附录C,测试方法C,1,空气洁净度等级测试C.1.1 空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器。采样量应大于1L.min,测试粒径大于或等于0。5μm粒子时,宜采用光散射粒子计数器,测试粒径大于或等于0.1μm的粒子时,宜采用大流量激光粒子计数器.采样量应为28,3L。min,测试粒径小于0.1μm的超微粒子时,宜采用凝聚核激光粒子计数器、C 1,2。采样点的确定应符合下列规定,1、最少采样点应按下式计算。式中,NL.最少采样点。四舍五入取整数.A.洁净室、区。的面积 在水平单向流时 指与气流方向垂直的流动空气的截面积 以m2计,2 采样点应均匀分布于洁净室,区。的面积内 并应位于工作区高度。C,1。3,每次采样的最少采样量应符合下列规定.1,每个采样点的每次采样量、VS、应按下式计算,式中、Cnm,被测洁净室,区,空气洁净度等级被测粒径的允许限值,个,m3 20,在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时 可检测到的粒子数、2。每个采样点的采样量应至少为2L,采样时间应最少为1min 当洁净室、区 仅有1个采样点时,在该点应至少采样3次。当VS很大时.采样时间较长.宜采用顺序采样法,C 1,4.对于单向流洁净室 采样口应对着气流方向 对于非单向流洁净室、采样口宜向上,采样速度宜接近室内气流速度 C,1。5 室内测试人员应穿洁净服。不得超过3人 测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点 并应保持静止、进行换点操作时动作应轻.应减少人员对室内洁净度的干扰。C、1、6 每个采样次数为2次或2次以上的采样点,应按下式计算平均粒子浓度,式中,Xi。采样点i的平均粒子浓度 i可代表任何位置 Xi1至Xin,每次采样的粒子浓度。n,在采样点i的采样次数、C。1、7,采样点为1个时。应按本规范式.C.1,6.计算该点平均粒子浓度.采样点为10个或10个以上时,应按本规范式、C 1。6.计算各点的平均浓度后 再按下式计算洁净室,区,总平均值 式中 X。各采样点平均值的总平均值。Xi1至Xim,按式 C、1,6、计算的各个采样点的平均值,即洁净室,区 总平均值 m。采样点的总数,C.1,8 置信上限,UCL,的计算应符合下列规定.1,当采样点只有1个或多于9个时。不计算95,置信上限.2。采样点为1个以上10个以下时。除应根据本规范式。C,1、7,计算各采样点的平均值和总平均值外。还应按下式计算总平均值的标准偏差 3、应按下式计算总平均值的95,置信上限。式中,t.分布系数、应按表C 1,8取值 表C、1.8,95、置信上限、UCL,的t分布系数.4,每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95 置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时.可认为该洁净室 区 已达到规定的空气洁净度等级.测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时.宜增加均匀分布的新采样点进行测试、应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算。其结果可作为最终检验结果.