6，2。管材及附件6、2,1。气体系统管道材质及附件，应按设计要求选配、如设计未作明确要求.选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应 并应符合下列规定,1,应使用无缝管材。2.管材内表面吸附。解吸气体的作用小 3.管材内表面应光滑.耐磨损。4。应具有良好的抗腐蚀性能、5,管材金属组织在焊接处理时不应发生变化.6.负压管道不宜采用普通碳钢管,6。2。2，所用管材应放在室内保管.不得重叠码放,管道应无裂纹 缩孔。夹渣、起瘤，折叠，重皮 锈斑、表面损伤等缺陷。管道应平直.圆滑,6、2，3.成品管外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施应有效,无破损,6 2.4，氧气阀门必须采用专用产品。其密封圈应采用有色金属,聚四氟乙烯等材质.填料应采用经脱脂处理的聚四氟乙烯.6。2、5,采用铜材的高纯气体管路、可用不锈钢材质的附件、但在不锈钢材质的管路中.不应采用铜质的附件