11、5、工艺设备安装11，5。1.工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能，11，5 2.工艺设备安装时、现场的净化空调系统应已连续运行24h以上。现场除正常照明外 应配备三相380V 单相220V和低压行灯电源,11.5、3,任何用于大设备的提升 牵引或定位的专用设备在进入洁净室安装现场前.应彻底清洁,并应检查有无脱屑。剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料、11.5 4 设备安装时应妥善保护墙壁与地面.设备的软胶轮应予包裹,避免在地面拖磨、开洞作业不应划伤或污染所在表面 设备安装位置穿越不同洁净级别区域时 穿越处缝隙应用柔性材料填充.密封，并应装饰处理,11、5.5.设备安装时宜在设备周围设临时隔离墙.设备周围应留出足够的安装空间，隔离区内应阻断正压送风,进入隔离区的人员应按进入洁净区要求 11 5,6,除设计有明确要求外,设备的安装宜不作永久性固定 不采用地脚螺栓方式 宜安装成可移动性的半固定式。11，5，7 无脚轮的设备安装就位时.应有承重部位地面的保护措施、11,5、8、设备离墙距离应能满足维修和清扫要求 当靠墙安装时。与墙间的缝隙应密封，11，5,9，设备底面应抬离地面80mm、150mm 不能抬高这一距离时、应落地安装。与地面间的缝隙应密封、11、5。10，水池 水槽等用水设备与围护结构接触的边沿部位的缝隙应密封,11、5、11.设备配管配线所用各种管线原料和垫料,填料等辅料应对产品和环境无不良影响。应避免在洁净环境中进行材料加工、当不可避免时，应采取防止粉尘扩散措施,11 5。12.当设备较高无法擦拭到顶部时，应采取可以清扫的措施,11，5、13，应在设备找正。调平后进行设备二次配管 配线.