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6。2、管材及附件6.2,1.气体系统管道材质及附件,应按设计要求选配。如设计未作明确要求,选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应.并应符合下列规定,1.应使用无缝管材,2.管材内表面吸附 解吸气体的作用小 3。管材内表面应光滑 耐磨损,4.应具有良好的抗腐蚀性能,5,管材金属组织在焊接处理时不应发生变化,6 负压管道不宜采用普通碳钢管、6。2.2、所用管材应放在室内保管、不得重叠码放.管道应无裂纹.缩孔,夹渣.起瘤、折叠 重皮.锈斑.表面损伤等缺陷 管道应平直,圆滑.6,2,3.成品管外包装和相应管端头的管帽.堵头等密封措施应有效。无破损.6。2 4、氧气阀门必须采用专用产品。其密封圈应采用有色金属 聚四氟乙烯等材质,填料应采用经脱脂处理的聚四氟乙烯,6,2,5,采用铜材的高纯气体管路,可用不锈钢材质的附件 但在不锈钢材质的管路中 不应采用铜质的附件、
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