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G 2,压力衰减法G,2,1。测试系统如图G,2。1所示.G、2。2 可按以下步骤进行检测1。将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定、记录压力衰减测试过程中室内温度的变化.温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0。1,2。关闭所测洁净室围护结构上的门 传递窗等。关闭回风管 或排风管、上的气密阀门,不得在风口上加其他密封措施、并维持各种孔洞缝隙的密封现状、3.开启送风、使室内压力上升至已商定的测试压力 压力计量程至少为测试压力的1.5倍 最小示值不宜大于10Pa 压力稳定后.停止送风.关闭送风阀门.4,或反之关闭送风管上的阀门.如果送风管上无阀或阀不严,应在送风口上用塑料膜加盲板的方法封住风口,开启排风 使室内压力下降至已商定的测试压力、压力稳定后、停止排风,关闭排风气密阀门,5,从停上送,排、风起、记录压力随时间衰减的数据,每1min记录1次压差和温度 连续记录至室内压力下降至初始压力的一半时止,6.测试结束后慢慢打开风阀、使房间压力恢复到正常状态,7 如果需要进行重复测试 20min后进行,8、当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵、G。2、3,检测报告应包括以下内容。1.检测条件、包括室内温度等 2、检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度。所测洁净室压力.温度的动态变化。检测持续的时间 3,检测结果包括所测洁净室压力下降至初始压力的1,2时的时间内压力衰减率。所测洁净室围护结构严密性的评价。
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