11，5,工艺设备安装11，5 1。工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能，11.5,2。工艺设备安装时 现场的净化空调系统应已连续运行24h以上,现场除正常照明外,应配备三相380V，单相220V和低压行灯电源，11,5.3,任何用于大设备的提升。牵引或定位的专用设备在进入洁净室安装现场前 应彻底清洁 并应检查有无脱屑、剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料.11，5.4 设备安装时应妥善保护墙壁与地面，设备的软胶轮应予包裹 避免在地面拖磨，开洞作业不应划伤或污染所在表面,设备安装位置穿越不同洁净级别区域时。穿越处缝隙应用柔性材料填充、密封.并应装饰处理。11、5 5,设备安装时宜在设备周围设临时隔离墙.设备周围应留出足够的安装空间.隔离区内应阻断正压送风.进入隔离区的人员应按进入洁净区要求、11。5、6。除设计有明确要求外 设备的安装宜不作永久性固定、不采用地脚螺栓方式 宜安装成可移动性的半固定式，11,5.7。无脚轮的设备安装就位时、应有承重部位地面的保护措施,11,5.8 设备离墙距离应能满足维修和清扫要求 当靠墙安装时、与墙间的缝隙应密封、11,5、9.设备底面应抬离地面80mm,150mm,不能抬高这一距离时,应落地安装,与地面间的缝隙应密封，11、5、10，水池 水槽等用水设备与围护结构接触的边沿部位的缝隙应密封 11.5.11,设备配管配线所用各种管线原料和垫料、填料等辅料应对产品和环境无不良影响 应避免在洁净环境中进行材料加工。当不可避免时，应采取防止粉尘扩散措施 11,5,12 当设备较高无法擦拭到顶部时 应采取可以清扫的措施 11，5、13，应在设备找正、调平后进行设备二次配管、配线,