13 2、设备安装13。2。1、生产工艺设备安装施工条件宜符合下列规定。1 安装生产工艺设备前,洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h、照明系统应已正常工作 且现场应有便捷电源供应，2。大型，特殊要求的生产设备.应按设计要求在净化空调系统安装前就位、可按本规范附录A进行,3,洁净室,包括风淋室 应已启用 并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程,13。2,2。洁净室。区 内生产设备安装施工用辅助材料应符合下列规定,1。应为无尘,无锈.无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料。2，应以洁净 无尘的板材 薄膜等材料保护洁净室。区,的建筑装饰表面。3.设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作.如无要求时可用不锈钢板或塑料板。4,制作独立基础和地板加固用的碳钢型材应经防腐处理.表面应平整，光滑、5,用于嵌缝的弹性密封材料应有注明成分、品种 出厂日期 储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书。13、2.3.洁净室.区。使用的机具不得搬至非洁净室。区.使用.非洁净室,区,使用机具不得搬至洁净室 区,使用、洁净区使用机具应符合下列规定,1。机具外露部分不应产尘或采取防止尘埃污染环境的措施、2 常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理。应达到无油，无垢，无尘.无锈的要求、并应经检查合格贴上.洁净.或、洁净区专用、标识后搬入.13 2，4。设备特殊基础应符合下列规定，1,洁净室地面为活动地板时。基础宜设置在下技术夹层地坪上或混凝土多孔板上 2，钢制框架结构的独立基础应采用镀锌材料或不锈钢材料制作,外露表面应平整、光滑 3、安装基础所需拆除的活动地板、经手持电锯切割后的钢结构应予加固.其承载能力不应低于原承载能力.13。2.5、墙板,吊顶和活动地板开洞应符合下列规定，1.开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板。吊顶板表面 活动地板开口后不能及时安装基础时,应设安全护栏并设危险标识，2，生产设备安装后.洞口四周间隙应进行密封处理.并应做到设备与密封组件为柔性接触 密封组件与壁板的连接应紧密,牢固 工作间一侧的密封面应平整 光滑，13.2、6。拆除包装应符合下列规定 1.设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行、并不得破坏内包装 2、设备的内包装应在气闸室前拆除.拆除前应先用吸尘器,洁净布清除内包装外表面的尘粒,13,2.7.生产设备从搬入平台经搬入口、气闸室至洁净室,区.的搬运应符合下列规定 1、对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时.可保护性拆除门或洁净室隔断，应在设备搬入后再恢复到原有状态,2、沿搬运路线的门框，墙角等处应设保护措施,3 在活动地板上搬运设备时.应敷设软塑料保护层和不锈钢板或铝合金板、4。当搬运重量超过活动地板的承载能力时，应根据现场实际情况采取加固措施,并应采用不产尘的材料、13,2，8。洁净室 区，内搬运生产工艺设备。宜采用搬运车或气垫搬运装置,搬运时应控制其行进速度不得大于1m s。13、2 9,设备就位安装应符合下列规定 1 在自流坪地面安装设备时 应有地面保护措施、2、在活动地板上吊装设备时.应核对活动地板的允许荷载，当允许荷载不能满足起吊荷重时,应对活动地板进行加固。3。设备就位安装需开孔时 应采用真空吸尘接口或吸尘器吸除所产生的尘粒，直至吸尽孔内积存的尘粒