E,4。微粒计数浓度的检测E。4，1、室内检测人员应控制在最低数量,不宜超过2人,面积超过100m2又需快速完成测定任务时,可适当增加人数,人员必须穿洁净服。应位于测点下风侧并远离测点，动作要轻.保持静止，E，4、2,0、1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求.1.当采用光学粒子计数器,OPC 测定0.1μm至5m的微粒计数浓度时。应按本规范第16。4 5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别,粒子计数器粒径分辨率应小于等于10，粒径设定值的浓度允许误差应为。20 并应按所测粒径进行标定，符合现行国家标准 尘埃粒子计数器性能试验方法 GB，T6167的规定、2 测点数可按式，E,4，2 1、求出 3、每一受控环境的采样点不宜少于3点 对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室.应适当增加采样点，并得到用户，建设方,同意并记录在案 4.采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内.并位于工作区高度。取距地0 8m。或根据工艺协商确定,当工作区分布于不同高度时,可以有1个以上测定面.乱流洁净室,区 内采样点不得布置在送风口正下方，5、如建设方要求增加采样点.应对其数目和位置协商确定、6。每一测点上每次的采样必须满足最小采样量、最小采样量根据。非零检测原则，由下式求出,7.每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值.3次平均值代表该点数值。8,当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时，可增加测点数.9 测单向流时,采样头应对准气流。测非单向流时、采样头一律向上.10 当要求0，1μm 5μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降.碰撞沉积损失小于采样浓度的5、时，水平采样管长度也应符合附录D。3 6条的规定、11。若采样口流速与室内气流速度不相等、其比例应在0。3，1。7 1之间,12,当因测定差错或微粒浓度异常低下,空气极为洁净，造成单个非随机的异常值。并影响计算结果时，允许将该异常值删除 但在原始记录中应注明。每一测定空间只许删除一次测定值.并且保留的测定值不少于3个。13。对于需要很大采样量，耗时很大的某粒径微粒的检测、可采用顺序采样法，即将每次测定结果标注于图E。4,2上、当标注点落入不合格区时 即停止检测.结果为不达标,当标注点落入合格区时 停止检测、结果为达标,当标注点一直在继续区中延伸,而总采样量已达到表E、4，2，2的最小采样量.累计微粒数仍小于20、即停止检测 结果为达标。当标注点一直在继续区中延伸 而总采样量未达到最小采样量 但累计微粒数已超过20.即停止检测，结果为不达标 E,4、3，对小于0。1μm的超微粒的检测 应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用,可采用凝结核计数器，CNC或CPC。加静电式分级器.迁移率分析仪 DMA，凝结核计数器.CNC或CPC.加扩散式分级器。DB 等，但必须有明确的性能说明书、或有自检报告,对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50 采样点数目应与E，4,2条对0,1μm.5μm的要求相同、E 4，4，大于5μm的大、宏 微粒的检测应符合下列要求。1.用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定。1 粒子计数器应经过大微粒的标定，符合现行国家标准 尘埃粒子计数器性能试验方法 GB，T，6167的规定。对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定、应采用不小于28。3L、min的计数器，对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2 83L,min的计数器、2,当用28.3L min计数器时 水平管不应长过0,5m、当用2.83L,min计数器时 原则上不宜有水平管 3。采样口面积应按等速采样原则确定、室内风速取平均风速。2.用过滤器采集、显微镜检测时、应遵守下列规定，1。过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜。当过滤器采样口直径为25mm时。真空泵采样流量不小于7L、min,当过滤器采样口直径为47mm时。采样流量不小于28,3L,min，对于非单向流洁净室 总采样量不小于28,3L,min。对于单向流洁净室.总采放量不小于280L、min.取下滤膜,将滤膜放在清洁的盖玻片上。图E 4 4,采样面向上。放进有50 左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸.对容积为600mL的烧杯、大约加入15mL丙酮.当做过3次样片时,再加入15mL丙酮、待滤膜透明后取出.再将盖玻片反向固定在载物片上,用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开.熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住,2.计数时应把制好的标本片固定在显微镜，100倍。工作台的适合位置上.一张标本片上计数总面积不小于0 02,4mm2 在检测中应不断调整。3、测定之前、必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度.最后的计数浓度由下式得出、