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附录G,洁净室气密性检测方法G,1。原,理G。1,1、保持室内为正压或负压均能满足检验要求 但条件允许时。负压洁净室宜用正压检验,正压洁净室宜用负压检验,G,1,2,可按以下方法进行检测。1、压力衰减法使室内达到某一压力 正压或负压.关闭加压或抽负压系统、观察压力随时间衰减的情况、记录下压力衰减到起始压力的一半时所用的时间、即为测量室内正压或负压的半衰期,2 恒压法使室内达到某一正压 同时向室内补气、使室压达到要求的稳定值而不下降时的补气量即为漏泄量。使室内达到某一负压 使室压维持要求的稳定值而不下降时的抽气量即为漏泄量、
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