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13.2.设备安装13 2,1,生产工艺设备安装施工条件宜符合下列规定、1、安装生产工艺设备前、洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h,照明系统应已正常工作,且现场应有便捷电源供应.2.大型.特殊要求的生产设备,应按设计要求在净化空调系统安装前就位,可按本规范附录A进行,3、洁净室。包括风淋室,应已启用.并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程。13。2、2。洁净室、区,内生产设备安装施工用辅助材料应符合下列规定。1。应为无尘,无锈,无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料 2,应以洁净.无尘的板材,薄膜等材料保护洁净室。区。的建筑装饰表面、3.设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作,如无要求时可用不锈钢板或塑料板 4,制作独立基础和地板加固用的碳钢型材应经防腐处理,表面应平整,光滑、5,用于嵌缝的弹性密封材料应有注明成分,品种,出厂日期、储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书.13。2,3。洁净室。区.使用的机具不得搬至非洁净室、区,使用 非洁净室.区、使用机具不得搬至洁净室,区,使用,洁净区使用机具应符合下列规定,1,机具外露部分不应产尘或采取防止尘埃污染环境的措施,2,常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理,应达到无油。无垢 无尘、无锈的要求、并应经检查合格贴上,洁净 或。洁净区专用,标识后搬入,13。2 4 设备特殊基础应符合下列规定、1.洁净室地面为活动地板时.基础宜设置在下技术夹层地坪上或混凝土多孔板上.2,钢制框架结构的独立基础应采用镀锌材料或不锈钢材料制作.外露表面应平整、光滑 3,安装基础所需拆除的活动地板.经手持电锯切割后的钢结构应予加固 其承载能力不应低于原承载能力,13,2 5,墙板,吊顶和活动地板开洞应符合下列规定、1、开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板.吊顶板表面、活动地板开口后不能及时安装基础时,应设安全护栏并设危险标识 2。生产设备安装后 洞口四周间隙应进行密封处理 并应做到设备与密封组件为柔性接触.密封组件与壁板的连接应紧密。牢固,工作间一侧的密封面应平整,光滑,13.2。6 拆除包装应符合下列规定、1 设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行,并不得破坏内包装 2、设备的内包装应在气闸室前拆除。拆除前应先用吸尘器、洁净布清除内包装外表面的尘粒。13,2,7、生产设备从搬入平台经搬入口 气闸室至洁净室。区.的搬运应符合下列规定。1.对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时、可保护性拆除门或洁净室隔断、应在设备搬入后再恢复到原有状态,2.沿搬运路线的门框。墙角等处应设保护措施 3 在活动地板上搬运设备时,应敷设软塑料保护层和不锈钢板或铝合金板.4、当搬运重量超过活动地板的承载能力时.应根据现场实际情况采取加固措施,并应采用不产尘的材料,13 2 8 洁净室、区.内搬运生产工艺设备,宜采用搬运车或气垫搬运装置 搬运时应控制其行进速度不得大于1m s,13 2,9、设备就位安装应符合下列规定,1.在自流坪地面安装设备时 应有地面保护措施,2 在活动地板上吊装设备时.应核对活动地板的允许荷载 当允许荷载不能满足起吊荷重时 应对活动地板进行加固、3。设备就位安装需开孔时,应采用真空吸尘接口或吸尘器吸除所产生的尘粒。直至吸尽孔内积存的尘粒.

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