11。5.工艺设备安装11 5，1,工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能,11。5、2,工艺设备安装时 现场的净化空调系统应已连续运行24h以上。现场除正常照明外,应配备三相380V，单相220V和低压行灯电源.11,5 3。任何用于大设备的提升、牵引或定位的专用设备在进入洁净室安装现场前，应彻底清洁。并应检查有无脱屑、剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料.11 5。4，设备安装时应妥善保护墙壁与地面。设备的软胶轮应予包裹.避免在地面拖磨.开洞作业不应划伤或污染所在表面 设备安装位置穿越不同洁净级别区域时。穿越处缝隙应用柔性材料填充。密封。并应装饰处理 11。5.5。设备安装时宜在设备周围设临时隔离墙 设备周围应留出足够的安装空间 隔离区内应阻断正压送风 进入隔离区的人员应按进入洁净区要求、11，5，6.除设计有明确要求外。设备的安装宜不作永久性固定 不采用地脚螺栓方式,宜安装成可移动性的半固定式,11.5,7 无脚轮的设备安装就位时,应有承重部位地面的保护措施，11，5.8。设备离墙距离应能满足维修和清扫要求、当靠墙安装时.与墙间的缝隙应密封、11,5、9.设备底面应抬离地面80mm.150mm 不能抬高这一距离时 应落地安装、与地面间的缝隙应密封,11。5。10 水池 水槽等用水设备与围护结构接触的边沿部位的缝隙应密封 11，5 11.设备配管配线所用各种管线原料和垫料 填料等辅料应对产品和环境无不良影响，应避免在洁净环境中进行材料加工 当不可避免时、应采取防止粉尘扩散措施。11，5,12,当设备较高无法擦拭到顶部时，应采取可以清扫的措施 11,5、13、应在设备找正。调平后进行设备二次配管 配线