E,4,微粒计数浓度的检测E,4。1，室内检测人员应控制在最低数量 不宜超过2人,面积超过100m2又需快速完成测定任务时 可适当增加人数，人员必须穿洁净服.应位于测点下风侧并远离测点。动作要轻、保持静止。E.4.2、0 1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求。1。当采用光学粒子计数器，OPC,测定0、1μm至5m的微粒计数浓度时。应按本规范第16，4,5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别 粒子计数器粒径分辨率应小于等于10。粒径设定值的浓度允许误差应为、20.并应按所测粒径进行标定.符合现行国家标准、尘埃粒子计数器性能试验方法。GB,T6167的规定.2、测点数可按式，E,4、2,1,求出，3。每一受控环境的采样点不宜少于3点.对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室，应适当增加采样点,并得到用户 建设方.同意并记录在案，4，采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内.并位于工作区高度 取距地0 8m。或根据工艺协商确定，当工作区分布于不同高度时 可以有1个以上测定面，乱流洁净室、区.内采样点不得布置在送风口正下方。5.如建设方要求增加采样点.应对其数目和位置协商确定。6，每一测点上每次的采样必须满足最小采样量 最小采样量根据、非零检测原则,由下式求出.7、每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值、3次平均值代表该点数值。8.当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时。可增加测点数。9。测单向流时 采样头应对准气流 测非单向流时,采样头一律向上、10，当要求0,1μm。5μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降 碰撞沉积损失小于采样浓度的5，时 水平采样管长度也应符合附录D.3、6条的规定,11、若采样口流速与室内气流速度不相等.其比例应在0，3.1.7，1之间，12，当因测定差错或微粒浓度异常低下。空气极为洁净、造成单个非随机的异常值、并影响计算结果时、允许将该异常值删除,但在原始记录中应注明。每一测定空间只许删除一次测定值、并且保留的测定值不少于3个.13,对于需要很大采样量,耗时很大的某粒径微粒的检测、可采用顺序采样法、即将每次测定结果标注于图E 4，2上 当标注点落入不合格区时。即停止检测 结果为不达标。当标注点落入合格区时,停止检测。结果为达标.当标注点一直在继续区中延伸、而总采样量已达到表E，4。2,2的最小采样量 累计微粒数仍小于20 即停止检测。结果为达标。当标注点一直在继续区中延伸.而总采样量未达到最小采样量 但累计微粒数已超过20、即停止检测、结果为不达标、E、4,3，对小于0,1μm的超微粒的检测。应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用 可采用凝结核计数器，CNC或CPC，加静电式分级器，迁移率分析仪 DMA 凝结核计数器 CNC或CPC,加扩散式分级器，DB.等。但必须有明确的性能说明书.或有自检报告，对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50，采样点数目应与E,4 2条对0，1μm，5μm的要求相同，E.4,4，大于5μm的大.宏。微粒的检测应符合下列要求，1,用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定 1,粒子计数器应经过大微粒的标定。符合现行国家标准、尘埃粒子计数器性能试验方法 GB、T、6167的规定 对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定。应采用不小于28 3L。min的计数器，对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2.83L。min的计数器,2 当用28，3L.min计数器时,水平管不应长过0 5m，当用2，83L.min计数器时 原则上不宜有水平管。3、采样口面积应按等速采样原则确定 室内风速取平均风速.2。用过滤器采集，显微镜检测时 应遵守下列规定,1 过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜、当过滤器采样口直径为25mm时,真空泵采样流量不小于7L min、当过滤器采样口直径为47mm时、采样流量不小于28、3L，min 对于非单向流洁净室.总采样量不小于28。3L。min.对于单向流洁净室,总采放量不小于280L min,取下滤膜，将滤膜放在清洁的盖玻片上,图E 4 4。采样面向上，放进有50、左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸.对容积为600mL的烧杯，大约加入15mL丙酮，当做过3次样片时，再加入15mL丙酮,待滤膜透明后取出、再将盖玻片反向固定在载物片上。用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开.熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住、2 计数时应把制好的标本片固定在显微镜。100倍.工作台的适合位置上、一张标本片上计数总面积不小于0。02,4mm2。在检测中应不断调整、3 测定之前.必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度,最后的计数浓度由下式得出