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附录G,洁净室气密性检测方法G.1、原 理G、1.1。保持室内为正压或负压均能满足检验要求、但条件允许时。负压洁净室宜用正压检验,正压洁净室宜用负压检验,G,1,2。可按以下方法进行检测、1,压力衰减法使室内达到某一压力、正压或负压 关闭加压或抽负压系统、观察压力随时间衰减的情况,记录下压力衰减到起始压力的一半时所用的时间。即为测量室内正压或负压的半衰期.2,恒压法使室内达到某一正压.同时向室内补气,使室压达到要求的稳定值而不下降时的补气量即为漏泄量 使室内达到某一负压.使室压维持要求的稳定值而不下降时的抽气量即为漏泄量,

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