13 2,设备安装13，2,1，生产工艺设备安装施工条件宜符合下列规定、1，安装生产工艺设备前、洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h，照明系统应已正常工作.且现场应有便捷电源供应。2 大型 特殊要求的生产设备，应按设计要求在净化空调系统安装前就位.可按本规范附录A进行.3,洁净室 包括风淋室、应已启用,并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程，13,2.2.洁净室、区,内生产设备安装施工用辅助材料应符合下列规定,1，应为无尘 无锈.无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料，2、应以洁净 无尘的板材，薄膜等材料保护洁净室。区,的建筑装饰表面、3 设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作 如无要求时可用不锈钢板或塑料板、4.制作独立基础和地板加固用的碳钢型材应经防腐处理。表面应平整、光滑。5,用于嵌缝的弹性密封材料应有注明成分,品种,出厂日期、储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书 13、2、3,洁净室、区，使用的机具不得搬至非洁净室,区、使用，非洁净室、区。使用机具不得搬至洁净室。区、使用 洁净区使用机具应符合下列规定、1 机具外露部分不应产尘或采取防止尘埃污染环境的措施。2，常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理 应达到无油，无垢,无尘，无锈的要求 并应经检查合格贴上。洁净,或 洁净区专用.标识后搬入,13，2，4.设备特殊基础应符合下列规定、1,洁净室地面为活动地板时，基础宜设置在下技术夹层地坪上或混凝土多孔板上，2,钢制框架结构的独立基础应采用镀锌材料或不锈钢材料制作、外露表面应平整。光滑,3.安装基础所需拆除的活动地板，经手持电锯切割后的钢结构应予加固，其承载能力不应低于原承载能力.13,2.5、墙板,吊顶和活动地板开洞应符合下列规定.1.开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板 吊顶板表面 活动地板开口后不能及时安装基础时.应设安全护栏并设危险标识,2.生产设备安装后.洞口四周间隙应进行密封处理.并应做到设备与密封组件为柔性接触 密封组件与壁板的连接应紧密.牢固,工作间一侧的密封面应平整、光滑、13,2，6,拆除包装应符合下列规定。1，设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行。并不得破坏内包装，2，设备的内包装应在气闸室前拆除、拆除前应先用吸尘器,洁净布清除内包装外表面的尘粒,13。2，7,生产设备从搬入平台经搬入口、气闸室至洁净室、区、的搬运应符合下列规定.1，对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时、可保护性拆除门或洁净室隔断,应在设备搬入后再恢复到原有状态.2，沿搬运路线的门框.墙角等处应设保护措施 3、在活动地板上搬运设备时，应敷设软塑料保护层和不锈钢板或铝合金板、4 当搬运重量超过活动地板的承载能力时,应根据现场实际情况采取加固措施。并应采用不产尘的材料。13。2、8。洁净室,区.内搬运生产工艺设备 宜采用搬运车或气垫搬运装置,搬运时应控制其行进速度不得大于1m，s、13,2、9、设备就位安装应符合下列规定、1，在自流坪地面安装设备时.应有地面保护措施.2 在活动地板上吊装设备时、应核对活动地板的允许荷载,当允许荷载不能满足起吊荷重时 应对活动地板进行加固.3,设备就位安装需开孔时、应采用真空吸尘接口或吸尘器吸除所产生的尘粒.直至吸尽孔内积存的尘粒