6.2、管材及附件6,2 1,气体系统管道材质及附件.应按设计要求选配、如设计未作明确要求 选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应 并应符合下列规定 1.应使用无缝管材,2。管材内表面吸附、解吸气体的作用小.3,管材内表面应光滑，耐磨损.4、应具有良好的抗腐蚀性能,5,管材金属组织在焊接处理时不应发生变化、6 负压管道不宜采用普通碳钢管.6、2 2.所用管材应放在室内保管 不得重叠码放、管道应无裂纹，缩孔 夹渣，起瘤.折叠。重皮、锈斑 表面损伤等缺陷,管道应平直.圆滑、6。2、3 成品管外包装和相应管端头的管帽。堵头等密封措施应有效，无破损。6、2，4,氧气阀门必须采用专用产品、其密封圈应采用有色金属.聚四氟乙烯等材质 填料应采用经脱脂处理的聚四氟乙烯，6。2,5。采用铜材的高纯气体管路 可用不锈钢材质的附件 但在不锈钢材质的管路中，不应采用铜质的附件。