G 2,压力衰减法G。2 1.测试系统如图G,2,1所示.G.2,2,可按以下步骤进行检测1.将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定。记录压力衰减测试过程中室内温度的变化。温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0,1,2。关闭所测洁净室围护结构上的门。传递窗等。关闭回风管.或排风管,上的气密阀门 不得在风口上加其他密封措施、并维持各种孔洞缝隙的密封现状 3,开启送风,使室内压力上升至已商定的测试压力。压力计量程至少为测试压力的1。5倍。最小示值不宜大于10Pa.压力稳定后。停止送风.关闭送风阀门 4、或反之关闭送风管上的阀门.如果送风管上无阀或阀不严.应在送风口上用塑料膜加盲板的方法封住风口 开启排风 使室内压力下降至已商定的测试压力.压力稳定后,停止排风 关闭排风气密阀门,5。从停上送。排,风起,记录压力随时间衰减的数据 每1min记录1次压差和温度.连续记录至室内压力下降至初始压力的一半时止,6.测试结束后慢慢打开风阀,使房间压力恢复到正常状态 7 如果需要进行重复测试。20min后进行,8 当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵。G,2.3,检测报告应包括以下内容 1,检测条件。包括室内温度等 2。检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度,所测洁净室压力.温度的动态变化.检测持续的时间.3、检测结果包括所测洁净室压力下降至初始压力的1.2时的时间内压力衰减率,所测洁净室围护结构严密性的评价、