13，2,设备安装13。2,1，生产工艺设备安装施工条件宜符合下列规定，1、安装生产工艺设备前 洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h,照明系统应已正常工作.且现场应有便捷电源供应、2，大型.特殊要求的生产设备、应按设计要求在净化空调系统安装前就位,可按本规范附录A进行 3.洁净室。包括风淋室 应已启用.并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程。13 2 2，洁净室，区.内生产设备安装施工用辅助材料应符合下列规定。1,应为无尘 无锈、无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料.2，应以洁净、无尘的板材,薄膜等材料保护洁净室 区.的建筑装饰表面.3、设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作，如无要求时可用不锈钢板或塑料板 4 制作独立基础和地板加固用的碳钢型材应经防腐处理。表面应平整。光滑,5.用于嵌缝的弹性密封材料应有注明成分，品种.出厂日期。储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书.13,2.3.洁净室 区 使用的机具不得搬至非洁净室 区，使用,非洁净室 区.使用机具不得搬至洁净室、区,使用、洁净区使用机具应符合下列规定,1。机具外露部分不应产尘或采取防止尘埃污染环境的措施,2。常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理.应达到无油.无垢、无尘，无锈的要求，并应经检查合格贴上、洁净 或 洁净区专用、标识后搬入 13、2、4 设备特殊基础应符合下列规定 1,洁净室地面为活动地板时 基础宜设置在下技术夹层地坪上或混凝土多孔板上，2 钢制框架结构的独立基础应采用镀锌材料或不锈钢材料制作。外露表面应平整 光滑，3 安装基础所需拆除的活动地板,经手持电锯切割后的钢结构应予加固，其承载能力不应低于原承载能力，13、2,5.墙板 吊顶和活动地板开洞应符合下列规定,1。开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板 吊顶板表面,活动地板开口后不能及时安装基础时。应设安全护栏并设危险标识 2,生产设备安装后，洞口四周间隙应进行密封处理。并应做到设备与密封组件为柔性接触.密封组件与壁板的连接应紧密、牢固、工作间一侧的密封面应平整 光滑,13,2、6，拆除包装应符合下列规定,1、设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行、并不得破坏内包装,2。设备的内包装应在气闸室前拆除,拆除前应先用吸尘器 洁净布清除内包装外表面的尘粒,13、2.7，生产设备从搬入平台经搬入口，气闸室至洁净室 区.的搬运应符合下列规定.1。对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时,可保护性拆除门或洁净室隔断.应在设备搬入后再恢复到原有状态.2、沿搬运路线的门框、墙角等处应设保护措施.3 在活动地板上搬运设备时 应敷设软塑料保护层和不锈钢板或铝合金板，4。当搬运重量超过活动地板的承载能力时。应根据现场实际情况采取加固措施，并应采用不产尘的材料。13.2、8,洁净室、区,内搬运生产工艺设备、宜采用搬运车或气垫搬运装置，搬运时应控制其行进速度不得大于1m、s、13 2。9 设备就位安装应符合下列规定 1.在自流坪地面安装设备时。应有地面保护措施.2,在活动地板上吊装设备时。应核对活动地板的允许荷载,当允许荷载不能满足起吊荷重时。应对活动地板进行加固，3 设备就位安装需开孔时，应采用真空吸尘接口或吸尘器吸除所产生的尘粒，直至吸尽孔内积存的尘粒