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6 6,气体供给装置6、6.1,瓶装气体供给装置应安装在使用洁净室之外的房间.两室之间穿墙的管道应加套管.并应在管道与套管间隙填满不燃材料并加密封 6、6。2。装置出口管道上的安全阀在安装前应进行阀门开启检查、开启压力 密封压力和回座压力应符合安全阀性能要求、6 6。3,集中式真空吸引装置应安装在远离洁净室的建筑物外.安装时应采取有效隔声防振措施、与其连接的弯管半径不应小于5倍管外径、过滤清除设施应安在排气口,

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