13 2 设备安装13。2.1.生产工艺设备安装施工条件宜符合下列规定。1、安装生产工艺设备前,洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h 照明系统应已正常工作,且现场应有便捷电源供应。2，大型,特殊要求的生产设备,应按设计要求在净化空调系统安装前就位,可按本规范附录A进行 3。洁净室，包括风淋室，应已启用,并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程 13,2。2 洁净室.区 内生产设备安装施工用辅助材料应符合下列规定，1。应为无尘.无锈,无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料 2，应以洁净 无尘的板材。薄膜等材料保护洁净室。区。的建筑装饰表面，3、设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作.如无要求时可用不锈钢板或塑料板，4，制作独立基础和地板加固用的碳钢型材应经防腐处理,表面应平整，光滑，5。用于嵌缝的弹性密封材料应有注明成分。品种。出厂日期,储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书、13。2。3，洁净室 区.使用的机具不得搬至非洁净室.区 使用、非洁净室。区,使用机具不得搬至洁净室.区、使用，洁净区使用机具应符合下列规定.1、机具外露部分不应产尘或采取防止尘埃污染环境的措施,2、常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理.应达到无油、无垢 无尘、无锈的要求.并应经检查合格贴上.洁净 或 洁净区专用、标识后搬入 13.2 4、设备特殊基础应符合下列规定，1、洁净室地面为活动地板时。基础宜设置在下技术夹层地坪上或混凝土多孔板上.2。钢制框架结构的独立基础应采用镀锌材料或不锈钢材料制作 外露表面应平整.光滑.3。安装基础所需拆除的活动地板、经手持电锯切割后的钢结构应予加固，其承载能力不应低于原承载能力.13,2.5 墙板.吊顶和活动地板开洞应符合下列规定 1，开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板、吊顶板表面。活动地板开口后不能及时安装基础时，应设安全护栏并设危险标识、2.生产设备安装后。洞口四周间隙应进行密封处理,并应做到设备与密封组件为柔性接触、密封组件与壁板的连接应紧密.牢固.工作间一侧的密封面应平整 光滑 13、2。6 拆除包装应符合下列规定.1、设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行 并不得破坏内包装.2 设备的内包装应在气闸室前拆除，拆除前应先用吸尘器 洁净布清除内包装外表面的尘粒.13。2。7,生产设备从搬入平台经搬入口.气闸室至洁净室,区，的搬运应符合下列规定 1 对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时，可保护性拆除门或洁净室隔断、应在设备搬入后再恢复到原有状态，2、沿搬运路线的门框.墙角等处应设保护措施，3、在活动地板上搬运设备时。应敷设软塑料保护层和不锈钢板或铝合金板,4.当搬运重量超过活动地板的承载能力时，应根据现场实际情况采取加固措施。并应采用不产尘的材料,13.2。8,洁净室,区、内搬运生产工艺设备.宜采用搬运车或气垫搬运装置 搬运时应控制其行进速度不得大于1m s,13,2,9、设备就位安装应符合下列规定、1,在自流坪地面安装设备时，应有地面保护措施，2.在活动地板上吊装设备时 应核对活动地板的允许荷载，当允许荷载不能满足起吊荷重时.应对活动地板进行加固.3，设备就位安装需开孔时。应采用真空吸尘接口或吸尘器吸除所产生的尘粒。直至吸尽孔内积存的尘粒.