11 5，工艺设备安装11，5，1、工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能、11。5.2。工艺设备安装时，现场的净化空调系统应已连续运行24h以上，现场除正常照明外,应配备三相380V.单相220V和低压行灯电源，11,5、3.任何用于大设备的提升，牵引或定位的专用设备在进入洁净室安装现场前，应彻底清洁.并应检查有无脱屑.剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料,11 5,4.设备安装时应妥善保护墙壁与地面 设备的软胶轮应予包裹。避免在地面拖磨。开洞作业不应划伤或污染所在表面.设备安装位置穿越不同洁净级别区域时，穿越处缝隙应用柔性材料填充.密封,并应装饰处理 11,5,5 设备安装时宜在设备周围设临时隔离墙，设备周围应留出足够的安装空间、隔离区内应阻断正压送风 进入隔离区的人员应按进入洁净区要求。11,5,6，除设计有明确要求外，设备的安装宜不作永久性固定 不采用地脚螺栓方式 宜安装成可移动性的半固定式、11，5.7 无脚轮的设备安装就位时、应有承重部位地面的保护措施，11、5、8、设备离墙距离应能满足维修和清扫要求、当靠墙安装时.与墙间的缝隙应密封。11、5 9，设备底面应抬离地面80mm,150mm,不能抬高这一距离时 应落地安装、与地面间的缝隙应密封。11,5.10，水池。水槽等用水设备与围护结构接触的边沿部位的缝隙应密封，11 5.11,设备配管配线所用各种管线原料和垫料.填料等辅料应对产品和环境无不良影响.应避免在洁净环境中进行材料加工.当不可避免时，应采取防止粉尘扩散措施,11、5,12、当设备较高无法擦拭到顶部时.应采取可以清扫的措施、11.5,13，应在设备找正。调平后进行设备二次配管。配线。