6。2.管材及附件6,2.1，气体系统管道材质及附件、应按设计要求选配.如设计未作明确要求 选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应,并应符合下列规定.1、应使用无缝管材 2,管材内表面吸附。解吸气体的作用小,3.管材内表面应光滑。耐磨损、4，应具有良好的抗腐蚀性能。5，管材金属组织在焊接处理时不应发生变化,6,负压管道不宜采用普通碳钢管.6，2，2，所用管材应放在室内保管。不得重叠码放,管道应无裂纹，缩孔、夹渣.起瘤、折叠。重皮。锈斑 表面损伤等缺陷.管道应平直。圆滑。6.2,3、成品管外包装和相应管端头的管帽 堵头等密封措施应有效。无破损,6 2。4,氧气阀门必须采用专用产品。其密封圈应采用有色金属.聚四氟乙烯等材质。填料应采用经脱脂处理的聚四氟乙烯,6。2 5。采用铜材的高纯气体管路。可用不锈钢材质的附件.但在不锈钢材质的管路中.不应采用铜质的附件。