13、2、设备安装13.2 1.生产工艺设备安装施工条件宜符合下列规定,1。安装生产工艺设备前,洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h 照明系统应已正常工作,且现场应有便捷电源供应。2 大型.特殊要求的生产设备。应按设计要求在净化空调系统安装前就位、可按本规范附录A进行 3,洁净室,包括风淋室 应已启用、并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程，13,2、2.洁净室。区.内生产设备安装施工用辅助材料应符合下列规定、1 应为无尘、无锈,无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料、2 应以洁净。无尘的板材.薄膜等材料保护洁净室 区，的建筑装饰表面，3 设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作。如无要求时可用不锈钢板或塑料板,4,制作独立基础和地板加固用的碳钢型材应经防腐处理，表面应平整。光滑、5 用于嵌缝的弹性密封材料应有注明成分，品种、出厂日期.储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书.13 2。3。洁净室 区,使用的机具不得搬至非洁净室 区、使用 非洁净室,区.使用机具不得搬至洁净室 区。使用。洁净区使用机具应符合下列规定。1、机具外露部分不应产尘或采取防止尘埃污染环境的措施，2。常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理.应达到无油,无垢。无尘。无锈的要求，并应经检查合格贴上,洁净、或 洁净区专用、标识后搬入,13、2,4.设备特殊基础应符合下列规定 1 洁净室地面为活动地板时。基础宜设置在下技术夹层地坪上或混凝土多孔板上。2 钢制框架结构的独立基础应采用镀锌材料或不锈钢材料制作 外露表面应平整，光滑,3,安装基础所需拆除的活动地板.经手持电锯切割后的钢结构应予加固。其承载能力不应低于原承载能力，13。2，5，墙板、吊顶和活动地板开洞应符合下列规定、1。开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板，吊顶板表面。活动地板开口后不能及时安装基础时、应设安全护栏并设危险标识、2.生产设备安装后。洞口四周间隙应进行密封处理，并应做到设备与密封组件为柔性接触，密封组件与壁板的连接应紧密。牢固，工作间一侧的密封面应平整,光滑，13 2 6、拆除包装应符合下列规定.1.设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行,并不得破坏内包装,2,设备的内包装应在气闸室前拆除。拆除前应先用吸尘器 洁净布清除内包装外表面的尘粒 13。2.7，生产设备从搬入平台经搬入口,气闸室至洁净室、区,的搬运应符合下列规定.1，对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时。可保护性拆除门或洁净室隔断,应在设备搬入后再恢复到原有状态 2，沿搬运路线的门框、墙角等处应设保护措施 3。在活动地板上搬运设备时。应敷设软塑料保护层和不锈钢板或铝合金板,4 当搬运重量超过活动地板的承载能力时，应根据现场实际情况采取加固措施、并应采用不产尘的材料 13,2、8、洁净室。区、内搬运生产工艺设备、宜采用搬运车或气垫搬运装置 搬运时应控制其行进速度不得大于1m，s、13.2 9.设备就位安装应符合下列规定，1，在自流坪地面安装设备时,应有地面保护措施,2。在活动地板上吊装设备时.应核对活动地板的允许荷载，当允许荷载不能满足起吊荷重时.应对活动地板进行加固,3 设备就位安装需开孔时，应采用真空吸尘接口或吸尘器吸除所产生的尘粒 直至吸尽孔内积存的尘粒.