C,8。密闭性测试C 8、1 本节适用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室、区 或非洁净室,区。通过吊顶、隔墙等表面或门 窗渗漏入洁净室.区、适用于1级至5级的洁净室。区,进行测试.可采用光度计法和粒子计数器法进行测试,C.8,2.采用粒子计数器法时,测量被评价表面的洁净室,区。外部的空气中悬浮粒子浓度。应大于洁净室,区、内的浓度104的倍数,并应至少大于或等于3、5.106.m3,其空气中悬浮粒子浓度不符合要求时 应添加气溶胶提高浓度 粒子计数器扫描时,仪器应距离洁净室。区,内待测试的接缝密封处或啮合面5cm、10cm.扫描速度应为5cm s,对敞开的门廊处的测试、应在距离洁净室。区、内敞开的门0,3m。3。0m处检测空气中悬浮粒子浓度.C.8.3.采用光度计法、测量洁净室 区.内侧被评价表面的空气中悬浮粒子浓度,在光度计0,1.档的设定值时 光度计的读数超过0、01。即确认存在渗漏,并应做记录。
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