12。2,高纯气体 特种气体供应设施安装12,2。1,12,2,2。由于这类管道输送的气体介质大部分对气体中的杂质含量都有严格要求.所以条文规定在试运转阶段应进行纯度试验.此项试验常常是在投入运行前进行,主控项目12。2,3、本条对高纯气体 特种气体供应设施安装前应具备的条件作出了规定,其中强调检查设备、阀门和管件的完整性。密封性 这是十分重要的环节,检查中一旦发现异常 应与供应商进行协商、必要时应进行相应试验验收,12、2,4 在洁净厂房内进行这些设备的运输,就位时。为了保持洁净室 区.的环境.减少污染、应按具体工程项目的洁净施工程序要求、搬入口要求等进行运输 就位,由于这些设备通常是接管.接线较多,为避免返工和正确进行接管,接线 搬送,就位前应认真熟悉设备图纸 文件等,防止差错的发生、这些设备交货前一般进行了规定的试验和填装纯化材料、因此就位后不得进行气体接管.应在管道系统按规定试验合格后才能接管 12,2.5,本条对阀门箱,吹扫盘的安装和管路连接的质量验收主控项目内容作出了规定、12 2,6,高纯气体。特种气体设施的纯度试验是此类设施安装施工质量验收的最重要的环节。是确保此类设施正常 稳定。安全运行的保障条件。本条对纯度试验的介质.压力 取样口,取样时间和合格标准等作出了规定。此项试验工作可能时间较长,一般应连续进行 并应认真做好记录、12.2,7。本条是对管路系统的试验方法,压力 介质和合格标准等的规定.其中对泄漏量试验气体作了三种可能的选择。即干燥压缩空气 纯氮。氦气 据了解,这是国内外高纯气。特种气体管路施工安装中的实际情况,因为高纯气。特种气种类很多.物理 化学性质各不相同,所以应根据气体特性分别进行选择 如可燃性气体、应选用纯氮或氦气、但由于国内氦气价格较贵,所以采用纯氮的较多、但氦气检漏效果最好、若有条件,且管路系统不大、管径较小时采用氦气也是一种很好的选择。泄漏率的计算见本规范第7 8,4条的条文说明,一般项目12、2、8.本条对管路吹扫方法、介质和吹扫合格标准的质量验收要求作出了规定