6。2。管材及附件6.2，1.气体系统管道材质及附件，应按设计要求选配、如设计未作明确要求、选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应，并应符合下列规定。1、应使用无缝管材，2、管材内表面吸附.解吸气体的作用小、3。管材内表面应光滑.耐磨损。4 应具有良好的抗腐蚀性能,5.管材金属组织在焊接处理时不应发生变化,6、负压管道不宜采用普通碳钢管.6、2、2、所用管材应放在室内保管。不得重叠码放、管道应无裂纹，缩孔。夹渣，起瘤,折叠.重皮。锈斑。表面损伤等缺陷、管道应平直，圆滑、6、2。3、成品管外包装和相应管端头的管帽.堵头等密封措施应有效,无破损.6。2.4 氧气阀门必须采用专用产品、其密封圈应采用有色金属，聚四氟乙烯等材质.填料应采用经脱脂处理的聚四氟乙烯,6。2、5,采用铜材的高纯气体管路。可用不锈钢材质的附件.但在不锈钢材质的管路中 不应采用铜质的附件.