13,2 设备安装13 2,1 生产工艺设备安装施工条件宜符合下列规定.1.安装生产工艺设备前.洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h、照明系统应已正常工作.且现场应有便捷电源供应。2,大型,特殊要求的生产设备.应按设计要求在净化空调系统安装前就位，可按本规范附录A进行.3、洁净室 包括风淋室，应已启用.并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程.13，2、2、洁净室 区.内生产设备安装施工用辅助材料应符合下列规定。1.应为无尘、无锈。无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料。2、应以洁净 无尘的板材.薄膜等材料保护洁净室、区 的建筑装饰表面、3,设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作，如无要求时可用不锈钢板或塑料板，4,制作独立基础和地板加固用的碳钢型材应经防腐处理。表面应平整。光滑。5,用于嵌缝的弹性密封材料应有注明成分，品种。出厂日期,储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书，13,2.3 洁净室。区。使用的机具不得搬至非洁净室、区、使用。非洁净室。区。使用机具不得搬至洁净室，区，使用,洁净区使用机具应符合下列规定 1，机具外露部分不应产尘或采取防止尘埃污染环境的措施，2.常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理。应达到无油.无垢 无尘.无锈的要求、并应经检查合格贴上.洁净，或 洁净区专用，标识后搬入，13。2.4.设备特殊基础应符合下列规定.1，洁净室地面为活动地板时,基础宜设置在下技术夹层地坪上或混凝土多孔板上。2.钢制框架结构的独立基础应采用镀锌材料或不锈钢材料制作.外露表面应平整。光滑.3.安装基础所需拆除的活动地板、经手持电锯切割后的钢结构应予加固,其承载能力不应低于原承载能力、13，2 5 墙板,吊顶和活动地板开洞应符合下列规定,1。开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板、吊顶板表面、活动地板开口后不能及时安装基础时.应设安全护栏并设危险标识,2.生产设备安装后。洞口四周间隙应进行密封处理、并应做到设备与密封组件为柔性接触，密封组件与壁板的连接应紧密 牢固，工作间一侧的密封面应平整，光滑、13，2，6.拆除包装应符合下列规定、1、设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行,并不得破坏内包装。2、设备的内包装应在气闸室前拆除，拆除前应先用吸尘器、洁净布清除内包装外表面的尘粒,13,2.7、生产设备从搬入平台经搬入口、气闸室至洁净室 区。的搬运应符合下列规定、1，对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时、可保护性拆除门或洁净室隔断，应在设备搬入后再恢复到原有状态,2，沿搬运路线的门框、墙角等处应设保护措施 3，在活动地板上搬运设备时、应敷设软塑料保护层和不锈钢板或铝合金板 4，当搬运重量超过活动地板的承载能力时,应根据现场实际情况采取加固措施、并应采用不产尘的材料、13。2、8，洁净室.区,内搬运生产工艺设备、宜采用搬运车或气垫搬运装置。搬运时应控制其行进速度不得大于1m s 13。2 9 设备就位安装应符合下列规定、1.在自流坪地面安装设备时，应有地面保护措施 2，在活动地板上吊装设备时、应核对活动地板的允许荷载,当允许荷载不能满足起吊荷重时。应对活动地板进行加固 3.设备就位安装需开孔时，应采用真空吸尘接口或吸尘器吸除所产生的尘粒。直至吸尽孔内积存的尘粒,