11.5，工艺设备安装11，5。1，工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能，11 5 2.工艺设备安装时 现场的净化空调系统应已连续运行24h以上,现场除正常照明外、应配备三相380V 单相220V和低压行灯电源、11。5，3。任何用于大设备的提升。牵引或定位的专用设备在进入洁净室安装现场前。应彻底清洁，并应检查有无脱屑，剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料。11.5,4。设备安装时应妥善保护墙壁与地面，设备的软胶轮应予包裹、避免在地面拖磨、开洞作业不应划伤或污染所在表面 设备安装位置穿越不同洁净级别区域时。穿越处缝隙应用柔性材料填充.密封，并应装饰处理、11.5 5.设备安装时宜在设备周围设临时隔离墙，设备周围应留出足够的安装空间.隔离区内应阻断正压送风.进入隔离区的人员应按进入洁净区要求 11 5、6、除设计有明确要求外、设备的安装宜不作永久性固定。不采用地脚螺栓方式。宜安装成可移动性的半固定式.11 5。7.无脚轮的设备安装就位时、应有承重部位地面的保护措施，11、5.8 设备离墙距离应能满足维修和清扫要求，当靠墙安装时、与墙间的缝隙应密封。11,5,9.设备底面应抬离地面80mm,150mm,不能抬高这一距离时，应落地安装，与地面间的缝隙应密封.11 5。10 水池.水槽等用水设备与围护结构接触的边沿部位的缝隙应密封 11.5、11，设备配管配线所用各种管线原料和垫料，填料等辅料应对产品和环境无不良影响.应避免在洁净环境中进行材料加工，当不可避免时 应采取防止粉尘扩散措施 11,5、12 当设备较高无法擦拭到顶部时.应采取可以清扫的措施。11，5,13、应在设备找正,调平后进行设备二次配管.配线，