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附录C.测试方法C,1。空气洁净度等级测试C 1.1、空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器、采样量应大于1L,min 测试粒径大于或等于0、5μm粒子时,宜采用光散射粒子计数器.测试粒径大于或等于0。1μm的粒子时、宜采用大流量激光粒子计数器,采样量应为28、3L。min.测试粒径小于0、1μm的超微粒子时。宜采用凝聚核激光粒子计数器.C、1 2.采样点的确定应符合下列规定 1,最少采样点应按下式计算。式中,NL。最少采样点。四舍五入取整数,A.洁净室 区.的面积,在水平单向流时,指与气流方向垂直的流动空气的截面积,以m2计,2 采样点应均匀分布于洁净室 区,的面积内.并应位于工作区高度,C 1。3、每次采样的最少采样量应符合下列规定,1,每个采样点的每次采样量,VS,应按下式计算、式中。Cnm、被测洁净室.区 空气洁净度等级被测粒径的允许限值、个,m3.20,在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时,可检测到的粒子数,2,每个采样点的采样量应至少为2L,采样时间应最少为1min、当洁净室,区、仅有1个采样点时、在该点应至少采样3次、当VS很大时,采样时间较长 宜采用顺序采样法、C。1、4 对于单向流洁净室。采样口应对着气流方向,对于非单向流洁净室、采样口宜向上 采样速度宜接近室内气流速度,C,1,5。室内测试人员应穿洁净服,不得超过3人,测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点.并应保持静止,进行换点操作时动作应轻 应减少人员对室内洁净度的干扰。C、1.6.每个采样次数为2次或2次以上的采样点,应按下式计算平均粒子浓度 式中、Xi,采样点i的平均粒子浓度.i可代表任何位置,Xi1至Xin。每次采样的粒子浓度.n,在采样点i的采样次数,C.1.7,采样点为1个时,应按本规范式,C,1 6,计算该点平均粒子浓度、采样点为10个或10个以上时,应按本规范式,C。1 6,计算各点的平均浓度后,再按下式计算洁净室,区 总平均值,式中。X 各采样点平均值的总平均值,Xi1至Xim 按式 C。1。6。计算的各个采样点的平均值,即洁净室,区.总平均值.m,采样点的总数,C 1,8,置信上限、UCL.的计算应符合下列规定、1,当采样点只有1个或多于9个时、不计算95,置信上限 2 采样点为1个以上10个以下时.除应根据本规范式,C,1,7.计算各采样点的平均值和总平均值外,还应按下式计算总平均值的标准偏差。3.应按下式计算总平均值的95,置信上限。式中.t.分布系数、应按表C、1,8取值,表C,1。8,95、置信上限。UCL.的t分布系数,4,每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95、置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时、可认为该洁净室,区 已达到规定的空气洁净度等级。测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时,宜增加均匀分布的新采样点进行测试,应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算、其结果可作为最终检验结果.
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