E，4 微粒计数浓度的检测E、4，1.室内检测人员应控制在最低数量,不宜超过2人 面积超过100m2又需快速完成测定任务时。可适当增加人数。人员必须穿洁净服 应位于测点下风侧并远离测点.动作要轻,保持静止，E，4 2,0.1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求、1 当采用光学粒子计数器 OPC、测定0,1μm至5m的微粒计数浓度时、应按本规范第16,4,5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别 粒子计数器粒径分辨率应小于等于10，粒径设定值的浓度允许误差应为,20.并应按所测粒径进行标定.符合现行国家标准,尘埃粒子计数器性能试验方法。GB，T6167的规定 2。测点数可按式 E 4。2。1、求出,3.每一受控环境的采样点不宜少于3点.对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室.应适当增加采样点、并得到用户，建设方，同意并记录在案、4。采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内、并位于工作区高度。取距地0.8m。或根据工艺协商确定 当工作区分布于不同高度时.可以有1个以上测定面。乱流洁净室。区.内采样点不得布置在送风口正下方，5、如建设方要求增加采样点、应对其数目和位置协商确定 6、每一测点上每次的采样必须满足最小采样量、最小采样量根据 非零检测原则，由下式求出.7.每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值。3次平均值代表该点数值 8,当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时，可增加测点数.9,测单向流时 采样头应对准气流。测非单向流时.采样头一律向上,10。当要求0.1μm.5μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降、碰撞沉积损失小于采样浓度的5、时、水平采样管长度也应符合附录D，3.6条的规定 11.若采样口流速与室内气流速度不相等，其比例应在0 3、1。7 1之间，12,当因测定差错或微粒浓度异常低下。空气极为洁净、造成单个非随机的异常值 并影响计算结果时、允许将该异常值删除，但在原始记录中应注明、每一测定空间只许删除一次测定值、并且保留的测定值不少于3个.13，对于需要很大采样量、耗时很大的某粒径微粒的检测、可采用顺序采样法 即将每次测定结果标注于图E,4 2上，当标注点落入不合格区时、即停止检测。结果为不达标，当标注点落入合格区时、停止检测。结果为达标 当标注点一直在继续区中延伸,而总采样量已达到表E,4。2。2的最小采样量，累计微粒数仍小于20,即停止检测。结果为达标。当标注点一直在继续区中延伸,而总采样量未达到最小采样量、但累计微粒数已超过20.即停止检测,结果为不达标,E、4，3、对小于0。1μm的超微粒的检测、应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用、可采用凝结核计数器、CNC或CPC。加静电式分级器，迁移率分析仪 DMA.凝结核计数器.CNC或CPC 加扩散式分级器.DB 等。但必须有明确的性能说明书.或有自检报告 对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50,采样点数目应与E。4,2条对0,1μm、5μm的要求相同.E.4,4、大于5μm的大.宏。微粒的检测应符合下列要求。1 用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定。1、粒子计数器应经过大微粒的标定,符合现行国家标准。尘埃粒子计数器性能试验方法 GB T 6167的规定、对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定 应采用不小于28.3L、min的计数器.对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2,83L、min的计数器.2，当用28，3L。min计数器时,水平管不应长过0.5m 当用2，83L min计数器时 原则上不宜有水平管.3、采样口面积应按等速采样原则确定。室内风速取平均风速.2.用过滤器采集,显微镜检测时,应遵守下列规定 1。过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜,当过滤器采样口直径为25mm时。真空泵采样流量不小于7L min 当过滤器采样口直径为47mm时，采样流量不小于28,3L。min.对于非单向流洁净室。总采样量不小于28。3L.min。对于单向流洁净室.总采放量不小于280L.min、取下滤膜 将滤膜放在清洁的盖玻片上.图E。4，4,采样面向上.放进有50,左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸、对容积为600mL的烧杯、大约加入15mL丙酮,当做过3次样片时.再加入15mL丙酮。待滤膜透明后取出、再将盖玻片反向固定在载物片上，用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开,熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住 2，计数时应把制好的标本片固定在显微镜 100倍，工作台的适合位置上,一张标本片上计数总面积不小于0，02、4mm2.在检测中应不断调整,3。测定之前 必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度 最后的计数浓度由下式得出、