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C 8、密闭性测试C,8.1。本节适用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室,区,或非洁净室,区、通过吊顶,隔墙等表面或门.窗渗漏入洁净室.区,适用于1级至5级的洁净室.区,进行测试,可采用光度计法和粒子计数器法进行测试 C,8,2、采用粒子计数器法时,测量被评价表面的洁净室.区,外部的空气中悬浮粒子浓度,应大于洁净室。区,内的浓度104的倍数,并应至少大于或等于3、5,106、m3。其空气中悬浮粒子浓度不符合要求时.应添加气溶胶提高浓度.粒子计数器扫描时 仪器应距离洁净室,区.内待测试的接缝密封处或啮合面5cm,10cm,扫描速度应为5cm,s。对敞开的门廊处的测试,应在距离洁净室 区.内敞开的门0。3m,3。0m处检测空气中悬浮粒子浓度,C。8 3,采用光度计法、测量洁净室.区.内侧被评价表面的空气中悬浮粒子浓度.在光度计0.1,档的设定值时.光度计的读数超过0.01,即确认存在渗漏。并应做记录。
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