E。4 微粒计数浓度的检测E,4 1。室内检测人员应控制在最低数量.不宜超过2人.面积超过100m2又需快速完成测定任务时 可适当增加人数,人员必须穿洁净服、应位于测点下风侧并远离测点 动作要轻，保持静止 E、4 2、0，1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求,1、当采用光学粒子计数器.OPC 测定0.1μm至5m的微粒计数浓度时 应按本规范第16.4 5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别,粒子计数器粒径分辨率应小于等于10.粒径设定值的浓度允许误差应为 20 并应按所测粒径进行标定.符合现行国家标准。尘埃粒子计数器性能试验方法,GB.T6167的规定.2、测点数可按式 E、4、2，1,求出 3 每一受控环境的采样点不宜少于3点.对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室 应适当增加采样点.并得到用户.建设方.同意并记录在案。4.采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内，并位于工作区高度.取距地0.8m。或根据工艺协商确定 当工作区分布于不同高度时。可以有1个以上测定面、乱流洁净室,区.内采样点不得布置在送风口正下方 5,如建设方要求增加采样点 应对其数目和位置协商确定、6 每一测点上每次的采样必须满足最小采样量.最小采样量根据，非零检测原则、由下式求出 7。每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值,3次平均值代表该点数值 8 当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时.可增加测点数、9.测单向流时、采样头应对准气流,测非单向流时,采样头一律向上 10 当要求0。1μm.5μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降，碰撞沉积损失小于采样浓度的5，时.水平采样管长度也应符合附录D 3、6条的规定、11.若采样口流速与室内气流速度不相等，其比例应在0 3 1,7 1之间。12,当因测定差错或微粒浓度异常低下。空气极为洁净 造成单个非随机的异常值,并影响计算结果时，允许将该异常值删除 但在原始记录中应注明、每一测定空间只许删除一次测定值。并且保留的测定值不少于3个。13.对于需要很大采样量，耗时很大的某粒径微粒的检测,可采用顺序采样法、即将每次测定结果标注于图E、4,2上。当标注点落入不合格区时.即停止检测,结果为不达标、当标注点落入合格区时.停止检测，结果为达标.当标注点一直在继续区中延伸，而总采样量已达到表E，4.2、2的最小采样量 累计微粒数仍小于20。即停止检测 结果为达标,当标注点一直在继续区中延伸,而总采样量未达到最小采样量 但累计微粒数已超过20.即停止检测.结果为不达标，E.4,3,对小于0，1μm的超微粒的检测 应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用.可采用凝结核计数器，CNC或CPC,加静电式分级器、迁移率分析仪。DMA、凝结核计数器 CNC或CPC,加扩散式分级器，DB。等，但必须有明确的性能说明书、或有自检报告，对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50。采样点数目应与E、4.2条对0 1μm.5μm的要求相同，E、4 4，大于5μm的大。宏,微粒的检测应符合下列要求，1.用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定.1。粒子计数器应经过大微粒的标定。符合现行国家标准.尘埃粒子计数器性能试验方法,GB.T.6167的规定、对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定 应采用不小于28,3L.min的计数器.对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2,83L、min的计数器 2 当用28、3L、min计数器时、水平管不应长过0。5m.当用2。83L、min计数器时 原则上不宜有水平管、3，采样口面积应按等速采样原则确定.室内风速取平均风速、2,用过滤器采集,显微镜检测时,应遵守下列规定 1，过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜、当过滤器采样口直径为25mm时。真空泵采样流量不小于7L、min、当过滤器采样口直径为47mm时 采样流量不小于28,3L、min。对于非单向流洁净室.总采样量不小于28。3L、min 对于单向流洁净室，总采放量不小于280L.min、取下滤膜 将滤膜放在清洁的盖玻片上 图E、4.4，采样面向上,放进有50,左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸。对容积为600mL的烧杯，大约加入15mL丙酮，当做过3次样片时 再加入15mL丙酮、待滤膜透明后取出,再将盖玻片反向固定在载物片上、用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开.熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住 2 计数时应把制好的标本片固定在显微镜.100倍,工作台的适合位置上，一张标本片上计数总面积不小于0，02,4mm2。在检测中应不断调整 3.测定之前,必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度,最后的计数浓度由下式得出