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- 洁净室施工及验收规范 GB 50591-2010
- 1 总 则
- 2 术 语
- 3 建筑结构
- 4 建筑装饰
- 5 风 系 统
- 6 气体系统
- 7 水 系 统
- 8 化学物料供应系统
- 9 配电系统
- 10 自动控制系统
- 11 设备安装
- 12 消防系统
- 13 屏蔽设施
- 14 防静电设施
- 15 施工组织与管理
- 16 工程检验
- 17 验 收
- 附录A 风管分段漏风检测方法
- 附录B 施工检查记录表
- 附录C 施工验收记录表
- 附录D 高效空气过滤器现场扫描检漏方法
- 附录E 洁净室综合性能检验方法
- 附录F 洁净室生物学评价方法
- 附录G 洁净室气密性检测方法
- 附录H 分子态污染物的检测
- H．1 分子态污染物(amc)
- H．2 检测方法
- H．3 撞击采样法
- H．4 吸附管采样法
- 本标准用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
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附录H，分子态污染物的检测。H,1 分子态污染物 AMC，H。1。1.分子态污染物主要包括以下四种，1,酸性气体,表示为A，NOx SOx,HF,HCl H2S04等,2、碱性气体、表示为B,NH33,凝聚性有机物，表示为C、在常温常压下容易凝结在物体表面的有机物、包括碳氮化合物。硅氧化物，氟高分子有机物等 4、金属掺杂物、表示为D.Fe，Na,K,Ca Zn，Al,Br等.