13。2 设备安装13 2 1。生产工艺设备安装施工条件宜符合下列规定,1，安装生产工艺设备前.洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h，照明系统应已正常工作 且现场应有便捷电源供应.2,大型 特殊要求的生产设备.应按设计要求在净化空调系统安装前就位.可按本规范附录A进行 3.洁净室、包括风淋室.应已启用 并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程。13.2、2。洁净室 区,内生产设备安装施工用辅助材料应符合下列规定。1，应为无尘.无锈。无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料，2 应以洁净，无尘的板材.薄膜等材料保护洁净室、区.的建筑装饰表面。3,设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作、如无要求时可用不锈钢板或塑料板 4 制作独立基础和地板加固用的碳钢型材应经防腐处理,表面应平整、光滑、5.用于嵌缝的弹性密封材料应有注明成分、品种，出厂日期，储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书。13,2。3、洁净室.区。使用的机具不得搬至非洁净室、区.使用,非洁净室、区,使用机具不得搬至洁净室。区、使用,洁净区使用机具应符合下列规定,1。机具外露部分不应产尘或采取防止尘埃污染环境的措施，2.常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理.应达到无油。无垢、无尘 无锈的要求.并应经检查合格贴上.洁净,或、洁净区专用 标识后搬入,13、2,4、设备特殊基础应符合下列规定。1.洁净室地面为活动地板时 基础宜设置在下技术夹层地坪上或混凝土多孔板上。2，钢制框架结构的独立基础应采用镀锌材料或不锈钢材料制作 外露表面应平整、光滑，3。安装基础所需拆除的活动地板 经手持电锯切割后的钢结构应予加固。其承载能力不应低于原承载能力.13.2 5.墙板。吊顶和活动地板开洞应符合下列规定 1 开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板.吊顶板表面。活动地板开口后不能及时安装基础时 应设安全护栏并设危险标识,2,生产设备安装后.洞口四周间隙应进行密封处理。并应做到设备与密封组件为柔性接触，密封组件与壁板的连接应紧密、牢固、工作间一侧的密封面应平整 光滑。13.2、6,拆除包装应符合下列规定,1 设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行.并不得破坏内包装 2、设备的内包装应在气闸室前拆除.拆除前应先用吸尘器。洁净布清除内包装外表面的尘粒、13。2，7，生产设备从搬入平台经搬入口.气闸室至洁净室，区,的搬运应符合下列规定.1，对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时，可保护性拆除门或洁净室隔断 应在设备搬入后再恢复到原有状态,2。沿搬运路线的门框 墙角等处应设保护措施 3,在活动地板上搬运设备时，应敷设软塑料保护层和不锈钢板或铝合金板。4 当搬运重量超过活动地板的承载能力时 应根据现场实际情况采取加固措施,并应采用不产尘的材料,13.2,8。洁净室，区，内搬运生产工艺设备，宜采用搬运车或气垫搬运装置 搬运时应控制其行进速度不得大于1m s，13,2。9。设备就位安装应符合下列规定.1.在自流坪地面安装设备时、应有地面保护措施、2 在活动地板上吊装设备时 应核对活动地板的允许荷载。当允许荷载不能满足起吊荷重时。应对活动地板进行加固。3，设备就位安装需开孔时。应采用真空吸尘接口或吸尘器吸除所产生的尘粒，直至吸尽孔内积存的尘粒.