E，4 微粒计数浓度的检测E。4、1,室内检测人员应控制在最低数量,不宜超过2人 面积超过100m2又需快速完成测定任务时。可适当增加人数、人员必须穿洁净服,应位于测点下风侧并远离测点、动作要轻 保持静止 E 4,2、0 1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求。1，当采用光学粒子计数器。OPC.测定0,1μm至5m的微粒计数浓度时.应按本规范第16，4、5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别，粒子计数器粒径分辨率应小于等于10、粒径设定值的浓度允许误差应为。20,并应按所测粒径进行标定 符合现行国家标准,尘埃粒子计数器性能试验方法、GB，T6167的规定、2 测点数可按式 E。4,2,1 求出、3,每一受控环境的采样点不宜少于3点,对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室，应适当增加采样点。并得到用户.建设方,同意并记录在案，4、采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内。并位于工作区高度。取距地0.8m，或根据工艺协商确定,当工作区分布于不同高度时。可以有1个以上测定面，乱流洁净室。区、内采样点不得布置在送风口正下方 5.如建设方要求增加采样点。应对其数目和位置协商确定、6。每一测点上每次的采样必须满足最小采样量 最小采样量根据,非零检测原则 由下式求出，7。每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值,3次平均值代表该点数值。8.当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时、可增加测点数。9.测单向流时，采样头应对准气流，测非单向流时 采样头一律向上,10。当要求0。1μm，5μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降，碰撞沉积损失小于采样浓度的5，时 水平采样管长度也应符合附录D、3，6条的规定，11，若采样口流速与室内气流速度不相等.其比例应在0.3.1.7。1之间，12.当因测定差错或微粒浓度异常低下 空气极为洁净 造成单个非随机的异常值。并影响计算结果时，允许将该异常值删除。但在原始记录中应注明,每一测定空间只许删除一次测定值 并且保留的测定值不少于3个。13.对于需要很大采样量.耗时很大的某粒径微粒的检测，可采用顺序采样法，即将每次测定结果标注于图E、4.2上、当标注点落入不合格区时，即停止检测,结果为不达标，当标注点落入合格区时.停止检测,结果为达标 当标注点一直在继续区中延伸，而总采样量已达到表E。4。2.2的最小采样量.累计微粒数仍小于20,即停止检测、结果为达标.当标注点一直在继续区中延伸.而总采样量未达到最小采样量 但累计微粒数已超过20.即停止检测、结果为不达标 E.4.3、对小于0、1μm的超微粒的检测 应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用,可采用凝结核计数器.CNC或CPC,加静电式分级器、迁移率分析仪。DMA。凝结核计数器,CNC或CPC.加扩散式分级器、DB 等,但必须有明确的性能说明书.或有自检报告,对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50.采样点数目应与E。4、2条对0，1μm.5μm的要求相同 E、4、4,大于5μm的大,宏、微粒的检测应符合下列要求 1、用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定、1.粒子计数器应经过大微粒的标定、符合现行国家标准,尘埃粒子计数器性能试验方法,GB.T，6167的规定.对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定.应采用不小于28.3L、min的计数器、对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2,83L min的计数器.2 当用28，3L min计数器时，水平管不应长过0,5m 当用2,83L，min计数器时。原则上不宜有水平管,3,采样口面积应按等速采样原则确定、室内风速取平均风速 2。用过滤器采集 显微镜检测时，应遵守下列规定。1 过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜，当过滤器采样口直径为25mm时，真空泵采样流量不小于7L，min、当过滤器采样口直径为47mm时.采样流量不小于28、3L.min。对于非单向流洁净室.总采样量不小于28 3L.min 对于单向流洁净室、总采放量不小于280L，min,取下滤膜。将滤膜放在清洁的盖玻片上、图E、4。4，采样面向上 放进有50 左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸、对容积为600mL的烧杯。大约加入15mL丙酮.当做过3次样片时 再加入15mL丙酮,待滤膜透明后取出、再将盖玻片反向固定在载物片上，用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开，熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住.2。计数时应把制好的标本片固定在显微镜.100倍 工作台的适合位置上、一张标本片上计数总面积不小于0，02。4mm2。在检测中应不断调整、3,测定之前 必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度 最后的计数浓度由下式得出。