E.4 微粒计数浓度的检测E。4,1、室内检测人员应控制在最低数量 不宜超过2人。面积超过100m2又需快速完成测定任务时、可适当增加人数、人员必须穿洁净服.应位于测点下风侧并远离测点 动作要轻 保持静止.E、4.2，0.1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求,1，当采用光学粒子计数器.OPC。测定0 1μm至5m的微粒计数浓度时,应按本规范第16、4 5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别,粒子计数器粒径分辨率应小于等于10 粒径设定值的浓度允许误差应为。20,并应按所测粒径进行标定.符合现行国家标准,尘埃粒子计数器性能试验方法,GB、T6167的规定、2。测点数可按式.E，4，2、1、求出 3 每一受控环境的采样点不宜少于3点，对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室.应适当增加采样点。并得到用户，建设方.同意并记录在案，4.采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内,并位于工作区高度、取距地0。8m,或根据工艺协商确定,当工作区分布于不同高度时,可以有1个以上测定面、乱流洁净室 区.内采样点不得布置在送风口正下方,5.如建设方要求增加采样点,应对其数目和位置协商确定 6.每一测点上每次的采样必须满足最小采样量。最小采样量根据，非零检测原则 由下式求出。7、每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值，3次平均值代表该点数值,8,当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时,可增加测点数。9、测单向流时.采样头应对准气流。测非单向流时.采样头一律向上，10.当要求0.1μm.5μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降，碰撞沉积损失小于采样浓度的5、时,水平采样管长度也应符合附录D、3、6条的规定 11.若采样口流速与室内气流速度不相等、其比例应在0.3、1、7，1之间,12、当因测定差错或微粒浓度异常低下 空气极为洁净。造成单个非随机的异常值。并影响计算结果时,允许将该异常值删除。但在原始记录中应注明。每一测定空间只许删除一次测定值 并且保留的测定值不少于3个,13.对于需要很大采样量,耗时很大的某粒径微粒的检测、可采用顺序采样法,即将每次测定结果标注于图E，4，2上、当标注点落入不合格区时,即停止检测，结果为不达标,当标注点落入合格区时，停止检测,结果为达标.当标注点一直在继续区中延伸。而总采样量已达到表E.4，2、2的最小采样量 累计微粒数仍小于20.即停止检测,结果为达标 当标注点一直在继续区中延伸。而总采样量未达到最小采样量。但累计微粒数已超过20.即停止检测,结果为不达标 E.4,3，对小于0。1μm的超微粒的检测，应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用，可采用凝结核计数器、CNC或CPC，加静电式分级器。迁移率分析仪 DMA,凝结核计数器、CNC或CPC.加扩散式分级器,DB 等.但必须有明确的性能说明书。或有自检报告、对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50,采样点数目应与E,4。2条对0、1μm.5μm的要求相同、E，4。4.大于5μm的大、宏,微粒的检测应符合下列要求。1、用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定,1 粒子计数器应经过大微粒的标定，符合现行国家标准 尘埃粒子计数器性能试验方法、GB、T,6167的规定、对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定,应采用不小于28，3L,min的计数器 对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2.83L。min的计数器 2。当用28，3L。min计数器时。水平管不应长过0,5m.当用2.83L,min计数器时、原则上不宜有水平管、3，采样口面积应按等速采样原则确定.室内风速取平均风速 2,用过滤器采集、显微镜检测时 应遵守下列规定。1,过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜。当过滤器采样口直径为25mm时 真空泵采样流量不小于7L min。当过滤器采样口直径为47mm时。采样流量不小于28,3L、min,对于非单向流洁净室,总采样量不小于28 3L.min,对于单向流洁净室 总采放量不小于280L,min.取下滤膜.将滤膜放在清洁的盖玻片上 图E。4.4、采样面向上,放进有50。左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸，对容积为600mL的烧杯 大约加入15mL丙酮.当做过3次样片时,再加入15mL丙酮，待滤膜透明后取出。再将盖玻片反向固定在载物片上。用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开.熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住。2.计数时应把制好的标本片固定在显微镜、100倍 工作台的适合位置上，一张标本片上计数总面积不小于0。02,4mm2,在检测中应不断调整,3,测定之前.必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度 最后的计数浓度由下式得出，