6，2 管材及附件6,2 1、气体系统管道材质及附件、应按设计要求选配.如设计未作明确要求.选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应,并应符合下列规定。1,应使用无缝管材,2、管材内表面吸附。解吸气体的作用小，3 管材内表面应光滑,耐磨损，4 应具有良好的抗腐蚀性能 5。管材金属组织在焊接处理时不应发生变化，6 负压管道不宜采用普通碳钢管 6 2。2.所用管材应放在室内保管、不得重叠码放 管道应无裂纹 缩孔。夹渣 起瘤,折叠 重皮,锈斑.表面损伤等缺陷 管道应平直，圆滑、6 2.3。成品管外包装和相应管端头的管帽。堵头等密封措施应有效，无破损。6，2。4。氧气阀门必须采用专用产品。其密封圈应采用有色金属。聚四氟乙烯等材质,填料应采用经脱脂处理的聚四氟乙烯，6。2、5。采用铜材的高纯气体管路 可用不锈钢材质的附件 但在不锈钢材质的管路中。不应采用铜质的附件