G,2、压力衰减法G，2。1 测试系统如图G、2 1所示 G、2,2 可按以下步骤进行检测1。将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定.记录压力衰减测试过程中室内温度的变化,温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0.1,2 关闭所测洁净室围护结构上的门.传递窗等,关闭回风管 或排风管 上的气密阀门 不得在风口上加其他密封措施、并维持各种孔洞缝隙的密封现状,3.开启送风 使室内压力上升至已商定的测试压力,压力计量程至少为测试压力的1、5倍,最小示值不宜大于10Pa,压力稳定后.停止送风 关闭送风阀门、4,或反之关闭送风管上的阀门。如果送风管上无阀或阀不严，应在送风口上用塑料膜加盲板的方法封住风口.开启排风，使室内压力下降至已商定的测试压力,压力稳定后，停止排风 关闭排风气密阀门,5，从停上送.排 风起.记录压力随时间衰减的数据.每1min记录1次压差和温度、连续记录至室内压力下降至初始压力的一半时止、6 测试结束后慢慢打开风阀,使房间压力恢复到正常状态，7.如果需要进行重复测试,20min后进行.8,当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵,G。2、3,检测报告应包括以下内容、1,检测条件、包括室内温度等.2，检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度,所测洁净室压力.温度的动态变化.检测持续的时间 3,检测结果包括所测洁净室压力下降至初始压力的1，2时的时间内压力衰减率.所测洁净室围护结构严密性的评价，