附录C 测试方法C 1,空气洁净度等级测试C.1.1,空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器.采样量应大于1L.min.测试粒径大于或等于0,5μm粒子时,宜采用光散射粒子计数器、测试粒径大于或等于0。1μm的粒子时,宜采用大流量激光粒子计数器.采样量应为28.3L。min.测试粒径小于0、1μm的超微粒子时 宜采用凝聚核激光粒子计数器。C,1。2、采样点的确定应符合下列规定。1。最少采样点应按下式计算.式中 NL,最少采样点、四舍五入取整数,A.洁净室 区.的面积。在水平单向流时、指与气流方向垂直的流动空气的截面积,以m2计,2.采样点应均匀分布于洁净室。区.的面积内,并应位于工作区高度。C,1。3 每次采样的最少采样量应符合下列规定.1,每个采样点的每次采样量 VS,应按下式计算,式中,Cnm.被测洁净室 区.空气洁净度等级被测粒径的允许限值、个.m3.20。在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时。可检测到的粒子数、2、每个采样点的采样量应至少为2L,采样时间应最少为1min、当洁净室 区.仅有1个采样点时、在该点应至少采样3次.当VS很大时。采样时间较长、宜采用顺序采样法,C、1,4.对于单向流洁净室。采样口应对着气流方向、对于非单向流洁净室、采样口宜向上。采样速度宜接近室内气流速度,C。1.5。室内测试人员应穿洁净服 不得超过3人,测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点.并应保持静止,进行换点操作时动作应轻 应减少人员对室内洁净度的干扰,C,1,6。每个采样次数为2次或2次以上的采样点、应按下式计算平均粒子浓度。式中。Xi,采样点i的平均粒子浓度 i可代表任何位置。Xi1至Xin.每次采样的粒子浓度,n、在采样点i的采样次数,C 1,7。采样点为1个时,应按本规范式。C,1,6、计算该点平均粒子浓度、采样点为10个或10个以上时 应按本规范式。C,1,6、计算各点的平均浓度后.再按下式计算洁净室 区,总平均值,式中.X.各采样点平均值的总平均值、Xi1至Xim.按式 C,1。6.计算的各个采样点的平均值、即洁净室,区,总平均值.m。采样点的总数。C、1,8.置信上限,UCL、的计算应符合下列规定.1。当采样点只有1个或多于9个时。不计算95、置信上限。2,采样点为1个以上10个以下时,除应根据本规范式,C.1,7.计算各采样点的平均值和总平均值外 还应按下式计算总平均值的标准偏差 3。应按下式计算总平均值的95,置信上限.式中,t,分布系数,应按表C。1、8取值,表C、1,8 95。置信上限,UCL、的t分布系数,4,每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95 置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时,可认为该洁净室,区,已达到规定的空气洁净度等级,测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时、宜增加均匀分布的新采样点进行测试。应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算 其结果可作为最终检验结果,