附录C,测试方法C,1、空气洁净度等级测试C 1。1、空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器 采样量应大于1L、min、测试粒径大于或等于0,5μm粒子时.宜采用光散射粒子计数器。测试粒径大于或等于0,1μm的粒子时.宜采用大流量激光粒子计数器,采样量应为28 3L,min 测试粒径小于0,1μm的超微粒子时,宜采用凝聚核激光粒子计数器,C,1,2 采样点的确定应符合下列规定,1 最少采样点应按下式计算,式中,NL,最少采样点,四舍五入取整数。A。洁净室 区,的面积 在水平单向流时.指与气流方向垂直的流动空气的截面积.以m2计.2、采样点应均匀分布于洁净室,区 的面积内 并应位于工作区高度。C.1、3,每次采样的最少采样量应符合下列规定。1.每个采样点的每次采样量 VS,应按下式计算,式中,Cnm.被测洁净室.区,空气洁净度等级被测粒径的允许限值,个 m3、20,在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时。可检测到的粒子数。2、每个采样点的采样量应至少为2L,采样时间应最少为1min、当洁净室。区。仅有1个采样点时,在该点应至少采样3次、当VS很大时、采样时间较长 宜采用顺序采样法,C 1。4,对于单向流洁净室。采样口应对着气流方向,对于非单向流洁净室、采样口宜向上.采样速度宜接近室内气流速度。C 1、5 室内测试人员应穿洁净服。不得超过3人。测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点,并应保持静止、进行换点操作时动作应轻、应减少人员对室内洁净度的干扰。C。1.6.每个采样次数为2次或2次以上的采样点、应按下式计算平均粒子浓度,式中,Xi、采样点i的平均粒子浓度,i可代表任何位置.Xi1至Xin.每次采样的粒子浓度。n,在采样点i的采样次数,C,1、7,采样点为1个时、应按本规范式,C。1,6,计算该点平均粒子浓度 采样点为10个或10个以上时.应按本规范式,C.1.6,计算各点的平均浓度后,再按下式计算洁净室.区,总平均值.式中.X.各采样点平均值的总平均值。Xi1至Xim,按式,C。1.6 计算的各个采样点的平均值、即洁净室,区。总平均值,m。采样点的总数。C、1 8。置信上限,UCL。的计算应符合下列规定.1 当采样点只有1个或多于9个时.不计算95。置信上限 2,采样点为1个以上10个以下时 除应根据本规范式。C,1,7 计算各采样点的平均值和总平均值外,还应按下式计算总平均值的标准偏差,3.应按下式计算总平均值的95 置信上限、式中 t 分布系数 应按表C、1、8取值,表C,1,8,95。置信上限,UCL,的t分布系数,4 每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95、置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时。可认为该洁净室。区,已达到规定的空气洁净度等级,测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时、宜增加均匀分布的新采样点进行测试 应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算。其结果可作为最终检验结果。