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G。3,恒,压。法G。3,1,测试系统如图G、3,1所示.G、3。2。可按以下步骤进行检测,1。将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定,记录测试过程中室内温度的变化.温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0 1 2。关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等、关闭回风管 或排风管、上的阀门,如果风管上无阀或阀不严,应在回风口,或排风口,上用塑料膜加肓板的方法封住风口,3。开启送风.使室内压力上升至500Pa、停止送风.关闭送风阀门,通过围护结构上的孔洞和导管,由送风机或空气压缩机向室内补气 通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量。以维持洁净室内的压力稳定不下降 每隔1min记录一次补气管路上浮子流量计读数、此数即为漏气量 测试持续的时间宜不超过5min.取平均值.4、反之关闭送风阀.开启排风 当室内压力下降至,500Pa时关闭排风,开启真空泵保持室内压力 记录真空泵抽气量,此数即漏泄量,5 测试结束后慢慢打开风阀。使房间压力恢复到正常状态、6.如果需要进行重复测试,20min后进行,7。当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵,G,3。3.检测报告应包括以下内容 1。检测条件、包括室内温度等,2,检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度、室内温度的动态变化 漏泄量的动态变化,3,检测结果包括所测洁净室5min内的每小时漏泄率、所测洁净室围护结构严密性的评价.
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