10.2。微振控制设施施工，主控项目10.2、1。洁净厂房的微振控制设施的施工应按下列阶段进行测试分析。1、现场环境振动测试及分析 2 建筑结构振动特性测试及分析、3、精密设备仪器安装场所环境振动测试及分析、4，竣工验收测试及分析 检查数量,全数检查、检验方法。核查测试分析报告.10.2，2，隔振台.隔振装置、隔振器等的施工安装应符合工程设计文件的要求,检查数量.全数检查 检验方法.核查施工安装记录 10、2，3.隔振装置施工安装时.应核对空气弹簧隔振器,阻尼器 限位器,高度调节器。以及配管，底座的规格。数量,尺寸 并应符合设计要求，检查数量，全数检查.检验方法。观察检查,尺量、10。2,4,安装隔振器的地面,台板等应平整.清洁。各组。个,隔振器承受荷载的压缩量应均匀,高度误差应小于2、0mm.检查数量.全数检查。检验方法。观察检查.尺量 10,2，5,隔振设施安装时应调整被隔振体高度达到规定值,检查数量.全数检查.检验方法、观察检查 尺量。一般项目10 2.6、隔振台的台板表面应平整 清洁,台板水平度误差应符合设计要求,且不宜大于3，检查数量 全数检查 检验方法、观察检查，尺量 10、2 7。隔振所用的支，吊架,其结构形式 尺寸应符合设计文件的要求。焊接应牢固.焊缝应饱满 均匀,检查数量、抽查50。检验方法.核查施工记录。观察检查,10。2 8,地板或楼板整体式隔振系统.支承结构。地板或楼板应平整,清洁 水平度误差应符合设计要求.检查数量.抽查50，检验方法,核查施工记录 观察检查、