E,4、微粒计数浓度的检测E,4,1，室内检测人员应控制在最低数量、不宜超过2人.面积超过100m2又需快速完成测定任务时.可适当增加人数,人员必须穿洁净服、应位于测点下风侧并远离测点、动作要轻。保持静止,E 4。2。0。1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求。1、当采用光学粒子计数器。OPC、测定0。1μm至5m的微粒计数浓度时，应按本规范第16，4。5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别，粒子计数器粒径分辨率应小于等于10、粒径设定值的浓度允许误差应为。20。并应按所测粒径进行标定,符合现行国家标准 尘埃粒子计数器性能试验方法，GB T6167的规定,2，测点数可按式,E,4。2.1,求出.3,每一受控环境的采样点不宜少于3点、对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室 应适当增加采样点，并得到用户.建设方.同意并记录在案、4，采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内。并位于工作区高度、取距地0，8m 或根据工艺协商确定、当工作区分布于不同高度时。可以有1个以上测定面、乱流洁净室。区、内采样点不得布置在送风口正下方、5,如建设方要求增加采样点 应对其数目和位置协商确定。6，每一测点上每次的采样必须满足最小采样量 最小采样量根据、非零检测原则，由下式求出，7,每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值.3次平均值代表该点数值。8,当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时 可增加测点数.9.测单向流时、采样头应对准气流.测非单向流时.采样头一律向上.10,当要求0.1μm、5μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降,碰撞沉积损失小于采样浓度的5 时 水平采样管长度也应符合附录D，3.6条的规定.11,若采样口流速与室内气流速度不相等 其比例应在0.3、1，7，1之间.12。当因测定差错或微粒浓度异常低下。空气极为洁净、造成单个非随机的异常值、并影响计算结果时,允许将该异常值删除,但在原始记录中应注明。每一测定空间只许删除一次测定值.并且保留的测定值不少于3个。13,对于需要很大采样量,耗时很大的某粒径微粒的检测、可采用顺序采样法、即将每次测定结果标注于图E。4 2上.当标注点落入不合格区时。即停止检测、结果为不达标.当标注点落入合格区时,停止检测。结果为达标、当标注点一直在继续区中延伸，而总采样量已达到表E，4.2。2的最小采样量 累计微粒数仍小于20。即停止检测,结果为达标 当标注点一直在继续区中延伸，而总采样量未达到最小采样量、但累计微粒数已超过20，即停止检测,结果为不达标。E，4、3 对小于0，1μm的超微粒的检测,应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用，可采用凝结核计数器。CNC或CPC 加静电式分级器、迁移率分析仪 DMA.凝结核计数器、CNC或CPC。加扩散式分级器。DB。等，但必须有明确的性能说明书 或有自检报告 对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50，采样点数目应与E。4，2条对0 1μm，5μm的要求相同。E、4。4,大于5μm的大，宏。微粒的检测应符合下列要求、1，用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定。1、粒子计数器应经过大微粒的标定 符合现行国家标准.尘埃粒子计数器性能试验方法 GB。T。6167的规定，对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定、应采用不小于28 3L min的计数器.对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2.83L,min的计数器，2.当用28,3L min计数器时，水平管不应长过0.5m、当用2,83L、min计数器时 原则上不宜有水平管，3。采样口面积应按等速采样原则确定、室内风速取平均风速.2 用过滤器采集，显微镜检测时 应遵守下列规定.1,过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜，当过滤器采样口直径为25mm时。真空泵采样流量不小于7L,min。当过滤器采样口直径为47mm时.采样流量不小于28，3L,min.对于非单向流洁净室，总采样量不小于28、3L。min.对于单向流洁净室。总采放量不小于280L min。取下滤膜，将滤膜放在清洁的盖玻片上.图E 4，4、采样面向上,放进有50、左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸。对容积为600mL的烧杯,大约加入15mL丙酮,当做过3次样片时,再加入15mL丙酮.待滤膜透明后取出.再将盖玻片反向固定在载物片上.用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开.熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住。2,计数时应把制好的标本片固定在显微镜，100倍.工作台的适合位置上,一张标本片上计数总面积不小于0、02，4mm2。在检测中应不断调整，3.测定之前。必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度 最后的计数浓度由下式得出，