2,术 语2。0,1 洁净室及相关受控环境，cleanrooms、and,associated.controlled，environment洁净室及其附属的、辅助的，相联系的开放或封闭的内部或周边空间、该空间的悬浮微粒浓度等参数也受到符合相关标准的控制，2、0,2、单向流洁净室，unidirectional。airflow。cleanroom由方向单一。流线平行并且速度均匀稳定的单向流流过房间工作区整个截面的洁净室.2。0，3，非单向流洁净室，non,unidirectional、airflow.cleanroom是指流线不平行。方向不单一,速度不均匀而且有交叉回旋的紊乱气流流过房间工作区整个截面的洁净室、亦称乱流洁净室。2、0,4、混合流洁净室。mixed，airflow、cleanroom同时分别存在单向流和非单向流两种气流流型的洁净室、2 0，5。微粒、particle悬浮在空气中的，固态的或液态的，活性的或非活性的物质.其粒径 对本标准而言，在10nm,100μm的范围 2，0。6,气溶胶。aerosol在空气中悬浮的微小固体或液体微粒的分散系.2、0、7、生物气溶胶，bio，aerosol散布于气态环境中的生物介质 2.0，8，浮游菌 airborne,bacteria悬浮在空气中的带菌微粒 2，0 9 沉降菌。scttlemental.bacteria降落在表面上的带菌微粒.2，0、10。测试用气溶胶，test,aerosol呈气态悬浮的固体或液体的微粒 其粒径分布和浓度已知且受控 2,0，11，泄漏。leak空气过滤器系统因完整性不佳或有缺陷所引起的污染物透过、透过的污染物超过下风向浓度预计值，2。0，12，检漏,leak，test找到过滤器和机组部件泄漏的方法.即使用气溶胶光度计或光学粒子计数器以相互重叠的扫描区域扫描通过测试区。2。0 13 过滤器安装后泄漏测试 installed，filter，leakage，test为确认过滤器安装良好所进行的测试.测试时要验证设施没有旁路渗漏.过滤器及过滤器和安装框架间的密封面没有缺陷和泄漏，2。0、14、静态、at.rest全部建成且设施齐备，净化空调系统运行正常，现场没有人员。此时生产设备已安装完毕而未运行的洁净室状态、或生产设备停止运行并进行自净达到规定时间后的洁净室状态 或正在按建设方.用户，和施工方商定的方式运行的洁净室状态.是洁净室的三种占用状态,空态,静态、动态.之一 2，0 15、高纯气体.ultrapure.gas气体成分纯度大于或等于99。9995。含水量小于5ppm的气体，2 0。16,纯化水.purity.water，去离子水或深度脱盐水，指温度25 时。电阻率大于0.1 106Ω、cm的水.2 0 17、高纯水.注射用水.ultrapure、water指温度25 时。电阻率大于0、1 106Ω.cm、水中大于或等于0，5μm的尘粒小于300粒,mL.活微生物小于9个.mL的纯水.2,0，18，大,宏.粒子,macroparticle当量直径大于5μm的微粒,2,0，19,超微粒子 ultrafine、particle当量直径小于0 1μm的微粒，2 0 20。永久气体，permanent,gas临界温度低于 10 的气体,如空气.氧，氮。氦。甲烷，一氧化碳等.2 0,21，特种气体 special。gas为满足特定用途的气体.包括单一气体或混合气体.单一气体有259种，其中电子气体115种。有机气体63种.无机气体35种，卤碳素气体29种 同位素气体17种、2.0。22、医用气体,medical，gas符合医疗相关规定要求 供治疗，诊断、预防等医学方面使用的气体 2。0.23.洁净气体.clean、gas单位体积所含微粒的数量小于或等于使用此气体的洁净环境洁净度的常用气体,2 0,24 分子态污染物。airborne、molecular.contamination。AMC含在空气中的具有分子量级的污染物，如酸性气体、碱性气体,凝聚性有机物质.用于半导体的掺杂物。高挥发性有机物质和分子级的金属等