11、5，工艺设备安装11。5.1.工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能 11.5、2 工艺设备安装时.现场的净化空调系统应已连续运行24h以上，现场除正常照明外。应配备三相380V 单相220V和低压行灯电源、11，5,3、任何用于大设备的提升,牵引或定位的专用设备在进入洁净室安装现场前,应彻底清洁.并应检查有无脱屑。剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料.11，5,4。设备安装时应妥善保护墙壁与地面,设备的软胶轮应予包裹 避免在地面拖磨，开洞作业不应划伤或污染所在表面，设备安装位置穿越不同洁净级别区域时 穿越处缝隙应用柔性材料填充，密封、并应装饰处理。11。5 5。设备安装时宜在设备周围设临时隔离墙。设备周围应留出足够的安装空间，隔离区内应阻断正压送风，进入隔离区的人员应按进入洁净区要求。11.5 6，除设计有明确要求外，设备的安装宜不作永久性固定,不采用地脚螺栓方式、宜安装成可移动性的半固定式,11、5 7,无脚轮的设备安装就位时 应有承重部位地面的保护措施,11，5,8,设备离墙距离应能满足维修和清扫要求,当靠墙安装时 与墙间的缝隙应密封。11。5.9 设备底面应抬离地面80mm。150mm。不能抬高这一距离时,应落地安装,与地面间的缝隙应密封.11,5.10、水池,水槽等用水设备与围护结构接触的边沿部位的缝隙应密封、11，5、11 设备配管配线所用各种管线原料和垫料 填料等辅料应对产品和环境无不良影响，应避免在洁净环境中进行材料加工,当不可避免时,应采取防止粉尘扩散措施 11，5 12,当设备较高无法擦拭到顶部时，应采取可以清扫的措施。11 5，13，应在设备找正,调平后进行设备二次配管。配线、