13、2。设备安装13,2、1.生产工艺设备安装施工条件宜符合下列规定。1 安装生产工艺设备前，洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h。照明系统应已正常工作,且现场应有便捷电源供应，2,大型 特殊要求的生产设备、应按设计要求在净化空调系统安装前就位。可按本规范附录A进行,3 洁净室。包括风淋室。应已启用、并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程，13。2。2，洁净室.区,内生产设备安装施工用辅助材料应符合下列规定 1.应为无尘.无锈，无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料,2 应以洁净。无尘的板材，薄膜等材料保护洁净室。区，的建筑装饰表面、3,设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作,如无要求时可用不锈钢板或塑料板，4。制作独立基础和地板加固用的碳钢型材应经防腐处理.表面应平整、光滑，5，用于嵌缝的弹性密封材料应有注明成分、品种 出厂日期 储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书 13、2。3。洁净室 区。使用的机具不得搬至非洁净室,区，使用 非洁净室、区,使用机具不得搬至洁净室，区。使用，洁净区使用机具应符合下列规定、1、机具外露部分不应产尘或采取防止尘埃污染环境的措施 2，常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理、应达到无油.无垢.无尘 无锈的要求，并应经检查合格贴上 洁净。或 洁净区专用.标识后搬入 13，2 4 设备特殊基础应符合下列规定、1。洁净室地面为活动地板时,基础宜设置在下技术夹层地坪上或混凝土多孔板上.2 钢制框架结构的独立基础应采用镀锌材料或不锈钢材料制作。外露表面应平整 光滑,3,安装基础所需拆除的活动地板。经手持电锯切割后的钢结构应予加固 其承载能力不应低于原承载能力，13 2 5.墙板,吊顶和活动地板开洞应符合下列规定、1 开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板,吊顶板表面，活动地板开口后不能及时安装基础时,应设安全护栏并设危险标识,2。生产设备安装后，洞口四周间隙应进行密封处理,并应做到设备与密封组件为柔性接触，密封组件与壁板的连接应紧密，牢固 工作间一侧的密封面应平整,光滑.13。2 6,拆除包装应符合下列规定 1，设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行。并不得破坏内包装。2、设备的内包装应在气闸室前拆除 拆除前应先用吸尘器，洁净布清除内包装外表面的尘粒,13，2、7。生产设备从搬入平台经搬入口、气闸室至洁净室，区，的搬运应符合下列规定,1.对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时、可保护性拆除门或洁净室隔断 应在设备搬入后再恢复到原有状态,2，沿搬运路线的门框，墙角等处应设保护措施 3、在活动地板上搬运设备时 应敷设软塑料保护层和不锈钢板或铝合金板、4.当搬运重量超过活动地板的承载能力时，应根据现场实际情况采取加固措施 并应采用不产尘的材料 13 2，8,洁净室 区，内搬运生产工艺设备,宜采用搬运车或气垫搬运装置，搬运时应控制其行进速度不得大于1m，s 13,2 9.设备就位安装应符合下列规定，1、在自流坪地面安装设备时。应有地面保护措施,2、在活动地板上吊装设备时.应核对活动地板的允许荷载 当允许荷载不能满足起吊荷重时。应对活动地板进行加固，3。设备就位安装需开孔时、应采用真空吸尘接口或吸尘器吸除所产生的尘粒。直至吸尽孔内积存的尘粒.