G、3.恒、压,法G 3 1,测试系统如图G,3 1所示。G。3,2、可按以下步骤进行检测.1。将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定.记录测试过程中室内温度的变化.温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0 1。2、关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等、关闭回风管 或排风管 上的阀门,如果风管上无阀或阀不严,应在回风口.或排风口,上用塑料膜加肓板的方法封住风口。3,开启送风、使室内压力上升至500Pa.停止送风 关闭送风阀门.通过围护结构上的孔洞和导管,由送风机或空气压缩机向室内补气、通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量 以维持洁净室内的压力稳定不下降 每隔1min记录一次补气管路上浮子流量计读数、此数即为漏气量.测试持续的时间宜不超过5min.取平均值 4.反之关闭送风阀,开启排风 当室内压力下降至.500Pa时关闭排风.开启真空泵保持室内压力,记录真空泵抽气量,此数即漏泄量。5、测试结束后慢慢打开风阀,使房间压力恢复到正常状态。6,如果需要进行重复测试,20min后进行 7、当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵 G,3.3,检测报告应包括以下内容。1 检测条件、包括室内温度等,2、检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度。室内温度的动态变化。漏泄量的动态变化,3,检测结果包括所测洁净室5min内的每小时漏泄率.所测洁净室围护结构严密性的评价、