11。5，工艺设备安装11 5、1.工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能、11。5 2。工艺设备安装时 现场的净化空调系统应已连续运行24h以上,现场除正常照明外.应配备三相380V,单相220V和低压行灯电源，11 5，3,任何用于大设备的提升 牵引或定位的专用设备在进入洁净室安装现场前。应彻底清洁、并应检查有无脱屑、剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料 11.5，4、设备安装时应妥善保护墙壁与地面、设备的软胶轮应予包裹、避免在地面拖磨、开洞作业不应划伤或污染所在表面，设备安装位置穿越不同洁净级别区域时、穿越处缝隙应用柔性材料填充 密封.并应装饰处理、11,5。5.设备安装时宜在设备周围设临时隔离墙。设备周围应留出足够的安装空间。隔离区内应阻断正压送风 进入隔离区的人员应按进入洁净区要求.11。5，6.除设计有明确要求外.设备的安装宜不作永久性固定、不采用地脚螺栓方式 宜安装成可移动性的半固定式,11、5、7 无脚轮的设备安装就位时,应有承重部位地面的保护措施、11、5 8,设备离墙距离应能满足维修和清扫要求，当靠墙安装时、与墙间的缝隙应密封.11,5、9 设备底面应抬离地面80mm.150mm.不能抬高这一距离时.应落地安装 与地面间的缝隙应密封.11 5,10,水池，水槽等用水设备与围护结构接触的边沿部位的缝隙应密封。11 5 11.设备配管配线所用各种管线原料和垫料，填料等辅料应对产品和环境无不良影响，应避免在洁净环境中进行材料加工。当不可避免时,应采取防止粉尘扩散措施、11、5、12,当设备较高无法擦拭到顶部时 应采取可以清扫的措施.11.5。13、应在设备找正 调平后进行设备二次配管,配线