10 2,微振控制设施施工。主控项目10.2 1，洁净厂房的微振控制设施的施工应按下列阶段进行测试分析、1、现场环境振动测试及分析、2，建筑结构振动特性测试及分析。3、精密设备仪器安装场所环境振动测试及分析、4.竣工验收测试及分析、检查数量.全数检查,检验方法、核查测试分析报告,10 2.2 隔振台,隔振装置。隔振器等的施工安装应符合工程设计文件的要求，检查数量、全数检查 检验方法。核查施工安装记录.10 2 3.隔振装置施工安装时.应核对空气弹簧隔振器,阻尼器，限位器.高度调节器。以及配管 底座的规格,数量,尺寸,并应符合设计要求，检查数量，全数检查,检验方法,观察检查,尺量。10,2.4,安装隔振器的地面，台板等应平整,清洁 各组,个.隔振器承受荷载的压缩量应均匀 高度误差应小于2,0mm,检查数量,全数检查。检验方法，观察检查，尺量,10、2.5.隔振设施安装时应调整被隔振体高度达到规定值,检查数量、全数检查。检验方法,观察检查。尺量,一般项目10.2 6、隔振台的台板表面应平整,清洁.台板水平度误差应符合设计要求,且不宜大于3。检查数量，全数检查，检验方法 观察检查、尺量.10.2、7、隔振所用的支.吊架.其结构形式，尺寸应符合设计文件的要求.焊接应牢固。焊缝应饱满、均匀 检查数量.抽查50.检验方法，核查施工记录.观察检查，10，2 8.地板或楼板整体式隔振系统、支承结构.地板或楼板应平整 清洁。水平度误差应符合设计要求.检查数量 抽查50。检验方法，核查施工记录。观察检查,