附录C 测试方法C,1.空气洁净度等级测试C。1,1.空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器。采样量应大于1L、min.测试粒径大于或等于0、5μm粒子时,宜采用光散射粒子计数器、测试粒径大于或等于0.1μm的粒子时,宜采用大流量激光粒子计数器,采样量应为28,3L.min。测试粒径小于0,1μm的超微粒子时。宜采用凝聚核激光粒子计数器 C、1 2,采样点的确定应符合下列规定,1。最少采样点应按下式计算.式中.NL,最少采样点.四舍五入取整数。A。洁净室.区。的面积 在水平单向流时,指与气流方向垂直的流动空气的截面积.以m2计.2,采样点应均匀分布于洁净室,区,的面积内 并应位于工作区高度、C 1。3.每次采样的最少采样量应符合下列规定.1 每个采样点的每次采样量,VS。应按下式计算,式中,Cnm。被测洁净室 区,空气洁净度等级被测粒径的允许限值,个,m3,20、在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时、可检测到的粒子数,2.每个采样点的采样量应至少为2L、采样时间应最少为1min,当洁净室.区 仅有1个采样点时,在该点应至少采样3次。当VS很大时,采样时间较长,宜采用顺序采样法、C 1 4、对于单向流洁净室 采样口应对着气流方向 对于非单向流洁净室,采样口宜向上,采样速度宜接近室内气流速度、C、1、5、室内测试人员应穿洁净服。不得超过3人、测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点.并应保持静止,进行换点操作时动作应轻 应减少人员对室内洁净度的干扰.C。1、6 每个采样次数为2次或2次以上的采样点。应按下式计算平均粒子浓度、式中.Xi,采样点i的平均粒子浓度、i可代表任何位置。Xi1至Xin、每次采样的粒子浓度,n,在采样点i的采样次数,C,1 7,采样点为1个时.应按本规范式,C。1.6,计算该点平均粒子浓度,采样点为10个或10个以上时,应按本规范式 C、1,6,计算各点的平均浓度后。再按下式计算洁净室,区 总平均值,式中,X 各采样点平均值的总平均值.Xi1至Xim 按式。C,1.6,计算的各个采样点的平均值,即洁净室,区,总平均值、m。采样点的总数、C,1,8。置信上限、UCL、的计算应符合下列规定。1,当采样点只有1个或多于9个时、不计算95,置信上限.2。采样点为1个以上10个以下时、除应根据本规范式 C.1、7,计算各采样点的平均值和总平均值外,还应按下式计算总平均值的标准偏差。3。应按下式计算总平均值的95。置信上限 式中.t 分布系数,应按表C、1。8取值 表C,1 8。95 置信上限。UCL 的t分布系数。4。每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95.置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时、可认为该洁净室.区、已达到规定的空气洁净度等级、测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时,宜增加均匀分布的新采样点进行测试.应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算,其结果可作为最终检验结果,