G。2。压力衰减法G。2,1,测试系统如图G。2.1所示 G,2,2.可按以下步骤进行检测1 将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定、记录压力衰减测试过程中室内温度的变化、温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0.1。2、关闭所测洁净室围护结构上的门,传递窗等、关闭回风管.或排风管 上的气密阀门,不得在风口上加其他密封措施、并维持各种孔洞缝隙的密封现状 3。开启送风 使室内压力上升至已商定的测试压力、压力计量程至少为测试压力的1,5倍.最小示值不宜大于10Pa.压力稳定后,停止送风.关闭送风阀门.4,或反之关闭送风管上的阀门,如果送风管上无阀或阀不严,应在送风口上用塑料膜加盲板的方法封住风口,开启排风.使室内压力下降至已商定的测试压力、压力稳定后。停止排风。关闭排风气密阀门 5 从停上送、排 风起.记录压力随时间衰减的数据,每1min记录1次压差和温度,连续记录至室内压力下降至初始压力的一半时止,6 测试结束后慢慢打开风阀,使房间压力恢复到正常状态.7。如果需要进行重复测试 20min后进行、8、当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵.G。2、3,检测报告应包括以下内容.1,检测条件,包括室内温度等、2,检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度 所测洁净室压力,温度的动态变化.检测持续的时间,3.检测结果包括所测洁净室压力下降至初始压力的1、2时的时间内压力衰减率,所测洁净室围护结构严密性的评价.