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G,3。恒。压、法G 3,1,测试系统如图G、3、1所示,G、3、2 可按以下步骤进行检测。1,将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定。记录测试过程中室内温度的变化。温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0,1 2,关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等.关闭回风管。或排风管.上的阀门、如果风管上无阀或阀不严,应在回风口.或排风口 上用塑料膜加肓板的方法封住风口,3。开启送风,使室内压力上升至500Pa。停止送风 关闭送风阀门 通过围护结构上的孔洞和导管,由送风机或空气压缩机向室内补气。通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量.以维持洁净室内的压力稳定不下降,每隔1min记录一次补气管路上浮子流量计读数 此数即为漏气量,测试持续的时间宜不超过5min,取平均值,4,反之关闭送风阀。开启排风 当室内压力下降至 500Pa时关闭排风,开启真空泵保持室内压力.记录真空泵抽气量 此数即漏泄量,5.测试结束后慢慢打开风阀,使房间压力恢复到正常状态,6,如果需要进行重复测试,20min后进行、7,当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵.G 3,3.检测报告应包括以下内容.1.检测条件.包括室内温度等,2.检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度、室内温度的动态变化,漏泄量的动态变化 3,检测结果包括所测洁净室5min内的每小时漏泄率、所测洁净室围护结构严密性的评价
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