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G,3,恒.压,法G。3,1.测试系统如图G,3 1所示,G、3.2,可按以下步骤进行检测.1、将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定,记录测试过程中室内温度的变化、温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0.1、2,关闭所测洁净室围护结构上的门,传递窗等,关闭回风管,或排风管、上的阀门.如果风管上无阀或阀不严。应在回风口,或排风口.上用塑料膜加肓板的方法封住风口.3。开启送风.使室内压力上升至500Pa,停止送风 关闭送风阀门、通过围护结构上的孔洞和导管,由送风机或空气压缩机向室内补气.通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量、以维持洁净室内的压力稳定不下降,每隔1min记录一次补气管路上浮子流量计读数。此数即为漏气量 测试持续的时间宜不超过5min 取平均值 4、反之关闭送风阀.开启排风.当室内压力下降至.500Pa时关闭排风.开启真空泵保持室内压力,记录真空泵抽气量.此数即漏泄量 5,测试结束后慢慢打开风阀、使房间压力恢复到正常状态 6,如果需要进行重复测试,20min后进行。7,当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵、G.3,3,检测报告应包括以下内容 1、检测条件、包括室内温度等,2.检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度.室内温度的动态变化.漏泄量的动态变化.3,检测结果包括所测洁净室5min内的每小时漏泄率、所测洁净室围护结构严密性的评价。
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