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G 3。恒,压.法G 3,1.测试系统如图G。3,1所示 G,3、2.可按以下步骤进行检测.1、将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定,记录测试过程中室内温度的变化。温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0,1,2,关闭所测洁净室围护结构上的门,传递窗等,关闭回风管 或排风管,上的阀门,如果风管上无阀或阀不严。应在回风口.或排风口、上用塑料膜加肓板的方法封住风口。3,开启送风,使室内压力上升至500Pa、停止送风。关闭送风阀门.通过围护结构上的孔洞和导管。由送风机或空气压缩机向室内补气。通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量.以维持洁净室内的压力稳定不下降 每隔1min记录一次补气管路上浮子流量计读数.此数即为漏气量、测试持续的时间宜不超过5min.取平均值,4.反之关闭送风阀 开启排风,当室内压力下降至,500Pa时关闭排风,开启真空泵保持室内压力、记录真空泵抽气量 此数即漏泄量,5,测试结束后慢慢打开风阀。使房间压力恢复到正常状态。6 如果需要进行重复测试,20min后进行 7。当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵 G。3、3 检测报告应包括以下内容 1 检测条件 包括室内温度等,2、检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度,室内温度的动态变化 漏泄量的动态变化。3,检测结果包括所测洁净室5min内的每小时漏泄率、所测洁净室围护结构严密性的评价,

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