在生产工艺中，使用腐蚀性较强的气体时.必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管,否则 管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑、严重时会出现大片金属锈班剥离甚至导致管道穿孔。从而污染输配的纯净气体。这种场合不得使用普通无缝钢管或镀锌焊接钢管 5，在焊接处理时管材组织不发生变化.大流量的高纯 高洁净度气体输配管道的连接。原则上全部采用焊接.因此要求采用的管材在施焊时组织不发生变化、如果选用钢管.则低碳钢管材，316L 较为适宜。否则、含碳过高的材料在焊接时 受焊接热影响的部位可析出炭来 从而产生局部腐蚀应力、造成焊接部位的透气。使得管内外气体的相互渗透,破坏输送气体的纯度，干燥度和洁净度.导致各项努力全部失去意义 6、2 2。洁净室内的管材有具使用的特殊性.从进货.验证，保存 下料、焊接。装配.试压 吹除，运行等工序都有着严格的要求，所有这些内容与程序、都是管道系统质量的技术保障措施，因此,条文规定比较详细 以下几点应特别注意，1。洁净管材十分珍贵、进货不能像普通管材那样随意码放,不仅要保持外观的清洁,包装纸完好 更要防止磕碰.更重要的是保持内表面的粗糙度与光滑不受破坏，2，管端头的密封罩盖、甚至管外壁的包装纸都应完好无损,否则便成为施工单位的保管失职.3。由于特殊拉拔工艺生产的内表面 光亮退火BA.管材及内面,电研磨抛光的EP。管材，加工工艺复杂 价格昂贵。市场,内壁光滑洁净管，效果良莠不齐、不仅与国外的水平差距较大.国内各厂家的产品效果也相差甚远,必须进行相应的粗糙度的检测，验证其可靠性与真实性、确保施工起点高 从源头消除隐患 确保洁净室内相应级别的管道施工质量，因此。随机抽检内表面的粗糙度是否与设计相符，是否与出厂参数相符.是洁净管道施工的一项重要的程序，系统内表面加以处理.对减少管材自身可能造成的污染十分有效,目前 研磨 电抛光是管材内表面处理的最佳方式、如果在机械加工后经电抛光,则管路系统内表面的粗糙度会得到较大的改善、见表5。为确保输送气体的质量经过管道输送不发生变化增大了可靠性。6、2 5,管路附件材质最低应与主管材质一致 在采用铜材的管路系统中、可以采用不锈钢材质的管路附件，而在采用不锈钢材质的管路系统中。不得采用低于主管材的铜材质的管路附件,而且。凡是与应用气体接触的管路系统.均不得含有塑料制件 不锈钢管的耐磨性能优于铜管、在气流冲刷下产生的金属粉尘相对也少,对洁净度要求高的场合使用不锈钢管316L，316,304,不得采用铜管材.铜管内表而对杂质,尤其对水分的活性很高.因此，当使用这类管材时 切忌用溶剂或化学药品清洗，而应当用纯净气体吹扫.清洗也比不锈钢材难度大,而且在微电子生产中、个别生产工艺。如砷化镓的操作，为了防止产生器件电阻。不允许使用铜质管路及其附件，由于管道安装的环境空气也有一定的湿度、对铜管也有一定的影响、所以.使用铜管时 对铜管的吹扫时间应当延长,一般为不锈钢管的8,20倍、