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- 洁净室施工及验收规范 GB 50591-2010
- 1 总 则
- 2 术 语
- 3 建筑结构
- 4 建筑装饰
- 5 风 系 统
- 6 气体系统
- 7 水 系 统
- 8 化学物料供应系统
- 9 配电系统
- 10 自动控制系统
- 11 设备安装
- 12 消防系统
- 13 屏蔽设施
- 14 防静电设施
- 15 施工组织与管理
- 16 工程检验
- 17 验 收
- 附录A 风管分段漏风检测方法
- 附录B 施工检查记录表
- 附录C 施工验收记录表
- 附录D 高效空气过滤器现场扫描检漏方法
- 附录E 洁净室综合性能检验方法
- 附录F 洁净室生物学评价方法
- 附录G 洁净室气密性检测方法
- 附录H 分子态污染物的检测
- H．1 分子态污染物(amc)
- H．2 检测方法
- H．3 撞击采样法
- H．4 吸附管采样法
- 本标准用词说明
- 引用标准名录
- 条文说明
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H 2 检测方法H。2。1,分子态污染物可采用以下采样方法和分析方法.1。采样方法包括被动式采样方法和主动式采样方法,前者采样周期较长、后者要有较复杂的仪器,主动式采样方法包括.撞击法、吸附管法、扩散采样分析法.过滤器收集法,采样袋.罐 法,晶圆片或平板法。液滴扫描提取法等 2。空气分子态污染物浓度的分析法包括在线分析法和离线分析法、在线分析法可用磁带记录法 紫外线照射法,转筒式化学浸渍滤纸分析仪，CPR.上比色检测法 离子迁移率色谱 IMS。法，便携式气相色谱仪 PGC，法.离子色谱监控、ICS，法 化学发光监控.CLS。法.表面声波、SAW。等专用仪器直接测定分子浓度、但应注意仪器的测定下限和测量范围，离线分析法，应在主动采样完毕经实验室分析后得出各种成分浓度、