6.2、管材及附件6，2.1,气体系统管道材质及附件,应按设计要求选配 如设计未作明确要求。选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应，并应符合下列规定.1,应使用无缝管材、2、管材内表面吸附 解吸气体的作用小。3、管材内表面应光滑 耐磨损。4.应具有良好的抗腐蚀性能,5，管材金属组织在焊接处理时不应发生变化。6、负压管道不宜采用普通碳钢管,6、2,2、所用管材应放在室内保管,不得重叠码放.管道应无裂纹、缩孔,夹渣。起瘤，折叠。重皮、锈斑.表面损伤等缺陷 管道应平直,圆滑,6,2。3,成品管外包装和相应管端头的管帽，堵头等密封措施应有效.无破损 6 2。4，氧气阀门必须采用专用产品,其密封圈应采用有色金属,聚四氟乙烯等材质 填料应采用经脱脂处理的聚四氟乙烯。6，2。5,采用铜材的高纯气体管路，可用不锈钢材质的附件,但在不锈钢材质的管路中。不应采用铜质的附件、