6。2、管材及附件6,2。1 气体系统管道材质及附件、应按设计要求选配，如设计未作明确要求、选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应，并应符合下列规定.1、应使用无缝管材.2。管材内表面吸附，解吸气体的作用小,3。管材内表面应光滑。耐磨损。4 应具有良好的抗腐蚀性能 5。管材金属组织在焊接处理时不应发生变化，6.负压管道不宜采用普通碳钢管,6。2。2.所用管材应放在室内保管、不得重叠码放.管道应无裂纹.缩孔，夹渣 起瘤，折叠,重皮，锈斑，表面损伤等缺陷,管道应平直 圆滑 6 2 3，成品管外包装和相应管端头的管帽，堵头等密封措施应有效、无破损.6，2，4 氧气阀门必须采用专用产品，其密封圈应采用有色金属。聚四氟乙烯等材质，填料应采用经脱脂处理的聚四氟乙烯。6,2。5、采用铜材的高纯气体管路、可用不锈钢材质的附件,但在不锈钢材质的管路中 不应采用铜质的附件,