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G、3,恒、压,法G 3.1,测试系统如图G,3 1所示。G、3.2、可按以下步骤进行检测,1。将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定,记录测试过程中室内温度的变化,温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0 1 2 关闭所测洁净室围护结构上的门 传递窗等、关闭回风管,或排风管。上的阀门,如果风管上无阀或阀不严.应在回风口,或排风口 上用塑料膜加肓板的方法封住风口.3,开启送风.使室内压力上升至500Pa,停止送风、关闭送风阀门.通过围护结构上的孔洞和导管.由送风机或空气压缩机向室内补气.通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量,以维持洁净室内的压力稳定不下降、每隔1min记录一次补气管路上浮子流量计读数.此数即为漏气量,测试持续的时间宜不超过5min,取平均值.4。反之关闭送风阀.开启排风。当室内压力下降至 500Pa时关闭排风.开启真空泵保持室内压力。记录真空泵抽气量.此数即漏泄量。5,测试结束后慢慢打开风阀 使房间压力恢复到正常状态,6,如果需要进行重复测试、20min后进行 7,当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵.G 3。3。检测报告应包括以下内容。1 检测条件,包括室内温度等.2。检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度、室内温度的动态变化。漏泄量的动态变化、3.检测结果包括所测洁净室5min内的每小时漏泄率,所测洁净室围护结构严密性的评价、
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