E 4,微粒计数浓度的检测E 4.1、室内检测人员应控制在最低数量、不宜超过2人.面积超过100m2又需快速完成测定任务时 可适当增加人数.人员必须穿洁净服，应位于测点下风侧并远离测点、动作要轻、保持静止，E.4，2 0,1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求、1、当采用光学粒子计数器。OPC，测定0.1μm至5m的微粒计数浓度时 应按本规范第16。4,5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别，粒子计数器粒径分辨率应小于等于10，粒径设定值的浓度允许误差应为.20。并应按所测粒径进行标定.符合现行国家标准 尘埃粒子计数器性能试验方法.GB。T6167的规定，2、测点数可按式，E.4,2。1,求出.3,每一受控环境的采样点不宜少于3点。对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室。应适当增加采样点。并得到用户、建设方.同意并记录在案,4、采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内，并位于工作区高度 取距地0 8m 或根据工艺协商确定,当工作区分布于不同高度时 可以有1个以上测定面。乱流洁净室,区、内采样点不得布置在送风口正下方.5。如建设方要求增加采样点。应对其数目和位置协商确定,6、每一测点上每次的采样必须满足最小采样量 最小采样量根据.非零检测原则,由下式求出，7,每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值、3次平均值代表该点数值 8。当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时 可增加测点数，9、测单向流时、采样头应对准气流，测非单向流时，采样头一律向上、10 当要求0，1μm、5μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降，碰撞沉积损失小于采样浓度的5、时、水平采样管长度也应符合附录D.3 6条的规定.11,若采样口流速与室内气流速度不相等，其比例应在0，3，1、7.1之间 12、当因测定差错或微粒浓度异常低下，空气极为洁净。造成单个非随机的异常值。并影响计算结果时、允许将该异常值删除。但在原始记录中应注明。每一测定空间只许删除一次测定值.并且保留的测定值不少于3个。13 对于需要很大采样量,耗时很大的某粒径微粒的检测 可采用顺序采样法.即将每次测定结果标注于图E。4，2上.当标注点落入不合格区时、即停止检测，结果为不达标 当标注点落入合格区时,停止检测.结果为达标 当标注点一直在继续区中延伸，而总采样量已达到表E 4。2.2的最小采样量，累计微粒数仍小于20，即停止检测.结果为达标。当标注点一直在继续区中延伸.而总采样量未达到最小采样量.但累计微粒数已超过20，即停止检测.结果为不达标 E，4,3。对小于0,1μm的超微粒的检测、应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用,可采用凝结核计数器。CNC或CPC,加静电式分级器 迁移率分析仪.DMA、凝结核计数器，CNC或CPC，加扩散式分级器、DB 等.但必须有明确的性能说明书 或有自检报告 对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50.采样点数目应与E，4 2条对0 1μm。5μm的要求相同 E,4、4 大于5μm的大 宏,微粒的检测应符合下列要求，1.用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定.1,粒子计数器应经过大微粒的标定，符合现行国家标准 尘埃粒子计数器性能试验方法，GB.T，6167的规定。对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定,应采用不小于28。3L min的计数器.对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2。83L.min的计数器。2,当用28.3L、min计数器时.水平管不应长过0.5m.当用2、83L,min计数器时 原则上不宜有水平管，3、采样口面积应按等速采样原则确定。室内风速取平均风速 2 用过滤器采集,显微镜检测时。应遵守下列规定,1，过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜,当过滤器采样口直径为25mm时,真空泵采样流量不小于7L，min,当过滤器采样口直径为47mm时、采样流量不小于28.3L,min.对于非单向流洁净室、总采样量不小于28，3L。min,对于单向流洁净室，总采放量不小于280L min。取下滤膜、将滤膜放在清洁的盖玻片上.图E。4。4，采样面向上 放进有50,左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸、对容积为600mL的烧杯 大约加入15mL丙酮，当做过3次样片时.再加入15mL丙酮.待滤膜透明后取出。再将盖玻片反向固定在载物片上，用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开。熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住 2 计数时应把制好的标本片固定在显微镜、100倍,工作台的适合位置上。一张标本片上计数总面积不小于0.02 4mm2,在检测中应不断调整 3,测定之前.必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度 最后的计数浓度由下式得出、