6。2.管材及附件6 2.1、除了纯度与干燥度的控制外,洁净室的洁净度级别，是我们控制管道系统输送气体污染物粒子量级的重要依据，气体管道系统供气质量符合洁净室的等级要求。就能够满足工艺气体洁净度对粒子污染物的控制要求，关于管材选配原则,是这样考虑的,1。管材的透气性要小。1,对于不同材质的管道、其透气性能不同。如果管材本身透气性较大,而安装中不恰当地作了选用。那么.无论采取任何处理手段去除污染,都将无济于事。管材透气性见表1、防止大气中氧的渗透和腐蚀、不锈钢管和铜管最佳,对700mm长管路中水分的测定，见表2.2.气体中的水分主要来自管路系统.而管路系统中的水分.在很大程度上受周边环境湿度的影响、渗透对管路内的气质有很大破坏力。普通铜管内表面对杂质。尤其对水分的活性很高、因此，当使用这类管材时 切忌用溶剂或化学药品清洗 而应当用纯净气体吹扫,3、由于管道安装的环境可能在室外.即使在室内.环境空气也有一定的湿度。对铜管也有一定的影响.所以。使用铜管时。对铜管的吹扫时间应当延长、一般为不锈钢管的8、20倍.否则难以达到应有的效果、4，不锈钢管材的活性比铜管差.所以对要求较高的高纯。洁净气体来说,不锈钢管是一种较为理想的管材,对于在1、5级洁净室内 采用316L不锈钢管 对应国产品牌00Cr17Ni14Mo2,5.对于6，9级管路系统.视要求的高低可以采用316或者304不锈钢管 对应国产品牌分别为0Cr17Ni12Mo2、0Cr18Ni9.6、对氧气管路系统应根据使用条件和周边状况 可采用铜管 压缩空气管道，干燥度在、20。与、40。时。采用不锈钢管304、0Cr18Ni9,2 管材内表面吸附、解吸气体的作用要小，在不锈钢熔炼制材过程中.每吨可吸收大约200g的气体，所以.不锈钢材加工完毕 不仅其表面粘有各种污染物、而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体。这样,当管路中有气流通过时，金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中,污染纯净气体。尤其当管内气流为不连续流动时,这类材料的作用好比吸附剂.通过气流时 管材对所通过的气体形成压力下吸附 气流停止通过时.管材所吸附的气体又形成降压解析，而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中 同时、吸附.解析周而复始 使得管材内表面金属也会产生一定的粉末.这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体，3、保持管材内表面光滑。耐磨损、管材的这一特性至关重要.为了确保输送的气体的纯净度.不仅要求管材内表面有极高的光滑度。而且应当具有很高的耐磨特性,这样，既防止污染粒子及湿气在管壁滞留,管材本身在气流的高速冲刷 击,下.由于磨阻损耗低.也避免了管材的金属粉末进入气流中,造成气体的污染、不锈钢管和铜管的不同见表3.2,为提高内表面的相对粗糙度，要在管材生产工艺中加以解决.如特殊拉拔。光亮退火、内面电抛光等、比起在施工过程中加以处理要有效和可靠，因此要使用成品专用管。一般不能在现场加工。处理使用 4、具有良好的抗腐蚀性能 在生产工艺中、使用腐蚀性较强的气体时。必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管，否则、管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑、严重时会出现大片金属锈班剥离甚至导致管道穿孔,从而污染输配的纯净气体.这种场合不得使用普通无缝钢管或镀锌焊接钢管。5。在焊接处理时管材组织不发生变化。大流量的高纯、高洁净度气体输配管道的连接 原则上全部采用焊接，因此要求采用的管材在施焊时组织不发生变化、如果选用钢管。则低碳钢管材。316L，较为适宜，否则，含碳过高的材料在焊接时，受焊接热影响的部位可析出炭来、从而产生局部腐蚀应力。造成焊接部位的透气.使得管内外气体的相互渗透,破坏输送气体的纯度，干燥度和洁净度，导致各项努力全部失去意义.6,2 2，洁净室内的管材有具使用的特殊性。从进货、验证，保存,下料.焊接、装配，试压。吹除、运行等工序都有着严格的要求，所有这些内容与程序，都是管道系统质量的技术保障措施，因此，条文规定比较详细 以下几点应特别注意、1.洁净管材十分珍贵 进货不能像普通管材那样随意码放,不仅要保持外观的清洁，包装纸完好,更要防止磕碰 更重要的是保持内表面的粗糙度与光滑不受破坏、2.管端头的密封罩盖，甚至管外壁的包装纸都应完好无损。否则便成为施工单位的保管失职，3、由于特殊拉拔工艺生产的内表面。光亮退火BA，管材及内面，电研磨抛光的EP，管材.加工工艺复杂，价格昂贵、市场 内壁光滑洁净管 效果良莠不齐，不仅与国外的水平差距较大。国内各厂家的产品效果也相差甚远,必须进行相应的粗糙度的检测，验证其可靠性与真实性、确保施工起点高,从源头消除隐患、确保洁净室内相应级别的管道施工质量 因此,随机抽检内表面的粗糙度是否与设计相符。是否与出厂参数相符 是洁净管道施工的一项重要的程序、系统内表面加以处理，对减少管材自身可能造成的污染十分有效、目前.研磨.电抛光是管材内表面处理的最佳方式.如果在机械加工后经电抛光、则管路系统内表面的粗糙度会得到较大的改善.见表5，为确保输送气体的质量经过管道输送不发生变化增大了可靠性。6,2 5。管路附件材质最低应与主管材质一致,在采用铜材的管路系统中。可以采用不锈钢材质的管路附件 而在采用不锈钢材质的管路系统中。不得采用低于主管材的铜材质的管路附件 而且 凡是与应用气体接触的管路系统,均不得含有塑料制件.不锈钢管的耐磨性能优于铜管 在气流冲刷下产生的金属粉尘相对也少、对洁净度要求高的场合使用不锈钢管316L。316.304,不得采用铜管材,铜管内表而对杂质，尤其对水分的活性很高、因此,当使用这类管材时.切忌用溶剂或化学药品清洗，而应当用纯净气体吹扫 清洗也比不锈钢材难度大.而且在微电子生产中 个别生产工艺 如砷化镓的操作.为了防止产生器件电阻 不允许使用铜质管路及其附件 由于管道安装的环境空气也有一定的湿度 对铜管也有一定的影响.所以。使用铜管时，对铜管的吹扫时间应当延长、一般为不锈钢管的8，20倍。