11、5 工艺设备安装11。5，1。工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能，11、5、2,工艺设备安装时.现场的净化空调系统应已连续运行24h以上 现场除正常照明外,应配备三相380V,单相220V和低压行灯电源.11,5。3.任何用于大设备的提升、牵引或定位的专用设备在进入洁净室安装现场前.应彻底清洁.并应检查有无脱屑.剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料。11。5 4，设备安装时应妥善保护墙壁与地面.设备的软胶轮应予包裹 避免在地面拖磨 开洞作业不应划伤或污染所在表面、设备安装位置穿越不同洁净级别区域时,穿越处缝隙应用柔性材料填充.密封。并应装饰处理、11 5.5，设备安装时宜在设备周围设临时隔离墙,设备周围应留出足够的安装空间 隔离区内应阻断正压送风.进入隔离区的人员应按进入洁净区要求。11.5 6 除设计有明确要求外,设备的安装宜不作永久性固定。不采用地脚螺栓方式、宜安装成可移动性的半固定式，11.5 7、无脚轮的设备安装就位时，应有承重部位地面的保护措施,11。5.8 设备离墙距离应能满足维修和清扫要求，当靠墙安装时.与墙间的缝隙应密封，11,5.9.设备底面应抬离地面80mm、150mm 不能抬高这一距离时,应落地安装,与地面间的缝隙应密封、11。5。10,水池.水槽等用水设备与围护结构接触的边沿部位的缝隙应密封。11.5。11，设备配管配线所用各种管线原料和垫料 填料等辅料应对产品和环境无不良影响.应避免在洁净环境中进行材料加工，当不可避免时。应采取防止粉尘扩散措施.11.5。12。当设备较高无法擦拭到顶部时,应采取可以清扫的措施,11.5.13 应在设备找正。调平后进行设备二次配管 配线,