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附录C.测试方法C、1。空气洁净度等级测试C.1.1、空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器 采样量应大于1L min 测试粒径大于或等于0.5μm粒子时、宜采用光散射粒子计数器。测试粒径大于或等于0,1μm的粒子时.宜采用大流量激光粒子计数器,采样量应为28 3L min、测试粒径小于0 1μm的超微粒子时,宜采用凝聚核激光粒子计数器,C。1 2,采样点的确定应符合下列规定,1,最少采样点应按下式计算.式中,NL,最少采样点.四舍五入取整数.A.洁净室,区,的面积.在水平单向流时、指与气流方向垂直的流动空气的截面积.以m2计,2,采样点应均匀分布于洁净室,区,的面积内、并应位于工作区高度。C。1。3。每次采样的最少采样量应符合下列规定。1,每个采样点的每次采样量.VS,应按下式计算,式中 Cnm、被测洁净室。区、空气洁净度等级被测粒径的允许限值,个、m3,20.在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时,可检测到的粒子数,2.每个采样点的采样量应至少为2L、采样时间应最少为1min。当洁净室 区,仅有1个采样点时,在该点应至少采样3次、当VS很大时 采样时间较长。宜采用顺序采样法。C 1.4、对于单向流洁净室,采样口应对着气流方向.对于非单向流洁净室 采样口宜向上.采样速度宜接近室内气流速度、C、1、5。室内测试人员应穿洁净服、不得超过3人,测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点。并应保持静止、进行换点操作时动作应轻、应减少人员对室内洁净度的干扰、C、1。6 每个采样次数为2次或2次以上的采样点.应按下式计算平均粒子浓度,式中.Xi,采样点i的平均粒子浓度,i可代表任何位置,Xi1至Xin,每次采样的粒子浓度,n。在采样点i的采样次数,C,1,7,采样点为1个时 应按本规范式.C。1 6 计算该点平均粒子浓度,采样点为10个或10个以上时,应按本规范式。C。1 6、计算各点的平均浓度后、再按下式计算洁净室 区、总平均值,式中。X。各采样点平均值的总平均值,Xi1至Xim,按式、C。1、6,计算的各个采样点的平均值,即洁净室、区 总平均值.m 采样点的总数。C.1.8。置信上限 UCL。的计算应符合下列规定,1、当采样点只有1个或多于9个时,不计算95、置信上限、2.采样点为1个以上10个以下时 除应根据本规范式、C。1.7 计算各采样点的平均值和总平均值外。还应按下式计算总平均值的标准偏差.3。应按下式计算总平均值的95 置信上限。式中 t、分布系数,应按表C、1,8取值,表C,1,8。95,置信上限.UCL,的t分布系数,4、每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95。置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时,可认为该洁净室 区.已达到规定的空气洁净度等级.测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时,宜增加均匀分布的新采样点进行测试、应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算,其结果可作为最终检验结果.
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