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G.3 恒,压,法G,3 1、测试系统如图G,3,1所示,G,3、2。可按以下步骤进行检测 1,将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定 记录测试过程中室内温度的变化,温度计或温度传感器的最小示值不宜大于0 1.2 关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等,关闭回风管,或排风管,上的阀门 如果风管上无阀或阀不严,应在回风口,或排风口,上用塑料膜加肓板的方法封住风口、3。开启送风,使室内压力上升至500Pa,停止送风.关闭送风阀门,通过围护结构上的孔洞和导管。由送风机或空气压缩机向室内补气,通过调节安装在导管上的调节阀调整补气流量、以维持洁净室内的压力稳定不下降,每隔1min记录一次补气管路上浮子流量计读数.此数即为漏气量。测试持续的时间宜不超过5min.取平均值。4.反之关闭送风阀.开启排风,当室内压力下降至.500Pa时关闭排风,开启真空泵保持室内压力,记录真空泵抽气量,此数即漏泄量 5 测试结束后慢慢打开风阀、使房间压力恢复到正常状态。6,如果需要进行重复测试、20min后进行,7、当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵。G.3,3、检测报告应包括以下内容,1.检测条件、包括室内温度等.2,检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度。室内温度的动态变化、漏泄量的动态变化.3、检测结果包括所测洁净室5min内的每小时漏泄率。所测洁净室围护结构严密性的评价
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