13.2,设备安装13。2,1，生产工艺设备安装施工条件宜符合下列规定.1.安装生产工艺设备前，洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h、照明系统应已正常工作。且现场应有便捷电源供应。2，大型，特殊要求的生产设备、应按设计要求在净化空调系统安装前就位,可按本规范附录A进行。3、洁净室.包括风淋室，应已启用 并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程。13 2 2，洁净室.区.内生产设备安装施工用辅助材料应符合下列规定。1,应为无尘，无锈。无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料、2,应以洁净。无尘的板材,薄膜等材料保护洁净室、区.的建筑装饰表面.3 设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作.如无要求时可用不锈钢板或塑料板。4、制作独立基础和地板加固用的碳钢型材应经防腐处理.表面应平整、光滑.5，用于嵌缝的弹性密封材料应有注明成分.品种,出厂日期，储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书。13.2、3 洁净室，区。使用的机具不得搬至非洁净室。区.使用。非洁净室 区，使用机具不得搬至洁净室、区，使用.洁净区使用机具应符合下列规定 1.机具外露部分不应产尘或采取防止尘埃污染环境的措施.2,常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理。应达到无油。无垢,无尘，无锈的要求.并应经检查合格贴上 洁净,或。洁净区专用。标识后搬入.13。2，4 设备特殊基础应符合下列规定 1.洁净室地面为活动地板时、基础宜设置在下技术夹层地坪上或混凝土多孔板上、2 钢制框架结构的独立基础应采用镀锌材料或不锈钢材料制作，外露表面应平整、光滑、3,安装基础所需拆除的活动地板、经手持电锯切割后的钢结构应予加固。其承载能力不应低于原承载能力，13、2，5 墙板、吊顶和活动地板开洞应符合下列规定,1、开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板。吊顶板表面,活动地板开口后不能及时安装基础时。应设安全护栏并设危险标识，2、生产设备安装后，洞口四周间隙应进行密封处理 并应做到设备与密封组件为柔性接触 密封组件与壁板的连接应紧密 牢固 工作间一侧的密封面应平整。光滑 13.2。6 拆除包装应符合下列规定 1.设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行,并不得破坏内包装.2 设备的内包装应在气闸室前拆除,拆除前应先用吸尘器,洁净布清除内包装外表面的尘粒、13，2,7.生产设备从搬入平台经搬入口 气闸室至洁净室,区 的搬运应符合下列规定，1,对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时，可保护性拆除门或洁净室隔断,应在设备搬入后再恢复到原有状态 2,沿搬运路线的门框。墙角等处应设保护措施.3，在活动地板上搬运设备时 应敷设软塑料保护层和不锈钢板或铝合金板，4 当搬运重量超过活动地板的承载能力时 应根据现场实际情况采取加固措施.并应采用不产尘的材料、13.2,8,洁净室 区.内搬运生产工艺设备、宜采用搬运车或气垫搬运装置 搬运时应控制其行进速度不得大于1m、s,13。2.9。设备就位安装应符合下列规定。1 在自流坪地面安装设备时，应有地面保护措施。2，在活动地板上吊装设备时 应核对活动地板的允许荷载 当允许荷载不能满足起吊荷重时，应对活动地板进行加固、3、设备就位安装需开孔时 应采用真空吸尘接口或吸尘器吸除所产生的尘粒、直至吸尽孔内积存的尘粒。