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E,4、微粒计数浓度的检测E,4、1、室内检测人员应控制在最低数量.不宜超过2人、面积超过100m2又需快速完成测定任务时。可适当增加人数。人员必须穿洁净服。应位于测点下风侧并远离测点。动作要轻、保持静止、E 4、2、0,1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求,1.当采用光学粒子计数器,OPC、测定0,1μm至5m的微粒计数浓度时 应按本规范第16、4。5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别,粒子计数器粒径分辨率应小于等于10 粒径设定值的浓度允许误差应为,20.并应按所测粒径进行标定、符合现行国家标准、尘埃粒子计数器性能试验方法,GB、T6167的规定。2,测点数可按式,E,4。2.1,求出。3,每一受控环境的采样点不宜少于3点,对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室。应适当增加采样点。并得到用户,建设方.同意并记录在案,4、采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内。并位于工作区高度 取距地0。8m 或根据工艺协商确定,当工作区分布于不同高度时,可以有1个以上测定面 乱流洁净室、区.内采样点不得布置在送风口正下方,5,如建设方要求增加采样点、应对其数目和位置协商确定,6.每一测点上每次的采样必须满足最小采样量,最小采样量根据.非零检测原则 由下式求出,7.每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值 3次平均值代表该点数值.8、当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时,可增加测点数、9.测单向流时,采样头应对准气流.测非单向流时 采样头一律向上、10.当要求0 1μm、5μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降 碰撞沉积损失小于采样浓度的5.时,水平采样管长度也应符合附录D、3.6条的规定,11.若采样口流速与室内气流速度不相等。其比例应在0,3。1,7、1之间。12,当因测定差错或微粒浓度异常低下 空气极为洁净,造成单个非随机的异常值.并影响计算结果时、允许将该异常值删除。但在原始记录中应注明。每一测定空间只许删除一次测定值 并且保留的测定值不少于3个。13,对于需要很大采样量,耗时很大的某粒径微粒的检测、可采用顺序采样法.即将每次测定结果标注于图E,4 2上,当标注点落入不合格区时 即停止检测,结果为不达标,当标注点落入合格区时.停止检测.结果为达标、当标注点一直在继续区中延伸、而总采样量已达到表E。4、2 2的最小采样量.累计微粒数仍小于20,即停止检测,结果为达标、当标注点一直在继续区中延伸,而总采样量未达到最小采样量。但累计微粒数已超过20。即停止检测,结果为不达标,E。4,3。对小于0,1μm的超微粒的检测。应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用.可采用凝结核计数器 CNC或CPC、加静电式分级器.迁移率分析仪 DMA 凝结核计数器 CNC或CPC 加扩散式分级器.DB、等。但必须有明确的性能说明书。或有自检报告,对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50。采样点数目应与E、4.2条对0,1μm。5μm的要求相同 E、4、4、大于5μm的大,宏,微粒的检测应符合下列要求、1。用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定.1,粒子计数器应经过大微粒的标定。符合现行国家标准、尘埃粒子计数器性能试验方法。GB.T,6167的规定、对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定 应采用不小于28、3L,min的计数器。对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2,83L、min的计数器 2.当用28、3L、min计数器时.水平管不应长过0。5m 当用2 83L、min计数器时.原则上不宜有水平管,3 采样口面积应按等速采样原则确定,室内风速取平均风速,2.用过滤器采集 显微镜检测时,应遵守下列规定。1、过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜.当过滤器采样口直径为25mm时,真空泵采样流量不小于7L min、当过滤器采样口直径为47mm时 采样流量不小于28,3L.min,对于非单向流洁净室.总采样量不小于28。3L min,对于单向流洁净室 总采放量不小于280L、min。取下滤膜、将滤膜放在清洁的盖玻片上,图E 4、4 采样面向上.放进有50,左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸.对容积为600mL的烧杯。大约加入15mL丙酮、当做过3次样片时、再加入15mL丙酮,待滤膜透明后取出。再将盖玻片反向固定在载物片上、用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开。熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住,2,计数时应把制好的标本片固定在显微镜 100倍,工作台的适合位置上、一张标本片上计数总面积不小于0,02,4mm2 在检测中应不断调整 3。测定之前 必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度,最后的计数浓度由下式得出。
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