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C 8.密闭性测试C,8,1,本节适用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室,区.或非洁净室,区。通过吊顶,隔墙等表面或门 窗渗漏入洁净室 区,适用于1级至5级的洁净室,区,进行测试.可采用光度计法和粒子计数器法进行测试,C。8,2,采用粒子计数器法时 测量被评价表面的洁净室.区、外部的空气中悬浮粒子浓度、应大于洁净室.区.内的浓度104的倍数,并应至少大于或等于3,5 106、m3、其空气中悬浮粒子浓度不符合要求时、应添加气溶胶提高浓度、粒子计数器扫描时 仪器应距离洁净室.区、内待测试的接缝密封处或啮合面5cm,10cm.扫描速度应为5cm。s。对敞开的门廊处的测试、应在距离洁净室,区,内敞开的门0,3m 3.0m处检测空气中悬浮粒子浓度、C,8 3,采用光度计法、测量洁净室、区.内侧被评价表面的空气中悬浮粒子浓度、在光度计0.1,档的设定值时、光度计的读数超过0。01、即确认存在渗漏.并应做记录.

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