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附录C。测试方法C.1,空气洁净度等级测试C.1、1,空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器。采样量应大于1L,min,测试粒径大于或等于0。5μm粒子时,宜采用光散射粒子计数器,测试粒径大于或等于0,1μm的粒子时.宜采用大流量激光粒子计数器 采样量应为28.3L min.测试粒径小于0 1μm的超微粒子时。宜采用凝聚核激光粒子计数器,C、1。2 采样点的确定应符合下列规定。1 最少采样点应按下式计算.式中,NL.最少采样点.四舍五入取整数,A,洁净室,区 的面积 在水平单向流时。指与气流方向垂直的流动空气的截面积,以m2计,2.采样点应均匀分布于洁净室,区、的面积内。并应位于工作区高度 C、1、3,每次采样的最少采样量应符合下列规定。1、每个采样点的每次采样量.VS。应按下式计算,式中。Cnm.被测洁净室 区、空气洁净度等级被测粒径的允许限值,个。m3.20,在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时 可检测到的粒子数 2。每个采样点的采样量应至少为2L.采样时间应最少为1min 当洁净室。区。仅有1个采样点时,在该点应至少采样3次,当VS很大时、采样时间较长、宜采用顺序采样法,C.1,4,对于单向流洁净室,采样口应对着气流方向,对于非单向流洁净室 采样口宜向上.采样速度宜接近室内气流速度,C。1、5、室内测试人员应穿洁净服,不得超过3人。测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点,并应保持静止 进行换点操作时动作应轻.应减少人员对室内洁净度的干扰,C。1,6 每个采样次数为2次或2次以上的采样点、应按下式计算平均粒子浓度,式中.Xi.采样点i的平均粒子浓度,i可代表任何位置、Xi1至Xin,每次采样的粒子浓度.n.在采样点i的采样次数 C、1,7 采样点为1个时,应按本规范式 C。1,6,计算该点平均粒子浓度.采样点为10个或10个以上时.应按本规范式.C.1,6。计算各点的平均浓度后,再按下式计算洁净室 区。总平均值、式中。X.各采样点平均值的总平均值 Xi1至Xim。按式。C、1。6.计算的各个采样点的平均值,即洁净室 区 总平均值,m、采样点的总数,C.1。8 置信上限.UCL.的计算应符合下列规定。1。当采样点只有1个或多于9个时.不计算95.置信上限.2、采样点为1个以上10个以下时 除应根据本规范式,C。1 7。计算各采样点的平均值和总平均值外,还应按下式计算总平均值的标准偏差.3,应按下式计算总平均值的95。置信上限。式中 t,分布系数,应按表C、1,8取值、表C,1、8。95.置信上限。UCL、的t分布系数.4,每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95 置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时。可认为该洁净室,区。已达到规定的空气洁净度等级,测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时.宜增加均匀分布的新采样点进行测试、应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算,其结果可作为最终检验结果。
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