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附录C,测试方法C 1,空气洁净度等级测试C.1、1.C,1,8、为了方便实施本节的相关要求.在本条文说明中列入2个空气洁净度等级计算实例,供参考,1。空气洁净度等级计算例1、本例摘自国际标准、洁净室及相关受控环境、第4部分、设计。施工。启动 ISO。14644,1附录D中的例2。是为了说明95.置信度上限值计算对结果的影响、规定一洁净室空气悬浮粒子洁净度动态时为ISO3级.采样点数目定为5个、由于采样点数目多于1个,少于10个。应计算95、置信度上限值、只选择一种粒径限值。D,0、1μm、1 ISO3级.粒径大于或等于0 1μm的粒子浓度限值,Cn,0,1μm.1000个、m3 2,在各采样点仅采样一次.各点每立方米的粒子数目X记录见表4 表4.采样点粒子数,D。0.1μm时各粒子浓度值小于,1,中规定的限值。这个结果满足了分级的相关规定,因此可进行95,置信度上限值的计算、3.按公式计算总平均值 取800个,m3 4.按公式计算采样点平均值的标准偏差、6 所有单次采样量的粒子浓度均低于规定的分级限值 但是95 置信度上限值的计算表明、该洁净室的空气悬浮粒子洁净度不符合规定的级别.本例说明 一个单次采样的限值外低粒子浓度、即第5个采样点,对95、置信度上限值计算结果的影响。因为空气洁净度未达标是由于该95 置信度上限值造成的.而这一上限值是由单个的低粒子浓度值造成.因此应记录。分析造成低粒子浓度的可疑因素。由相关各方协商认可,2。空气洁净度等级计算例2、被测洁净室。区,面积为1000m2 空气洁净度等级为ISO5级,规定受控粒子粒径为0。3μm D1。0.5μm,D2。根据测试结果确定在动态下是否符合规定的悬浮粒子允许浓度限值,1 规定的粒径均在现行标准ISO5级粒径范围 并符合D2.1 5D1的要求、2 计算最大允许悬浮粒子浓度,对大于或等于0。3μm的粒子、选用采样量为28L。min的粒子计数器.这一选择满足.VS,2L、Cnm。20个.m3的要求、其采样时间大于或等于1min,5,在每个采样点仅作一次采样,28L。min、测试得到的计数记录见表5。表5.计数表.一 6、以测试数据.折算为每立方米的粒子数 Xi.见表6 表6.计数表.二,
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