C,8.密闭性测试C,8。1.本节适用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室.区、或非洁净室。区、通过吊顶。隔墙等表面或门,窗渗漏入洁净室,区,适用于1级至5级的洁净室,区。进行测试,可采用光度计法和粒子计数器法进行测试,C.8、2,采用粒子计数器法时,测量被评价表面的洁净室,区,外部的空气中悬浮粒子浓度.应大于洁净室 区,内的浓度104的倍数、并应至少大于或等于3 5、106 m3,其空气中悬浮粒子浓度不符合要求时.应添加气溶胶提高浓度,粒子计数器扫描时,仪器应距离洁净室.区、内待测试的接缝密封处或啮合面5cm,10cm。扫描速度应为5cm.s 对敞开的门廊处的测试、应在距离洁净室、区。内敞开的门0。3m.3 0m处检测空气中悬浮粒子浓度,C,8、3,采用光度计法 测量洁净室。区,内侧被评价表面的空气中悬浮粒子浓度 在光度计0。1,档的设定值时.光度计的读数超过0 01。即确认存在渗漏。并应做记录、
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