11，5 工艺设备安装11 5。1，工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能，11，5.2，工艺设备安装时,现场的净化空调系统应已连续运行24h以上。现场除正常照明外。应配备三相380V，单相220V和低压行灯电源、11。5，3,任何用于大设备的提升，牵引或定位的专用设备在进入洁净室安装现场前，应彻底清洁,并应检查有无脱屑,剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料.11，5，4、设备安装时应妥善保护墙壁与地面 设备的软胶轮应予包裹、避免在地面拖磨。开洞作业不应划伤或污染所在表面、设备安装位置穿越不同洁净级别区域时,穿越处缝隙应用柔性材料填充.密封。并应装饰处理、11、5.5。设备安装时宜在设备周围设临时隔离墙。设备周围应留出足够的安装空间，隔离区内应阻断正压送风.进入隔离区的人员应按进入洁净区要求 11、5，6、除设计有明确要求外 设备的安装宜不作永久性固定.不采用地脚螺栓方式、宜安装成可移动性的半固定式 11.5。7,无脚轮的设备安装就位时.应有承重部位地面的保护措施。11，5、8。设备离墙距离应能满足维修和清扫要求、当靠墙安装时，与墙间的缝隙应密封.11.5.9.设备底面应抬离地面80mm。150mm 不能抬高这一距离时。应落地安装，与地面间的缝隙应密封,11，5、10。水池,水槽等用水设备与围护结构接触的边沿部位的缝隙应密封。11.5 11.设备配管配线所用各种管线原料和垫料。填料等辅料应对产品和环境无不良影响、应避免在洁净环境中进行材料加工 当不可避免时.应采取防止粉尘扩散措施 11 5 12,当设备较高无法擦拭到顶部时 应采取可以清扫的措施.11，5。13、应在设备找正,调平后进行设备二次配管.配线、