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C,8.密闭性测试C。8,1,本节适用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室、区、或非洁净室 区、通过吊顶,隔墙等表面或门 窗渗漏入洁净室,区 适用于1级至5级的洁净室,区.进行测试,可采用光度计法和粒子计数器法进行测试 C,8 2.采用粒子计数器法时.测量被评价表面的洁净室 区,外部的空气中悬浮粒子浓度、应大于洁净室。区、内的浓度104的倍数,并应至少大于或等于3,5,106 m3。其空气中悬浮粒子浓度不符合要求时.应添加气溶胶提高浓度.粒子计数器扫描时 仪器应距离洁净室。区.内待测试的接缝密封处或啮合面5cm,10cm,扫描速度应为5cm.s、对敞开的门廊处的测试。应在距离洁净室.区。内敞开的门0,3m.3.0m处检测空气中悬浮粒子浓度、C,8。3 采用光度计法、测量洁净室,区。内侧被评价表面的空气中悬浮粒子浓度。在光度计0,1。档的设定值时,光度计的读数超过0.01、即确认存在渗漏。并应做记录。
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