E、4 微粒计数浓度的检测E、4 1。室内检测人员应控制在最低数量.不宜超过2人,面积超过100m2又需快速完成测定任务时.可适当增加人数.人员必须穿洁净服、应位于测点下风侧并远离测点、动作要轻、保持静止、E。4,2,0,1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求,1,当采用光学粒子计数器 OPC、测定0.1μm至5m的微粒计数浓度时,应按本规范第16,4.5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别,粒子计数器粒径分辨率应小于等于10 粒径设定值的浓度允许误差应为。20 并应按所测粒径进行标定。符合现行国家标准.尘埃粒子计数器性能试验方法.GB,T6167的规定、2,测点数可按式 E,4、2,1、求出 3 每一受控环境的采样点不宜少于3点、对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室、应适当增加采样点、并得到用户。建设方 同意并记录在案,4,采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内,并位于工作区高度,取距地0、8m。或根据工艺协商确定,当工作区分布于不同高度时、可以有1个以上测定面。乱流洁净室、区、内采样点不得布置在送风口正下方。5、如建设方要求增加采样点.应对其数目和位置协商确定,6、每一测点上每次的采样必须满足最小采样量。最小采样量根据。非零检测原则,由下式求出。7 每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值。3次平均值代表该点数值。8、当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时。可增加测点数.9,测单向流时,采样头应对准气流、测非单向流时、采样头一律向上,10。当要求0。1μm.5μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降 碰撞沉积损失小于采样浓度的5 时.水平采样管长度也应符合附录D,3、6条的规定,11,若采样口流速与室内气流速度不相等,其比例应在0 3,1.7.1之间.12,当因测定差错或微粒浓度异常低下、空气极为洁净。造成单个非随机的异常值,并影响计算结果时,允许将该异常值删除、但在原始记录中应注明 每一测定空间只许删除一次测定值,并且保留的测定值不少于3个、13。对于需要很大采样量、耗时很大的某粒径微粒的检测 可采用顺序采样法。即将每次测定结果标注于图E、4,2上,当标注点落入不合格区时,即停止检测,结果为不达标,当标注点落入合格区时,停止检测。结果为达标.当标注点一直在继续区中延伸。而总采样量已达到表E,4,2,2的最小采样量.累计微粒数仍小于20。即停止检测 结果为达标。当标注点一直在继续区中延伸,而总采样量未达到最小采样量,但累计微粒数已超过20、即停止检测 结果为不达标。E。4,3,对小于0,1μm的超微粒的检测.应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用,可采用凝结核计数器,CNC或CPC,加静电式分级器.迁移率分析仪 DMA。凝结核计数器.CNC或CPC.加扩散式分级器、DB 等,但必须有明确的性能说明书、或有自检报告,对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50,采样点数目应与E,4,2条对0,1μm。5μm的要求相同。E 4,4、大于5μm的大,宏,微粒的检测应符合下列要求,1.用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定。1。粒子计数器应经过大微粒的标定.符合现行国家标准,尘埃粒子计数器性能试验方法.GB,T。6167的规定 对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定、应采用不小于28、3L.min的计数器、对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2。83L min的计数器 2 当用28.3L min计数器时 水平管不应长过0,5m 当用2。83L.min计数器时、原则上不宜有水平管、3。采样口面积应按等速采样原则确定,室内风速取平均风速,2,用过滤器采集.显微镜检测时,应遵守下列规定.1,过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜。当过滤器采样口直径为25mm时 真空泵采样流量不小于7L,min,当过滤器采样口直径为47mm时.采样流量不小于28,3L,min,对于非单向流洁净室。总采样量不小于28、3L.min 对于单向流洁净室、总采放量不小于280L min,取下滤膜,将滤膜放在清洁的盖玻片上,图E。4。4.采样面向上、放进有50.左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸,对容积为600mL的烧杯.大约加入15mL丙酮、当做过3次样片时。再加入15mL丙酮,待滤膜透明后取出 再将盖玻片反向固定在载物片上。用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开.熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住,2,计数时应把制好的标本片固定在显微镜 100倍。工作台的适合位置上 一张标本片上计数总面积不小于0,02.4mm2、在检测中应不断调整 3,测定之前,必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度 最后的计数浓度由下式得出、
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