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C、8、密闭性测试C.8,1,本节适用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室。区。或非洁净室,区 通过吊顶、隔墙等表面或门 窗渗漏入洁净室,区.适用于1级至5级的洁净室。区,进行测试。可采用光度计法和粒子计数器法进行测试,C.8.2,采用粒子计数器法时.测量被评价表面的洁净室.区,外部的空气中悬浮粒子浓度 应大于洁净室,区。内的浓度104的倍数、并应至少大于或等于3,5.106 m3,其空气中悬浮粒子浓度不符合要求时、应添加气溶胶提高浓度 粒子计数器扫描时 仪器应距离洁净室。区、内待测试的接缝密封处或啮合面5cm。10cm,扫描速度应为5cm s 对敞开的门廊处的测试。应在距离洁净室,区 内敞开的门0、3m,3,0m处检测空气中悬浮粒子浓度.C 8、3 采用光度计法,测量洁净室.区、内侧被评价表面的空气中悬浮粒子浓度,在光度计0,1。档的设定值时.光度计的读数超过0、01、即确认存在渗漏 并应做记录.
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