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附录G。洁净室气密性检测方法G。1,原。理G,1,1.保持室内为正压或负压均能满足检验要求。但条件允许时 负压洁净室宜用正压检验.正压洁净室宜用负压检验、G、1、2,可按以下方法进行检测 1.压力衰减法使室内达到某一压力 正压或负压。关闭加压或抽负压系统 观察压力随时间衰减的情况,记录下压力衰减到起始压力的一半时所用的时间.即为测量室内正压或负压的半衰期.2.恒压法使室内达到某一正压、同时向室内补气,使室压达到要求的稳定值而不下降时的补气量即为漏泄量。使室内达到某一负压、使室压维持要求的稳定值而不下降时的抽气量即为漏泄量、
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