E 4。微粒计数浓度的检测E 4，1,室内检测人员应控制在最低数量，不宜超过2人。面积超过100m2又需快速完成测定任务时。可适当增加人数,人员必须穿洁净服，应位于测点下风侧并远离测点。动作要轻，保持静止、E，4 2,0、1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求，1,当采用光学粒子计数器.OPC,测定0、1μm至5m的微粒计数浓度时 应按本规范第16 4。5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别、粒子计数器粒径分辨率应小于等于10。粒径设定值的浓度允许误差应为。20.并应按所测粒径进行标定.符合现行国家标准.尘埃粒子计数器性能试验方法。GB.T6167的规定、2，测点数可按式,E，4，2,1 求出 3、每一受控环境的采样点不宜少于3点,对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室，应适当增加采样点，并得到用户。建设方、同意并记录在案.4.采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内，并位于工作区高度，取距地0 8m 或根据工艺协商确定，当工作区分布于不同高度时，可以有1个以上测定面。乱流洁净室。区 内采样点不得布置在送风口正下方,5，如建设方要求增加采样点,应对其数目和位置协商确定 6、每一测点上每次的采样必须满足最小采样量，最小采样量根据、非零检测原则,由下式求出 7 每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值,3次平均值代表该点数值 8、当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时。可增加测点数，9。测单向流时.采样头应对准气流，测非单向流时.采样头一律向上.10，当要求0,1μm 5μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降、碰撞沉积损失小于采样浓度的5、时,水平采样管长度也应符合附录D。3.6条的规定。11,若采样口流速与室内气流速度不相等。其比例应在0,3 1，7。1之间.12、当因测定差错或微粒浓度异常低下 空气极为洁净,造成单个非随机的异常值、并影响计算结果时.允许将该异常值删除，但在原始记录中应注明，每一测定空间只许删除一次测定值、并且保留的测定值不少于3个，13.对于需要很大采样量、耗时很大的某粒径微粒的检测,可采用顺序采样法.即将每次测定结果标注于图E.4、2上,当标注点落入不合格区时.即停止检测.结果为不达标.当标注点落入合格区时,停止检测，结果为达标。当标注点一直在继续区中延伸。而总采样量已达到表E.4,2。2的最小采样量、累计微粒数仍小于20、即停止检测、结果为达标 当标注点一直在继续区中延伸,而总采样量未达到最小采样量。但累计微粒数已超过20 即停止检测、结果为不达标.E、4，3、对小于0,1μm的超微粒的检测,应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用、可采用凝结核计数器。CNC或CPC，加静电式分级器,迁移率分析仪，DMA,凝结核计数器 CNC或CPC.加扩散式分级器。DB。等.但必须有明确的性能说明书。或有自检报告 对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50。采样点数目应与E。4，2条对0、1μm，5μm的要求相同.E。4.4.大于5μm的大,宏，微粒的检测应符合下列要求.1.用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定,1 粒子计数器应经过大微粒的标定,符合现行国家标准,尘埃粒子计数器性能试验方法.GB、T.6167的规定，对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定。应采用不小于28。3L min的计数器,对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2。83L,min的计数器。2。当用28，3L.min计数器时，水平管不应长过0、5m。当用2、83L，min计数器时。原则上不宜有水平管 3 采样口面积应按等速采样原则确定。室内风速取平均风速、2，用过滤器采集,显微镜检测时。应遵守下列规定 1，过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜、当过滤器采样口直径为25mm时 真空泵采样流量不小于7L,min.当过滤器采样口直径为47mm时。采样流量不小于28.3L、min.对于非单向流洁净室，总采样量不小于28 3L,min，对于单向流洁净室.总采放量不小于280L。min.取下滤膜 将滤膜放在清洁的盖玻片上。图E,4.4,采样面向上、放进有50。左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸，对容积为600mL的烧杯，大约加入15mL丙酮、当做过3次样片时。再加入15mL丙酮、待滤膜透明后取出.再将盖玻片反向固定在载物片上 用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开,熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住。2,计数时应把制好的标本片固定在显微镜 100倍.工作台的适合位置上，一张标本片上计数总面积不小于0,02。4mm2、在检测中应不断调整。3 测定之前、必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度。最后的计数浓度由下式得出、