G 3.恒，压.法G.3,1,测试系统如图G.3.1所示。G.3。2 可按以下步骤进行检测。1、将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定,记录测试过程中室内温度的变化 温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0、1,2、关闭所测洁净室围护结构上的门.传递窗等。关闭回风管、或排风管.上的阀门，如果风管上无阀或阀不严、应在回风口，或排风口。上用塑料膜加肓板的方法封住风口、3.开启送风,使室内压力上升至500Pa 停止送风 关闭送风阀门.通过围护结构上的孔洞和导管、由送风机或空气压缩机向室内补气，通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量。以维持洁净室内的压力稳定不下降。每隔1min记录一次补气管路上浮子流量计读数,此数即为漏气量,测试持续的时间宜不超过5min.取平均值，4,反之关闭送风阀,开启排风、当室内压力下降至、500Pa时关闭排风 开启真空泵保持室内压力。记录真空泵抽气量、此数即漏泄量。5、测试结束后慢慢打开风阀 使房间压力恢复到正常状态.6.如果需要进行重复测试 20min后进行、7 当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵 G,3 3.检测报告应包括以下内容 1、检测条件,包括室内温度等,2、检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度。室内温度的动态变化。漏泄量的动态变化.3，检测结果包括所测洁净室5min内的每小时漏泄率、所测洁净室围护结构严密性的评价.