6。2,管材及附件6,2、1 气体系统管道材质及附件,应按设计要求选配 如设计未作明确要求、选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应 并应符合下列规定，1、应使用无缝管材.2。管材内表面吸附,解吸气体的作用小，3.管材内表面应光滑、耐磨损、4。应具有良好的抗腐蚀性能。5，管材金属组织在焊接处理时不应发生变化、6.负压管道不宜采用普通碳钢管。6。2 2，所用管材应放在室内保管,不得重叠码放、管道应无裂纹 缩孔，夹渣、起瘤。折叠 重皮.锈斑。表面损伤等缺陷,管道应平直，圆滑 6,2,3.成品管外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施应有效。无破损。6,2，4,氧气阀门必须采用专用产品,其密封圈应采用有色金属,聚四氟乙烯等材质、填料应采用经脱脂处理的聚四氟乙烯、6，2,5。采用铜材的高纯气体管路，可用不锈钢材质的附件，但在不锈钢材质的管路中、不应采用铜质的附件.