E 4，微粒计数浓度的检测E.4.1。室内检测人员应控制在最低数量,不宜超过2人.面积超过100m2又需快速完成测定任务时。可适当增加人数。人员必须穿洁净服，应位于测点下风侧并远离测点。动作要轻，保持静止。E,4。2.0,1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求,1.当采用光学粒子计数器,OPC，测定0,1μm至5m的微粒计数浓度时,应按本规范第16、4、5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别、粒子计数器粒径分辨率应小于等于10。粒径设定值的浓度允许误差应为,20。并应按所测粒径进行标定.符合现行国家标准。尘埃粒子计数器性能试验方法、GB.T6167的规定.2、测点数可按式.E,4，2、1.求出。3.每一受控环境的采样点不宜少于3点、对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室。应适当增加采样点。并得到用户。建设方 同意并记录在案,4,采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内。并位于工作区高度，取距地0 8m、或根据工艺协商确定.当工作区分布于不同高度时。可以有1个以上测定面 乱流洁净室，区 内采样点不得布置在送风口正下方、5.如建设方要求增加采样点 应对其数目和位置协商确定.6 每一测点上每次的采样必须满足最小采样量、最小采样量根据,非零检测原则，由下式求出、7.每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值。3次平均值代表该点数值.8，当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时.可增加测点数。9 测单向流时、采样头应对准气流 测非单向流时，采样头一律向上 10.当要求0，1μm 5μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降,碰撞沉积损失小于采样浓度的5,时,水平采样管长度也应符合附录D,3。6条的规定 11,若采样口流速与室内气流速度不相等。其比例应在0 3。1。7、1之间。12、当因测定差错或微粒浓度异常低下、空气极为洁净.造成单个非随机的异常值,并影响计算结果时,允许将该异常值删除、但在原始记录中应注明.每一测定空间只许删除一次测定值。并且保留的测定值不少于3个 13，对于需要很大采样量 耗时很大的某粒径微粒的检测 可采用顺序采样法、即将每次测定结果标注于图E 4 2上，当标注点落入不合格区时.即停止检测.结果为不达标，当标注点落入合格区时。停止检测.结果为达标 当标注点一直在继续区中延伸，而总采样量已达到表E 4.2、2的最小采样量，累计微粒数仍小于20、即停止检测，结果为达标，当标注点一直在继续区中延伸。而总采样量未达到最小采样量,但累计微粒数已超过20 即停止检测 结果为不达标。E 4，3。对小于0、1μm的超微粒的检测、应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用 可采用凝结核计数器.CNC或CPC。加静电式分级器.迁移率分析仪,DMA。凝结核计数器.CNC或CPC,加扩散式分级器,DB 等，但必须有明确的性能说明书、或有自检报告 对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50，采样点数目应与E.4、2条对0。1μm、5μm的要求相同，E，4，4 大于5μm的大 宏，微粒的检测应符合下列要求。1、用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定 1、粒子计数器应经过大微粒的标定.符合现行国家标准 尘埃粒子计数器性能试验方法,GB。T、6167的规定.对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定，应采用不小于28,3L.min的计数器 对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2、83L，min的计数器。2。当用28.3L.min计数器时,水平管不应长过0.5m。当用2，83L，min计数器时，原则上不宜有水平管、3、采样口面积应按等速采样原则确定 室内风速取平均风速。2，用过滤器采集,显微镜检测时、应遵守下列规定、1。过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜，当过滤器采样口直径为25mm时。真空泵采样流量不小于7L、min.当过滤器采样口直径为47mm时。采样流量不小于28、3L,min 对于非单向流洁净室。总采样量不小于28,3L.min。对于单向流洁净室，总采放量不小于280L min 取下滤膜,将滤膜放在清洁的盖玻片上,图E，4，4，采样面向上、放进有50，左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸.对容积为600mL的烧杯，大约加入15mL丙酮,当做过3次样片时。再加入15mL丙酮，待滤膜透明后取出，再将盖玻片反向固定在载物片上.用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开。熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住。2。计数时应把制好的标本片固定在显微镜、100倍.工作台的适合位置上，一张标本片上计数总面积不小于0。02.4mm2、在检测中应不断调整。3、测定之前 必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度.最后的计数浓度由下式得出