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G。2 压力衰减法G,2 1、测试系统如图G,2,1所示、G 2.2。可按以下步骤进行检测1.将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定,记录压力衰减测试过程中室内温度的变化,温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0,1、2、关闭所测洁净室围护结构上的门 传递窗等.关闭回风管 或排风管,上的气密阀门.不得在风口上加其他密封措施 并维持各种孔洞缝隙的密封现状、3 开启送风,使室内压力上升至已商定的测试压力。压力计量程至少为测试压力的1.5倍 最小示值不宜大于10Pa 压力稳定后,停止送风.关闭送风阀门 4,或反之关闭送风管上的阀门,如果送风管上无阀或阀不严 应在送风口上用塑料膜加盲板的方法封住风口,开启排风,使室内压力下降至已商定的测试压力、压力稳定后.停止排风 关闭排风气密阀门.5,从停上送.排.风起.记录压力随时间衰减的数据。每1min记录1次压差和温度,连续记录至室内压力下降至初始压力的一半时止,6,测试结束后慢慢打开风阀。使房间压力恢复到正常状态,7,如果需要进行重复测试。20min后进行,8.当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵 G.2,3。检测报告应包括以下内容。1.检测条件 包括室内温度等,2,检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度.所测洁净室压力、温度的动态变化,检测持续的时间.3。检测结果包括所测洁净室压力下降至初始压力的1。2时的时间内压力衰减率.所测洁净室围护结构严密性的评价,
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