11。5、工艺设备安装11。5，1 工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能、11 5、2。工艺设备安装时，现场的净化空调系统应已连续运行24h以上.现场除正常照明外，应配备三相380V.单相220V和低压行灯电源,11.5，3。任何用于大设备的提升,牵引或定位的专用设备在进入洁净室安装现场前,应彻底清洁，并应检查有无脱屑。剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料、11。5.4、设备安装时应妥善保护墙壁与地面.设备的软胶轮应予包裹，避免在地面拖磨,开洞作业不应划伤或污染所在表面,设备安装位置穿越不同洁净级别区域时，穿越处缝隙应用柔性材料填充.密封.并应装饰处理 11、5、5。设备安装时宜在设备周围设临时隔离墙。设备周围应留出足够的安装空间，隔离区内应阻断正压送风.进入隔离区的人员应按进入洁净区要求。11。5、6，除设计有明确要求外，设备的安装宜不作永久性固定 不采用地脚螺栓方式,宜安装成可移动性的半固定式、11,5。7 无脚轮的设备安装就位时 应有承重部位地面的保护措施、11.5 8,设备离墙距离应能满足维修和清扫要求，当靠墙安装时，与墙间的缝隙应密封.11、5。9。设备底面应抬离地面80mm、150mm.不能抬高这一距离时 应落地安装 与地面间的缝隙应密封,11，5、10，水池，水槽等用水设备与围护结构接触的边沿部位的缝隙应密封。11 5.11 设备配管配线所用各种管线原料和垫料。填料等辅料应对产品和环境无不良影响.应避免在洁净环境中进行材料加工，当不可避免时 应采取防止粉尘扩散措施.11.5 12，当设备较高无法擦拭到顶部时 应采取可以清扫的措施。11.5、13,应在设备找正 调平后进行设备二次配管、配线。