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G 3、恒 压.法G。3。1.测试系统如图G,3。1所示 G,3。2、可按以下步骤进行检测 1。将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定。记录测试过程中室内温度的变化 温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0。1 2 关闭所测洁净室围护结构上的门,传递窗等。关闭回风管 或排风管.上的阀门.如果风管上无阀或阀不严,应在回风口,或排风口 上用塑料膜加肓板的方法封住风口,3,开启送风。使室内压力上升至500Pa 停止送风.关闭送风阀门、通过围护结构上的孔洞和导管、由送风机或空气压缩机向室内补气.通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量 以维持洁净室内的压力稳定不下降.每隔1min记录一次补气管路上浮子流量计读数。此数即为漏气量 测试持续的时间宜不超过5min,取平均值,4。反之关闭送风阀 开启排风、当室内压力下降至,500Pa时关闭排风。开启真空泵保持室内压力,记录真空泵抽气量 此数即漏泄量 5.测试结束后慢慢打开风阀、使房间压力恢复到正常状态。6,如果需要进行重复测试,20min后进行.7 当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵,G,3 3 检测报告应包括以下内容.1,检测条件。包括室内温度等.2.检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度.室内温度的动态变化,漏泄量的动态变化,3、检测结果包括所测洁净室5min内的每小时漏泄率,所测洁净室围护结构严密性的评价,
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