6.2，管材及附件6、2.1,气体系统管道材质及附件、应按设计要求选配。如设计未作明确要求、选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应 并应符合下列规定.1，应使用无缝管材 2，管材内表面吸附 解吸气体的作用小,3,管材内表面应光滑、耐磨损，4。应具有良好的抗腐蚀性能,5。管材金属组织在焊接处理时不应发生变化，6.负压管道不宜采用普通碳钢管,6。2.2，所用管材应放在室内保管，不得重叠码放 管道应无裂纹，缩孔，夹渣，起瘤。折叠,重皮.锈斑、表面损伤等缺陷、管道应平直。圆滑,6 2、3,成品管外包装和相应管端头的管帽,堵头等密封措施应有效、无破损.6，2.4，氧气阀门必须采用专用产品，其密封圈应采用有色金属。聚四氟乙烯等材质,填料应采用经脱脂处理的聚四氟乙烯。6 2。5.采用铜材的高纯气体管路,可用不锈钢材质的附件、但在不锈钢材质的管路中.不应采用铜质的附件。