附录C 测试方法C,1 空气洁净度等级测试C,1、1、空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器,采样量应大于1L.min,测试粒径大于或等于0 5μm粒子时。宜采用光散射粒子计数器,测试粒径大于或等于0、1μm的粒子时.宜采用大流量激光粒子计数器,采样量应为28.3L.min.测试粒径小于0、1μm的超微粒子时。宜采用凝聚核激光粒子计数器.C,1,2,采样点的确定应符合下列规定 1、最少采样点应按下式计算 式中,NL。最少采样点,四舍五入取整数 A,洁净室,区,的面积。在水平单向流时,指与气流方向垂直的流动空气的截面积 以m2计.2.采样点应均匀分布于洁净室,区,的面积内,并应位于工作区高度 C 1、3,每次采样的最少采样量应符合下列规定,1 每个采样点的每次采样量。VS、应按下式计算,式中 Cnm。被测洁净室.区 空气洁净度等级被测粒径的允许限值 个,m3,20.在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时,可检测到的粒子数、2,每个采样点的采样量应至少为2L。采样时间应最少为1min,当洁净室,区、仅有1个采样点时。在该点应至少采样3次。当VS很大时,采样时间较长 宜采用顺序采样法、C 1,4.对于单向流洁净室,采样口应对着气流方向,对于非单向流洁净室。采样口宜向上,采样速度宜接近室内气流速度、C,1.5,室内测试人员应穿洁净服、不得超过3人.测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点 并应保持静止 进行换点操作时动作应轻。应减少人员对室内洁净度的干扰,C,1,6,每个采样次数为2次或2次以上的采样点,应按下式计算平均粒子浓度,式中.Xi,采样点i的平均粒子浓度,i可代表任何位置,Xi1至Xin、每次采样的粒子浓度、n 在采样点i的采样次数,C、1.7,采样点为1个时,应按本规范式,C 1、6,计算该点平均粒子浓度 采样点为10个或10个以上时.应按本规范式.C.1,6,计算各点的平均浓度后、再按下式计算洁净室。区、总平均值,式中,X.各采样点平均值的总平均值 Xi1至Xim 按式 C.1。6 计算的各个采样点的平均值,即洁净室,区 总平均值 m,采样点的总数、C 1,8 置信上限.UCL,的计算应符合下列规定,1、当采样点只有1个或多于9个时,不计算95,置信上限 2.采样点为1个以上10个以下时、除应根据本规范式、C、1 7,计算各采样点的平均值和总平均值外、还应按下式计算总平均值的标准偏差 3,应按下式计算总平均值的95、置信上限.式中,t。分布系数 应按表C.1 8取值 表C。1,8.95.置信上限 UCL。的t分布系数 4、每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95、置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时.可认为该洁净室,区、已达到规定的空气洁净度等级,测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时,宜增加均匀分布的新采样点进行测试 应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算,其结果可作为最终检验结果