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附录C,测试方法C,1,空气洁净度等级测试C.1,1。空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器。采样量应大于1L.min 测试粒径大于或等于0.5μm粒子时,宜采用光散射粒子计数器、测试粒径大于或等于0 1μm的粒子时。宜采用大流量激光粒子计数器,采样量应为28 3L。min。测试粒径小于0,1μm的超微粒子时,宜采用凝聚核激光粒子计数器 C 1,2。采样点的确定应符合下列规定、1,最少采样点应按下式计算.式中。NL.最少采样点、四舍五入取整数.A,洁净室,区、的面积、在水平单向流时 指与气流方向垂直的流动空气的截面积,以m2计 2,采样点应均匀分布于洁净室,区,的面积内、并应位于工作区高度 C、1,3、每次采样的最少采样量应符合下列规定.1 每个采样点的每次采样量、VS.应按下式计算、式中。Cnm 被测洁净室.区,空气洁净度等级被测粒径的允许限值。个 m3 20、在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时、可检测到的粒子数、2,每个采样点的采样量应至少为2L,采样时间应最少为1min,当洁净室 区.仅有1个采样点时.在该点应至少采样3次。当VS很大时.采样时间较长。宜采用顺序采样法 C。1,4。对于单向流洁净室.采样口应对着气流方向,对于非单向流洁净室 采样口宜向上.采样速度宜接近室内气流速度。C 1、5、室内测试人员应穿洁净服,不得超过3人,测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点,并应保持静止。进行换点操作时动作应轻.应减少人员对室内洁净度的干扰.C。1.6 每个采样次数为2次或2次以上的采样点。应按下式计算平均粒子浓度,式中。Xi,采样点i的平均粒子浓度,i可代表任何位置、Xi1至Xin、每次采样的粒子浓度 n,在采样点i的采样次数。C,1,7.采样点为1个时.应按本规范式,C。1、6 计算该点平均粒子浓度。采样点为10个或10个以上时。应按本规范式。C.1、6,计算各点的平均浓度后 再按下式计算洁净室.区 总平均值,式中、X,各采样点平均值的总平均值,Xi1至Xim 按式 C,1、6,计算的各个采样点的平均值、即洁净室、区。总平均值,m,采样点的总数、C、1、8。置信上限,UCL 的计算应符合下列规定,1.当采样点只有1个或多于9个时,不计算95、置信上限.2,采样点为1个以上10个以下时,除应根据本规范式.C.1。7。计算各采样点的平均值和总平均值外.还应按下式计算总平均值的标准偏差 3、应按下式计算总平均值的95、置信上限,式中。t,分布系数,应按表C,1。8取值 表C。1,8 95.置信上限 UCL,的t分布系数.4 每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95,置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时、可认为该洁净室.区.已达到规定的空气洁净度等级.测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时,宜增加均匀分布的新采样点进行测试.应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算,其结果可作为最终检验结果,
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