13、2，设备安装13 2，1.生产工艺设备安装施工条件宜符合下列规定,1 安装生产工艺设备前.洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h，照明系统应已正常工作、且现场应有便捷电源供应.2、大型。特殊要求的生产设备，应按设计要求在净化空调系统安装前就位、可按本规范附录A进行.3，洁净室，包括风淋室。应已启用.并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程、13.2,2 洁净室。区，内生产设备安装施工用辅助材料应符合下列规定 1、应为无尘.无锈.无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料.2，应以洁净 无尘的板材、薄膜等材料保护洁净室.区 的建筑装饰表面，3，设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作，如无要求时可用不锈钢板或塑料板、4，制作独立基础和地板加固用的碳钢型材应经防腐处理,表面应平整。光滑、5。用于嵌缝的弹性密封材料应有注明成分 品种。出厂日期。储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书 13,2.3.洁净室。区.使用的机具不得搬至非洁净室、区,使用。非洁净室,区,使用机具不得搬至洁净室。区,使用,洁净区使用机具应符合下列规定 1 机具外露部分不应产尘或采取防止尘埃污染环境的措施,2,常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理、应达到无油.无垢、无尘、无锈的要求,并应经检查合格贴上 洁净,或.洁净区专用,标识后搬入、13。2，4.设备特殊基础应符合下列规定。1,洁净室地面为活动地板时.基础宜设置在下技术夹层地坪上或混凝土多孔板上 2.钢制框架结构的独立基础应采用镀锌材料或不锈钢材料制作,外露表面应平整,光滑,3。安装基础所需拆除的活动地板 经手持电锯切割后的钢结构应予加固，其承载能力不应低于原承载能力.13，2，5。墙板.吊顶和活动地板开洞应符合下列规定。1,开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板，吊顶板表面.活动地板开口后不能及时安装基础时,应设安全护栏并设危险标识。2.生产设备安装后，洞口四周间隙应进行密封处理。并应做到设备与密封组件为柔性接触 密封组件与壁板的连接应紧密.牢固，工作间一侧的密封面应平整、光滑.13,2 6 拆除包装应符合下列规定，1、设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行,并不得破坏内包装，2。设备的内包装应在气闸室前拆除，拆除前应先用吸尘器、洁净布清除内包装外表面的尘粒,13 2，7、生产设备从搬入平台经搬入口。气闸室至洁净室,区.的搬运应符合下列规定.1 对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时,可保护性拆除门或洁净室隔断、应在设备搬入后再恢复到原有状态.2 沿搬运路线的门框 墙角等处应设保护措施.3,在活动地板上搬运设备时，应敷设软塑料保护层和不锈钢板或铝合金板,4.当搬运重量超过活动地板的承载能力时.应根据现场实际情况采取加固措施，并应采用不产尘的材料.13，2、8、洁净室.区、内搬运生产工艺设备,宜采用搬运车或气垫搬运装置.搬运时应控制其行进速度不得大于1m,s,13 2.9.设备就位安装应符合下列规定，1,在自流坪地面安装设备时、应有地面保护措施 2。在活动地板上吊装设备时,应核对活动地板的允许荷载，当允许荷载不能满足起吊荷重时,应对活动地板进行加固.3.设备就位安装需开孔时、应采用真空吸尘接口或吸尘器吸除所产生的尘粒.直至吸尽孔内积存的尘粒