13 2，设备安装13。2 1、生产工艺设备安装施工条件宜符合下列规定。1,安装生产工艺设备前、洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h。照明系统应已正常工作、且现场应有便捷电源供应。2、大型。特殊要求的生产设备 应按设计要求在净化空调系统安装前就位、可按本规范附录A进行、3.洁净室,包括风淋室 应已启用、并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程.13，2、2.洁净室、区 内生产设备安装施工用辅助材料应符合下列规定。1 应为无尘,无锈。无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料,2、应以洁净,无尘的板材.薄膜等材料保护洁净室。区,的建筑装饰表面,3。设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作。如无要求时可用不锈钢板或塑料板。4、制作独立基础和地板加固用的碳钢型材应经防腐处理,表面应平整，光滑.5.用于嵌缝的弹性密封材料应有注明成分、品种 出厂日期 储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书。13、2，3.洁净室，区、使用的机具不得搬至非洁净室,区，使用.非洁净室.区,使用机具不得搬至洁净室 区 使用,洁净区使用机具应符合下列规定、1 机具外露部分不应产尘或采取防止尘埃污染环境的措施、2，常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理、应达到无油.无垢、无尘、无锈的要求、并应经检查合格贴上，洁净、或、洁净区专用 标识后搬入.13,2。4,设备特殊基础应符合下列规定,1,洁净室地面为活动地板时。基础宜设置在下技术夹层地坪上或混凝土多孔板上、2，钢制框架结构的独立基础应采用镀锌材料或不锈钢材料制作 外露表面应平整.光滑，3。安装基础所需拆除的活动地板，经手持电锯切割后的钢结构应予加固、其承载能力不应低于原承载能力，13.2,5，墙板。吊顶和活动地板开洞应符合下列规定、1，开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板，吊顶板表面 活动地板开口后不能及时安装基础时,应设安全护栏并设危险标识 2。生产设备安装后。洞口四周间隙应进行密封处理.并应做到设备与密封组件为柔性接触,密封组件与壁板的连接应紧密,牢固、工作间一侧的密封面应平整.光滑、13.2，6，拆除包装应符合下列规定.1,设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行、并不得破坏内包装.2，设备的内包装应在气闸室前拆除。拆除前应先用吸尘器,洁净布清除内包装外表面的尘粒。13,2.7,生产设备从搬入平台经搬入口,气闸室至洁净室。区,的搬运应符合下列规定。1，对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时，可保护性拆除门或洁净室隔断。应在设备搬入后再恢复到原有状态。2、沿搬运路线的门框。墙角等处应设保护措施 3,在活动地板上搬运设备时、应敷设软塑料保护层和不锈钢板或铝合金板,4,当搬运重量超过活动地板的承载能力时，应根据现场实际情况采取加固措施、并应采用不产尘的材料、13、2.8 洁净室，区,内搬运生产工艺设备 宜采用搬运车或气垫搬运装置,搬运时应控制其行进速度不得大于1m.s.13。2,9，设备就位安装应符合下列规定、1,在自流坪地面安装设备时，应有地面保护措施。2。在活动地板上吊装设备时，应核对活动地板的允许荷载 当允许荷载不能满足起吊荷重时、应对活动地板进行加固。3。设备就位安装需开孔时，应采用真空吸尘接口或吸尘器吸除所产生的尘粒。直至吸尽孔内积存的尘粒.