6，2.管材及附件6.2。1.除了纯度与干燥度的控制外,洁净室的洁净度级别.是我们控制管道系统输送气体污染物粒子量级的重要依据,气体管道系统供气质量符合洁净室的等级要求,就能够满足工艺气体洁净度对粒子污染物的控制要求,关于管材选配原则.是这样考虑的 1 管材的透气性要小。1，对于不同材质的管道，其透气性能不同。如果管材本身透气性较大 而安装中不恰当地作了选用。那么，无论采取任何处理手段去除污染，都将无济于事、管材透气性见表1.防止大气中氧的渗透和腐蚀 不锈钢管和铜管最佳.对700mm长管路中水分的测定，见表2、2,气体中的水分主要来自管路系统。而管路系统中的水分.在很大程度上受周边环境湿度的影响.渗透对管路内的气质有很大破坏力，普通铜管内表面对杂质，尤其对水分的活性很高。因此，当使用这类管材时、切忌用溶剂或化学药品清洗,而应当用纯净气体吹扫 3、由于管道安装的环境可能在室外.即使在室内 环境空气也有一定的湿度、对铜管也有一定的影响,所以、使用铜管时 对铜管的吹扫时间应当延长.一般为不锈钢管的8.20倍 否则难以达到应有的效果.4、不锈钢管材的活性比铜管差.所以对要求较高的高纯 洁净气体来说、不锈钢管是一种较为理想的管材、对于在1,5级洁净室内.采用316L不锈钢管,对应国产品牌00Cr17Ni14Mo2、5、对于6。9级管路系统。视要求的高低可以采用316或者304不锈钢管，对应国产品牌分别为0Cr17Ni12Mo2 0Cr18Ni9，6.对氧气管路系统应根据使用条件和周边状况,可采用铜管.压缩空气管道.干燥度在、20.与。40，时。采用不锈钢管304、0Cr18Ni9.2、管材内表面吸附、解吸气体的作用要小、在不锈钢熔炼制材过程中 每吨可吸收大约200g的气体 所以、不锈钢材加工完毕 不仅其表面粘有各种污染物，而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体.这样,当管路中有气流通过时.金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中.污染纯净气体.尤其当管内气流为不连续流动时,这类材料的作用好比吸附剂 通过气流时、管材对所通过的气体形成压力下吸附。气流停止通过时。管材所吸附的气体又形成降压解析，而解析的气体同样作为杂质进入管内纯净气体中。同时，吸附、解析周而复始.使得管材内表面金属也会产生一定的粉末。这种金属粉尘粒子同样污染管内纯净的气体、3,保持管材内表面光滑 耐磨损。管材的这一特性至关重要,为了确保输送的气体的纯净度，不仅要求管材内表面有极高的光滑度。而且应当具有很高的耐磨特性、这样,既防止污染粒子及湿气在管壁滞留。管材本身在气流的高速冲刷。击 下。由于磨阻损耗低、也避免了管材的金属粉末进入气流中、造成气体的污染.不锈钢管和铜管的不同见表3，2,为提高内表面的相对粗糙度，要在管材生产工艺中加以解决，如特殊拉拔 光亮退火，内面电抛光等 比起在施工过程中加以处理要有效和可靠.因此要使用成品专用管 一般不能在现场加工 处理使用,4,具有良好的抗腐蚀性能 在生产工艺中.使用腐蚀性较强的气体时,必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管 否则。管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑.严重时会出现大片金属锈班剥离甚至导致管道穿孔,从而污染输配的纯净气体 这种场合不得使用普通无缝钢管或镀锌焊接钢管 5.在焊接处理时管材组织不发生变化，大流量的高纯。高洁净度气体输配管道的连接、原则上全部采用焊接 因此要求采用的管材在施焊时组织不发生变化.如果选用钢管，则低碳钢管材、316L 较为适宜，否则.含碳过高的材料在焊接时，受焊接热影响的部位可析出炭来 从而产生局部腐蚀应力、造成焊接部位的透气，使得管内外气体的相互渗透，破坏输送气体的纯度,干燥度和洁净度，导致各项努力全部失去意义，6,2，2。洁净室内的管材有具使用的特殊性,从进货，验证,保存 下料.焊接,装配，试压、吹除、运行等工序都有着严格的要求.所有这些内容与程序 都是管道系统质量的技术保障措施.因此 条文规定比较详细.以下几点应特别注意,1、洁净管材十分珍贵,进货不能像普通管材那样随意码放 不仅要保持外观的清洁，包装纸完好、更要防止磕碰 更重要的是保持内表面的粗糙度与光滑不受破坏.2，管端头的密封罩盖、甚至管外壁的包装纸都应完好无损 否则便成为施工单位的保管失职、3、由于特殊拉拔工艺生产的内表面，光亮退火BA,管材及内面,电研磨抛光的EP、管材、加工工艺复杂.价格昂贵，市场，内壁光滑洁净管、效果良莠不齐.不仅与国外的水平差距较大,国内各厂家的产品效果也相差甚远 必须进行相应的粗糙度的检测，验证其可靠性与真实性，确保施工起点高。从源头消除隐患、确保洁净室内相应级别的管道施工质量 因此，随机抽检内表面的粗糙度是否与设计相符。是否与出厂参数相符 是洁净管道施工的一项重要的程序 系统内表面加以处理。对减少管材自身可能造成的污染十分有效。目前，研磨，电抛光是管材内表面处理的最佳方式、如果在机械加工后经电抛光、则管路系统内表面的粗糙度会得到较大的改善，见表5.为确保输送气体的质量经过管道输送不发生变化增大了可靠性 6，2 5、管路附件材质最低应与主管材质一致。在采用铜材的管路系统中 可以采用不锈钢材质的管路附件.而在采用不锈钢材质的管路系统中.不得采用低于主管材的铜材质的管路附件、而且。凡是与应用气体接触的管路系统,均不得含有塑料制件，不锈钢管的耐磨性能优于铜管,在气流冲刷下产生的金属粉尘相对也少。对洁净度要求高的场合使用不锈钢管316L。316 304,不得采用铜管材,铜管内表而对杂质。尤其对水分的活性很高.因此、当使用这类管材时.切忌用溶剂或化学药品清洗。而应当用纯净气体吹扫、清洗也比不锈钢材难度大 而且在微电子生产中 个别生产工艺。如砷化镓的操作 为了防止产生器件电阻、不允许使用铜质管路及其附件，由于管道安装的环境空气也有一定的湿度,对铜管也有一定的影响、所以,使用铜管时、对铜管的吹扫时间应当延长 一般为不锈钢管的8,20倍,