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G,2。压力衰减法G,2、1 测试系统如图G、2、1所示.G 2,2。可按以下步骤进行检测1,将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定。记录压力衰减测试过程中室内温度的变化.温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0 1、2 关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等、关闭回风管 或排风管.上的气密阀门,不得在风口上加其他密封措施 并维持各种孔洞缝隙的密封现状 3 开启送风。使室内压力上升至已商定的测试压力,压力计量程至少为测试压力的1,5倍 最小示值不宜大于10Pa、压力稳定后 停止送风。关闭送风阀门,4、或反之关闭送风管上的阀门,如果送风管上无阀或阀不严.应在送风口上用塑料膜加盲板的方法封住风口,开启排风、使室内压力下降至已商定的测试压力 压力稳定后 停止排风,关闭排风气密阀门.5,从停上送 排。风起,记录压力随时间衰减的数据。每1min记录1次压差和温度 连续记录至室内压力下降至初始压力的一半时止。6.测试结束后慢慢打开风阀、使房间压力恢复到正常状态、7。如果需要进行重复测试、20min后进行。8、当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵。G.2、3、检测报告应包括以下内容.1,检测条件、包括室内温度等,2.检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度 所测洁净室压力,温度的动态变化.检测持续的时间,3。检测结果包括所测洁净室压力下降至初始压力的1、2时的时间内压力衰减率,所测洁净室围护结构严密性的评价、

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