E.4，微粒计数浓度的检测E 4.1。室内检测人员应控制在最低数量,不宜超过2人，面积超过100m2又需快速完成测定任务时 可适当增加人数.人员必须穿洁净服.应位于测点下风侧并远离测点 动作要轻,保持静止。E、4。2。0,1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求.1，当采用光学粒子计数器，OPC 测定0.1μm至5m的微粒计数浓度时，应按本规范第16、4，5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别，粒子计数器粒径分辨率应小于等于10、粒径设定值的浓度允许误差应为,20，并应按所测粒径进行标定,符合现行国家标准、尘埃粒子计数器性能试验方法,GB T6167的规定。2，测点数可按式，E.4.2,1 求出.3.每一受控环境的采样点不宜少于3点.对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室，应适当增加采样点。并得到用户、建设方。同意并记录在案，4 采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内 并位于工作区高度。取距地0,8m,或根据工艺协商确定，当工作区分布于不同高度时,可以有1个以上测定面,乱流洁净室,区。内采样点不得布置在送风口正下方,5、如建设方要求增加采样点，应对其数目和位置协商确定。6.每一测点上每次的采样必须满足最小采样量，最小采样量根据、非零检测原则、由下式求出。7 每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值。3次平均值代表该点数值 8.当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时.可增加测点数.9.测单向流时 采样头应对准气流。测非单向流时 采样头一律向上 10，当要求0、1μm,5μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降。碰撞沉积损失小于采样浓度的5,时.水平采样管长度也应符合附录D、3、6条的规定,11，若采样口流速与室内气流速度不相等。其比例应在0，3，1。7，1之间。12，当因测定差错或微粒浓度异常低下。空气极为洁净,造成单个非随机的异常值。并影响计算结果时.允许将该异常值删除，但在原始记录中应注明.每一测定空间只许删除一次测定值，并且保留的测定值不少于3个,13,对于需要很大采样量。耗时很大的某粒径微粒的检测、可采用顺序采样法.即将每次测定结果标注于图E.4.2上、当标注点落入不合格区时。即停止检测,结果为不达标 当标注点落入合格区时，停止检测、结果为达标,当标注点一直在继续区中延伸,而总采样量已达到表E,4、2,2的最小采样量、累计微粒数仍小于20 即停止检测、结果为达标 当标注点一直在继续区中延伸.而总采样量未达到最小采样量，但累计微粒数已超过20,即停止检测。结果为不达标,E.4。3、对小于0。1μm的超微粒的检测,应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用。可采用凝结核计数器、CNC或CPC,加静电式分级器,迁移率分析仪。DMA 凝结核计数器,CNC或CPC.加扩散式分级器、DB，等。但必须有明确的性能说明书。或有自检报告，对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50,采样点数目应与E.4，2条对0,1μm,5μm的要求相同，E.4、4、大于5μm的大、宏。微粒的检测应符合下列要求.1 用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定、1。粒子计数器应经过大微粒的标定，符合现行国家标准,尘埃粒子计数器性能试验方法.GB，T、6167的规定 对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定。应采用不小于28,3L min的计数器,对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2、83L、min的计数器 2,当用28,3L。min计数器时、水平管不应长过0。5m,当用2,83L.min计数器时.原则上不宜有水平管，3,采样口面积应按等速采样原则确定。室内风速取平均风速、2。用过滤器采集.显微镜检测时 应遵守下列规定 1.过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜，当过滤器采样口直径为25mm时。真空泵采样流量不小于7L、min,当过滤器采样口直径为47mm时、采样流量不小于28、3L、min，对于非单向流洁净室，总采样量不小于28、3L.min.对于单向流洁净室,总采放量不小于280L。min、取下滤膜.将滤膜放在清洁的盖玻片上.图E.4，4，采样面向上。放进有50、左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸.对容积为600mL的烧杯.大约加入15mL丙酮 当做过3次样片时.再加入15mL丙酮，待滤膜透明后取出,再将盖玻片反向固定在载物片上,用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开.熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住、2,计数时应把制好的标本片固定在显微镜 100倍，工作台的适合位置上，一张标本片上计数总面积不小于0.02,4mm2,在检测中应不断调整。3，测定之前 必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度、最后的计数浓度由下式得出.