G,2 压力衰减法G,2.1.测试系统如图G。2.1所示、G、2。2。可按以下步骤进行检测1 将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定 记录压力衰减测试过程中室内温度的变化 温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0、1.2 关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等,关闭回风管、或排风管.上的气密阀门 不得在风口上加其他密封措施,并维持各种孔洞缝隙的密封现状。3、开启送风,使室内压力上升至已商定的测试压力。压力计量程至少为测试压力的1,5倍、最小示值不宜大于10Pa、压力稳定后 停止送风,关闭送风阀门,4、或反之关闭送风管上的阀门,如果送风管上无阀或阀不严。应在送风口上用塑料膜加盲板的方法封住风口 开启排风,使室内压力下降至已商定的测试压力。压力稳定后 停止排风 关闭排风气密阀门,5、从停上送.排.风起,记录压力随时间衰减的数据,每1min记录1次压差和温度,连续记录至室内压力下降至初始压力的一半时止。6,测试结束后慢慢打开风阀 使房间压力恢复到正常状态,7,如果需要进行重复测试。20min后进行。8,当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵、G。2、3,检测报告应包括以下内容 1,检测条件,包括室内温度等,2。检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度,所测洁净室压力 温度的动态变化,检测持续的时间 3.检测结果包括所测洁净室压力下降至初始压力的1.2时的时间内压力衰减率 所测洁净室围护结构严密性的评价,