附录C,测试方法C.1。空气洁净度等级测试C 1,1,空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器,采样量应大于1L.min.测试粒径大于或等于0 5μm粒子时,宜采用光散射粒子计数器。测试粒径大于或等于0。1μm的粒子时,宜采用大流量激光粒子计数器,采样量应为28.3L、min,测试粒径小于0.1μm的超微粒子时,宜采用凝聚核激光粒子计数器,C,1,2、采样点的确定应符合下列规定 1。最少采样点应按下式计算,式中。NL.最少采样点 四舍五入取整数、A,洁净室。区 的面积。在水平单向流时,指与气流方向垂直的流动空气的截面积、以m2计、2、采样点应均匀分布于洁净室 区、的面积内,并应位于工作区高度、C 1.3.每次采样的最少采样量应符合下列规定.1.每个采样点的每次采样量.VS。应按下式计算。式中。Cnm、被测洁净室,区,空气洁净度等级被测粒径的允许限值 个。m3,20 在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时。可检测到的粒子数.2,每个采样点的采样量应至少为2L,采样时间应最少为1min、当洁净室。区。仅有1个采样点时 在该点应至少采样3次。当VS很大时。采样时间较长,宜采用顺序采样法 C,1、4.对于单向流洁净室。采样口应对着气流方向,对于非单向流洁净室。采样口宜向上,采样速度宜接近室内气流速度。C,1.5 室内测试人员应穿洁净服、不得超过3人。测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点.并应保持静止,进行换点操作时动作应轻,应减少人员对室内洁净度的干扰,C.1。6、每个采样次数为2次或2次以上的采样点,应按下式计算平均粒子浓度、式中,Xi。采样点i的平均粒子浓度、i可代表任何位置 Xi1至Xin 每次采样的粒子浓度、n。在采样点i的采样次数.C,1,7,采样点为1个时,应按本规范式。C.1。6 计算该点平均粒子浓度 采样点为10个或10个以上时.应按本规范式、C,1.6、计算各点的平均浓度后、再按下式计算洁净室,区 总平均值。式中、X 各采样点平均值的总平均值、Xi1至Xim.按式 C。1.6,计算的各个采样点的平均值,即洁净室。区.总平均值.m,采样点的总数、C 1、8,置信上限.UCL。的计算应符合下列规定、1,当采样点只有1个或多于9个时 不计算95,置信上限。2.采样点为1个以上10个以下时.除应根据本规范式,C。1。7、计算各采样点的平均值和总平均值外.还应按下式计算总平均值的标准偏差。3 应按下式计算总平均值的95、置信上限 式中,t、分布系数 应按表C,1。8取值 表C 1。8 95。置信上限,UCL。的t分布系数,4,每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95、置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时.可认为该洁净室。区。已达到规定的空气洁净度等级,测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时 宜增加均匀分布的新采样点进行测试 应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算、其结果可作为最终检验结果.

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