G、2、压力衰减法G 2。1,测试系统如图G 2 1所示。G 2.2.可按以下步骤进行检测1、将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定,记录压力衰减测试过程中室内温度的变化 温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0。1。2、关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等、关闭回风管,或排风管,上的气密阀门,不得在风口上加其他密封措施,并维持各种孔洞缝隙的密封现状,3,开启送风,使室内压力上升至已商定的测试压力.压力计量程至少为测试压力的1 5倍,最小示值不宜大于10Pa,压力稳定后,停止送风.关闭送风阀门.4、或反之关闭送风管上的阀门,如果送风管上无阀或阀不严。应在送风口上用塑料膜加盲板的方法封住风口,开启排风。使室内压力下降至已商定的测试压力,压力稳定后。停止排风.关闭排风气密阀门,5.从停上送、排,风起、记录压力随时间衰减的数据,每1min记录1次压差和温度,连续记录至室内压力下降至初始压力的一半时止、6.测试结束后慢慢打开风阀,使房间压力恢复到正常状态 7.如果需要进行重复测试,20min后进行,8,当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵。G.2。3、检测报告应包括以下内容,1,检测条件 包括室内温度等,2。检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度,所测洁净室压力。温度的动态变化。检测持续的时间.3,检测结果包括所测洁净室压力下降至初始压力的1 2时的时间内压力衰减率,所测洁净室围护结构严密性的评价、