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G、2、压力衰减法G,2、1。测试系统如图G,2,1所示.G,2,2,可按以下步骤进行检测1.将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定。记录压力衰减测试过程中室内温度的变化.温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0 1 2.关闭所测洁净室围护结构上的门,传递窗等.关闭回风管.或排风管,上的气密阀门、不得在风口上加其他密封措施,并维持各种孔洞缝隙的密封现状,3 开启送风,使室内压力上升至已商定的测试压力 压力计量程至少为测试压力的1。5倍,最小示值不宜大于10Pa 压力稳定后、停止送风、关闭送风阀门,4。或反之关闭送风管上的阀门.如果送风管上无阀或阀不严 应在送风口上用塑料膜加盲板的方法封住风口 开启排风.使室内压力下降至已商定的测试压力,压力稳定后.停止排风。关闭排风气密阀门,5。从停上送 排、风起,记录压力随时间衰减的数据,每1min记录1次压差和温度,连续记录至室内压力下降至初始压力的一半时止,6。测试结束后慢慢打开风阀,使房间压力恢复到正常状态,7,如果需要进行重复测试 20min后进行,8,当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵。G。2 3 检测报告应包括以下内容,1 检测条件。包括室内温度等,2。检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度、所测洁净室压力.温度的动态变化 检测持续的时间 3 检测结果包括所测洁净室压力下降至初始压力的1 2时的时间内压力衰减率 所测洁净室围护结构严密性的评价.
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