13 2.设备安装13,2、1、生产工艺设备安装施工条件宜符合下列规定、1,安装生产工艺设备前.洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h 照明系统应已正常工作。且现场应有便捷电源供应、2 大型 特殊要求的生产设备、应按设计要求在净化空调系统安装前就位。可按本规范附录A进行.3.洁净室.包括风淋室，应已启用、并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程,13、2.2。洁净室,区。内生产设备安装施工用辅助材料应符合下列规定.1、应为无尘 无锈。无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料、2。应以洁净、无尘的板材 薄膜等材料保护洁净室。区.的建筑装饰表面。3、设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作.如无要求时可用不锈钢板或塑料板 4 制作独立基础和地板加固用的碳钢型材应经防腐处理 表面应平整、光滑。5,用于嵌缝的弹性密封材料应有注明成分.品种 出厂日期、储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书。13.2,3。洁净室,区 使用的机具不得搬至非洁净室、区。使用 非洁净室 区、使用机具不得搬至洁净室，区,使用，洁净区使用机具应符合下列规定.1、机具外露部分不应产尘或采取防止尘埃污染环境的措施，2，常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理,应达到无油 无垢.无尘.无锈的要求，并应经检查合格贴上 洁净 或，洁净区专用 标识后搬入。13,2，4,设备特殊基础应符合下列规定，1，洁净室地面为活动地板时 基础宜设置在下技术夹层地坪上或混凝土多孔板上，2，钢制框架结构的独立基础应采用镀锌材料或不锈钢材料制作,外露表面应平整.光滑。3 安装基础所需拆除的活动地板,经手持电锯切割后的钢结构应予加固 其承载能力不应低于原承载能力、13。2 5,墙板、吊顶和活动地板开洞应符合下列规定.1。开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板 吊顶板表面 活动地板开口后不能及时安装基础时、应设安全护栏并设危险标识，2 生产设备安装后,洞口四周间隙应进行密封处理.并应做到设备与密封组件为柔性接触。密封组件与壁板的连接应紧密。牢固。工作间一侧的密封面应平整.光滑 13.2,6.拆除包装应符合下列规定、1。设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行,并不得破坏内包装。2 设备的内包装应在气闸室前拆除。拆除前应先用吸尘器、洁净布清除内包装外表面的尘粒 13。2。7 生产设备从搬入平台经搬入口.气闸室至洁净室 区,的搬运应符合下列规定 1、对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时、可保护性拆除门或洁净室隔断。应在设备搬入后再恢复到原有状态 2,沿搬运路线的门框，墙角等处应设保护措施，3,在活动地板上搬运设备时，应敷设软塑料保护层和不锈钢板或铝合金板 4 当搬运重量超过活动地板的承载能力时。应根据现场实际情况采取加固措施 并应采用不产尘的材料。13.2 8.洁净室 区,内搬运生产工艺设备，宜采用搬运车或气垫搬运装置、搬运时应控制其行进速度不得大于1m,s.13、2,9。设备就位安装应符合下列规定 1，在自流坪地面安装设备时。应有地面保护措施,2，在活动地板上吊装设备时、应核对活动地板的允许荷载,当允许荷载不能满足起吊荷重时。应对活动地板进行加固，3 设备就位安装需开孔时、应采用真空吸尘接口或吸尘器吸除所产生的尘粒.直至吸尽孔内积存的尘粒