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G,2.压力衰减法G,2、1。测试系统如图G,2,1所示、G.2.2。可按以下步骤进行检测1。将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定.记录压力衰减测试过程中室内温度的变化 温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0,1,2 关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等,关闭回风管、或排风管 上的气密阀门,不得在风口上加其他密封措施、并维持各种孔洞缝隙的密封现状、3、开启送风。使室内压力上升至已商定的测试压力,压力计量程至少为测试压力的1、5倍。最小示值不宜大于10Pa 压力稳定后。停止送风,关闭送风阀门,4 或反之关闭送风管上的阀门 如果送风管上无阀或阀不严 应在送风口上用塑料膜加盲板的方法封住风口,开启排风、使室内压力下降至已商定的测试压力.压力稳定后、停止排风,关闭排风气密阀门。5。从停上送,排,风起、记录压力随时间衰减的数据,每1min记录1次压差和温度 连续记录至室内压力下降至初始压力的一半时止、6。测试结束后慢慢打开风阀、使房间压力恢复到正常状态.7,如果需要进行重复测试,20min后进行。8。当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵、G。2 3,检测报告应包括以下内容,1。检测条件,包括室内温度等.2。检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度 所测洁净室压力。温度的动态变化.检测持续的时间 3,检测结果包括所测洁净室压力下降至初始压力的1。2时的时间内压力衰减率。所测洁净室围护结构严密性的评价。
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