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G。3,恒,压,法G 3,1。测试系统如图G 3 1所示,G、3,2、可按以下步骤进行检测、1.将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定。记录测试过程中室内温度的变化.温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0,1.2,关闭所测洁净室围护结构上的门,传递窗等 关闭回风管,或排风管,上的阀门 如果风管上无阀或阀不严 应在回风口.或排风口,上用塑料膜加肓板的方法封住风口,3、开启送风、使室内压力上升至500Pa。停止送风.关闭送风阀门 通过围护结构上的孔洞和导管。由送风机或空气压缩机向室内补气.通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量 以维持洁净室内的压力稳定不下降 每隔1min记录一次补气管路上浮子流量计读数,此数即为漏气量。测试持续的时间宜不超过5min。取平均值,4,反之关闭送风阀、开启排风、当室内压力下降至 500Pa时关闭排风,开启真空泵保持室内压力.记录真空泵抽气量、此数即漏泄量.5 测试结束后慢慢打开风阀、使房间压力恢复到正常状态、6.如果需要进行重复测试 20min后进行。7 当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵 G,3,3 检测报告应包括以下内容。1,检测条件,包括室内温度等。2,检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度 室内温度的动态变化 漏泄量的动态变化,3,检测结果包括所测洁净室5min内的每小时漏泄率。所测洁净室围护结构严密性的评价.
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