G、3、恒 压、法G、3 1 测试系统如图G。3。1所示 G,3.2,可按以下步骤进行检测。1,将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定 记录测试过程中室内温度的变化。温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0、1。2.关闭所测洁净室围护结构上的门.传递窗等。关闭回风管、或排风管。上的阀门 如果风管上无阀或阀不严。应在回风口,或排风口 上用塑料膜加肓板的方法封住风口、3 开启送风,使室内压力上升至500Pa,停止送风.关闭送风阀门、通过围护结构上的孔洞和导管、由送风机或空气压缩机向室内补气,通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量、以维持洁净室内的压力稳定不下降,每隔1min记录一次补气管路上浮子流量计读数。此数即为漏气量,测试持续的时间宜不超过5min,取平均值.4,反之关闭送风阀.开启排风 当室内压力下降至 500Pa时关闭排风,开启真空泵保持室内压力,记录真空泵抽气量 此数即漏泄量,5,测试结束后慢慢打开风阀、使房间压力恢复到正常状态 6.如果需要进行重复测试,20min后进行.7 当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵.G 3.3.检测报告应包括以下内容 1.检测条件,包括室内温度等 2。检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度,室内温度的动态变化。漏泄量的动态变化,3,检测结果包括所测洁净室5min内的每小时漏泄率,所测洁净室围护结构严密性的评价、