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附录C 测试方法C 1,空气洁净度等级测试C 1,1、空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器,采样量应大于1L,min,测试粒径大于或等于0,5μm粒子时、宜采用光散射粒子计数器、测试粒径大于或等于0,1μm的粒子时、宜采用大流量激光粒子计数器,采样量应为28,3L、min、测试粒径小于0 1μm的超微粒子时、宜采用凝聚核激光粒子计数器,C.1,2、采样点的确定应符合下列规定,1.最少采样点应按下式计算。式中。NL.最少采样点、四舍五入取整数。A,洁净室、区,的面积。在水平单向流时 指与气流方向垂直的流动空气的截面积,以m2计、2,采样点应均匀分布于洁净室,区、的面积内.并应位于工作区高度,C.1,3,每次采样的最少采样量应符合下列规定、1.每个采样点的每次采样量。VS 应按下式计算,式中。Cnm,被测洁净室。区。空气洁净度等级被测粒径的允许限值。个.m3,20 在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时,可检测到的粒子数,2,每个采样点的采样量应至少为2L 采样时间应最少为1min,当洁净室 区,仅有1个采样点时 在该点应至少采样3次,当VS很大时,采样时间较长,宜采用顺序采样法,C,1.4,对于单向流洁净室,采样口应对着气流方向、对于非单向流洁净室,采样口宜向上、采样速度宜接近室内气流速度。C 1 5、室内测试人员应穿洁净服,不得超过3人.测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点.并应保持静止,进行换点操作时动作应轻 应减少人员对室内洁净度的干扰.C 1,6,每个采样次数为2次或2次以上的采样点.应按下式计算平均粒子浓度、式中、Xi 采样点i的平均粒子浓度.i可代表任何位置、Xi1至Xin、每次采样的粒子浓度、n 在采样点i的采样次数,C、1,7、采样点为1个时 应按本规范式 C.1 6。计算该点平均粒子浓度,采样点为10个或10个以上时、应按本规范式、C,1 6,计算各点的平均浓度后、再按下式计算洁净室,区。总平均值、式中 X,各采样点平均值的总平均值,Xi1至Xim,按式。C,1,6。计算的各个采样点的平均值 即洁净室.区,总平均值 m、采样点的总数,C,1 8。置信上限.UCL。的计算应符合下列规定.1、当采样点只有1个或多于9个时,不计算95,置信上限。2.采样点为1个以上10个以下时。除应根据本规范式.C.1 7。计算各采样点的平均值和总平均值外,还应按下式计算总平均值的标准偏差.3,应按下式计算总平均值的95,置信上限 式中.t、分布系数.应按表C、1、8取值.表C.1、8,95 置信上限,UCL,的t分布系数、4、每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95,置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时。可认为该洁净室。区 已达到规定的空气洁净度等级、测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时 宜增加均匀分布的新采样点进行测试,应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算,其结果可作为最终检验结果。
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