11。5 工艺设备安装11、5.1.工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能，11、5,2.工艺设备安装时 现场的净化空调系统应已连续运行24h以上。现场除正常照明外,应配备三相380V,单相220V和低压行灯电源 11.5。3,任何用于大设备的提升。牵引或定位的专用设备在进入洁净室安装现场前 应彻底清洁。并应检查有无脱屑,剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料，11,5.4.设备安装时应妥善保护墙壁与地面 设备的软胶轮应予包裹、避免在地面拖磨.开洞作业不应划伤或污染所在表面.设备安装位置穿越不同洁净级别区域时,穿越处缝隙应用柔性材料填充 密封 并应装饰处理。11,5、5。设备安装时宜在设备周围设临时隔离墙、设备周围应留出足够的安装空间.隔离区内应阻断正压送风.进入隔离区的人员应按进入洁净区要求。11 5.6，除设计有明确要求外.设备的安装宜不作永久性固定.不采用地脚螺栓方式、宜安装成可移动性的半固定式,11 5，7.无脚轮的设备安装就位时 应有承重部位地面的保护措施.11。5。8 设备离墙距离应能满足维修和清扫要求、当靠墙安装时、与墙间的缝隙应密封,11,5、9.设备底面应抬离地面80mm,150mm，不能抬高这一距离时.应落地安装 与地面间的缝隙应密封，11 5 10。水池，水槽等用水设备与围护结构接触的边沿部位的缝隙应密封.11.5、11.设备配管配线所用各种管线原料和垫料。填料等辅料应对产品和环境无不良影响.应避免在洁净环境中进行材料加工,当不可避免时，应采取防止粉尘扩散措施 11 5、12 当设备较高无法擦拭到顶部时,应采取可以清扫的措施,11,5，13.应在设备找正,调平后进行设备二次配管。配线