6,2。管材及附件6.2。1、除了纯度与干燥度的控制外,洁净室的洁净度级别、是我们控制管道系统输送气体污染物粒子量级的重要依据，气体管道系统供气质量符合洁净室的等级要求、就能够满足工艺气体洁净度对粒子污染物的控制要求,关于管材选配原则.是这样考虑的，1、管材的透气性要小。1、对于不同材质的管道。其透气性能不同.如果管材本身透气性较大、而安装中不恰当地作了选用 那么，无论采取任何处理手段去除污染,都将无济于事 管材透气性见表1、防止大气中氧的渗透和腐蚀,不锈钢管和铜管最佳 对700mm长管路中水分的测定 见表2、2.气体中的水分主要来自管路系统 而管路系统中的水分,在很大程度上受周边环境湿度的影响，渗透对管路内的气质有很大破坏力，普通铜管内表面对杂质,尤其对水分的活性很高,因此 当使用这类管材时 切忌用溶剂或化学药品清洗、而应当用纯净气体吹扫.3，由于管道安装的环境可能在室外、即使在室内,环境空气也有一定的湿度,对铜管也有一定的影响，所以，使用铜管时.对铜管的吹扫时间应当延长，一般为不锈钢管的8，20倍，否则难以达到应有的效果。4。不锈钢管材的活性比铜管差、所以对要求较高的高纯 洁净气体来说、不锈钢管是一种较为理想的管材、对于在1.5级洁净室内,采用316L不锈钢管，对应国产品牌00Cr17Ni14Mo2，5，对于6 9级管路系统，视要求的高低可以采用316或者304不锈钢管。对应国产品牌分别为0Cr17Ni12Mo2.0Cr18Ni9、6.对氧气管路系统应根据使用条件和周边状况,可采用铜管。压缩空气管道.干燥度在，20、与.40 时，采用不锈钢管304,0Cr18Ni9，2,管材内表面吸附.解吸气体的作用要小。在不锈钢熔炼制材过程中.每吨可吸收大约200g的气体，所以，不锈钢材加工完毕。不仅其表面粘有各种污染物。而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体.这样。当管路中有气流通过时.金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中、污染纯净气体，尤其当管内气流为不连续流动时.这类材料的作用好比吸附剂、通过气流时，管材对所通过的气体形成压力下吸附。气流停止通过时。管材所吸附的气体又形成降压解析，而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中，同时 吸附.解析周而复始.使得管材内表面金属也会产生一定的粉末、这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体，3。保持管材内表面光滑 耐磨损,管材的这一特性至关重要，为了确保输送的气体的纯净度、不仅要求管材内表面有极高的光滑度 而且应当具有很高的耐磨特性，这样、既防止污染粒子及湿气在管壁滞留，管材本身在气流的高速冲刷.击.下,由于磨阻损耗低、也避免了管材的金属粉末进入气流中 造成气体的污染.不锈钢管和铜管的不同见表3,2 为提高内表面的相对粗糙度 要在管材生产工艺中加以解决，如特殊拉拔 光亮退火，内面电抛光等 比起在施工过程中加以处理要有效和可靠,因此要使用成品专用管.一般不能在现场加工，处理使用。4.具有良好的抗腐蚀性能 在生产工艺中.使用腐蚀性较强的气体时.必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管.否则 管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑.严重时会出现大片金属锈班剥离甚至导致管道穿孔。从而污染输配的纯净气体。这种场合不得使用普通无缝钢管或镀锌焊接钢管.5,在焊接处理时管材组织不发生变化、大流量的高纯 高洁净度气体输配管道的连接，原则上全部采用焊接。因此要求采用的管材在施焊时组织不发生变化,如果选用钢管,则低碳钢管材,316L。较为适宜。否则.含碳过高的材料在焊接时，受焊接热影响的部位可析出炭来 从而产生局部腐蚀应力。造成焊接部位的透气 使得管内外气体的相互渗透.破坏输送气体的纯度。干燥度和洁净度 导致各项努力全部失去意义 6，2、2.洁净室内的管材有具使用的特殊性,从进货.验证。保存.下料,焊接 装配 试压、吹除.运行等工序都有着严格的要求，所有这些内容与程序.都是管道系统质量的技术保障措施,因此 条文规定比较详细。以下几点应特别注意 1,洁净管材十分珍贵、进货不能像普通管材那样随意码放，不仅要保持外观的清洁 包装纸完好,更要防止磕碰，更重要的是保持内表面的粗糙度与光滑不受破坏,2.管端头的密封罩盖。甚至管外壁的包装纸都应完好无损,否则便成为施工单位的保管失职。3.由于特殊拉拔工艺生产的内表面 光亮退火BA.管材及内面.电研磨抛光的EP。管材 加工工艺复杂、价格昂贵.市场.内壁光滑洁净管，效果良莠不齐,不仅与国外的水平差距较大.国内各厂家的产品效果也相差甚远 必须进行相应的粗糙度的检测,验证其可靠性与真实性,确保施工起点高，从源头消除隐患.确保洁净室内相应级别的管道施工质量,因此、随机抽检内表面的粗糙度是否与设计相符、是否与出厂参数相符，是洁净管道施工的一项重要的程序.系统内表面加以处理、对减少管材自身可能造成的污染十分有效。目前,研磨.电抛光是管材内表面处理的最佳方式，如果在机械加工后经电抛光、则管路系统内表面的粗糙度会得到较大的改善。见表5 为确保输送气体的质量经过管道输送不发生变化增大了可靠性 6,2，5、管路附件材质最低应与主管材质一致。在采用铜材的管路系统中,可以采用不锈钢材质的管路附件,而在采用不锈钢材质的管路系统中 不得采用低于主管材的铜材质的管路附件。而且、凡是与应用气体接触的管路系统。均不得含有塑料制件，不锈钢管的耐磨性能优于铜管.在气流冲刷下产生的金属粉尘相对也少.对洁净度要求高的场合使用不锈钢管316L,316,304，不得采用铜管材、铜管内表而对杂质 尤其对水分的活性很高 因此，当使用这类管材时.切忌用溶剂或化学药品清洗.而应当用纯净气体吹扫。清洗也比不锈钢材难度大 而且在微电子生产中,个别生产工艺。如砷化镓的操作，为了防止产生器件电阻.不允许使用铜质管路及其附件、由于管道安装的环境空气也有一定的湿度，对铜管也有一定的影响,所以，使用铜管时.对铜管的吹扫时间应当延长，一般为不锈钢管的8 20倍。