11，5。工艺设备安装11，5，1 工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能 11，5，2 工艺设备安装时，现场的净化空调系统应已连续运行24h以上，现场除正常照明外.应配备三相380V 单相220V和低压行灯电源。11 5,3.任何用于大设备的提升 牵引或定位的专用设备在进入洁净室安装现场前，应彻底清洁.并应检查有无脱屑,剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料，11.5 4 设备安装时应妥善保护墙壁与地面、设备的软胶轮应予包裹 避免在地面拖磨。开洞作业不应划伤或污染所在表面、设备安装位置穿越不同洁净级别区域时 穿越处缝隙应用柔性材料填充,密封。并应装饰处理，11。5,5 设备安装时宜在设备周围设临时隔离墙、设备周围应留出足够的安装空间,隔离区内应阻断正压送风.进入隔离区的人员应按进入洁净区要求,11,5.6,除设计有明确要求外，设备的安装宜不作永久性固定，不采用地脚螺栓方式。宜安装成可移动性的半固定式、11 5 7。无脚轮的设备安装就位时。应有承重部位地面的保护措施、11，5。8。设备离墙距离应能满足维修和清扫要求 当靠墙安装时.与墙间的缝隙应密封.11.5。9 设备底面应抬离地面80mm,150mm、不能抬高这一距离时 应落地安装，与地面间的缝隙应密封。11。5、10,水池 水槽等用水设备与围护结构接触的边沿部位的缝隙应密封，11.5。11。设备配管配线所用各种管线原料和垫料，填料等辅料应对产品和环境无不良影响，应避免在洁净环境中进行材料加工，当不可避免时。应采取防止粉尘扩散措施，11、5 12,当设备较高无法擦拭到顶部时。应采取可以清扫的措施，11、5。13 应在设备找正,调平后进行设备二次配管 配线。