E，4 微粒计数浓度的检测E.4、1、室内检测人员应控制在最低数量 不宜超过2人。面积超过100m2又需快速完成测定任务时、可适当增加人数,人员必须穿洁净服、应位于测点下风侧并远离测点.动作要轻 保持静止，E.4，2。0，1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求。1。当采用光学粒子计数器，OPC，测定0 1μm至5m的微粒计数浓度时，应按本规范第16 4 5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别。粒子计数器粒径分辨率应小于等于10、粒径设定值的浓度允许误差应为。20 并应按所测粒径进行标定.符合现行国家标准.尘埃粒子计数器性能试验方法 GB。T6167的规定。2 测点数可按式,E。4，2。1.求出、3。每一受控环境的采样点不宜少于3点 对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室.应适当增加采样点、并得到用户,建设方，同意并记录在案。4.采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内。并位于工作区高度 取距地0 8m、或根据工艺协商确定 当工作区分布于不同高度时，可以有1个以上测定面.乱流洁净室，区、内采样点不得布置在送风口正下方 5，如建设方要求增加采样点,应对其数目和位置协商确定,6 每一测点上每次的采样必须满足最小采样量.最小采样量根据。非零检测原则.由下式求出、7。每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值、3次平均值代表该点数值。8,当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时 可增加测点数,9、测单向流时、采样头应对准气流,测非单向流时 采样头一律向上 10,当要求0、1μm 5μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降，碰撞沉积损失小于采样浓度的5.时.水平采样管长度也应符合附录D.3、6条的规定。11，若采样口流速与室内气流速度不相等、其比例应在0。3、1.7.1之间、12，当因测定差错或微粒浓度异常低下.空气极为洁净，造成单个非随机的异常值，并影响计算结果时，允许将该异常值删除。但在原始记录中应注明。每一测定空间只许删除一次测定值,并且保留的测定值不少于3个.13。对于需要很大采样量,耗时很大的某粒径微粒的检测 可采用顺序采样法 即将每次测定结果标注于图E 4,2上，当标注点落入不合格区时.即停止检测，结果为不达标.当标注点落入合格区时,停止检测.结果为达标、当标注点一直在继续区中延伸，而总采样量已达到表E。4 2.2的最小采样量。累计微粒数仍小于20。即停止检测，结果为达标，当标注点一直在继续区中延伸，而总采样量未达到最小采样量.但累计微粒数已超过20，即停止检测。结果为不达标，E,4、3.对小于0.1μm的超微粒的检测、应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用.可采用凝结核计数器、CNC或CPC 加静电式分级器。迁移率分析仪.DMA.凝结核计数器、CNC或CPC。加扩散式分级器。DB，等、但必须有明确的性能说明书。或有自检报告 对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50.采样点数目应与E。4、2条对0。1μm,5μm的要求相同，E、4 4 大于5μm的大、宏,微粒的检测应符合下列要求、1.用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定.1、粒子计数器应经过大微粒的标定.符合现行国家标准,尘埃粒子计数器性能试验方法.GB,T 6167的规定、对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定.应采用不小于28、3L、min的计数器,对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2、83L，min的计数器、2,当用28,3L,min计数器时、水平管不应长过0。5m.当用2 83L min计数器时、原则上不宜有水平管 3、采样口面积应按等速采样原则确定。室内风速取平均风速、2 用过滤器采集.显微镜检测时,应遵守下列规定、1.过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜,当过滤器采样口直径为25mm时,真空泵采样流量不小于7L,min.当过滤器采样口直径为47mm时,采样流量不小于28 3L、min。对于非单向流洁净室。总采样量不小于28 3L.min 对于单向流洁净室,总采放量不小于280L。min 取下滤膜,将滤膜放在清洁的盖玻片上 图E 4、4，采样面向上.放进有50 左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸、对容积为600mL的烧杯、大约加入15mL丙酮 当做过3次样片时。再加入15mL丙酮、待滤膜透明后取出、再将盖玻片反向固定在载物片上。用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开 熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住,2.计数时应把制好的标本片固定在显微镜 100倍.工作台的适合位置上、一张标本片上计数总面积不小于0，02.4mm2，在检测中应不断调整 3,测定之前,必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度 最后的计数浓度由下式得出，