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附录C 测试方法C 1、空气洁净度等级测试C.1 1,C、1。8,为了方便实施本节的相关要求.在本条文说明中列入2个空气洁净度等级计算实例.供参考,1、空气洁净度等级计算例1 本例摘自国际标准、洁净室及相关受控环境 第4部分、设计.施工.启动 ISO。14644。1附录D中的例2,是为了说明95 置信度上限值计算对结果的影响 规定一洁净室空气悬浮粒子洁净度动态时为ISO3级 采样点数目定为5个 由于采样点数目多于1个。少于10个 应计算95,置信度上限值.只选择一种粒径限值,D。0、1μm 1 ISO3级。粒径大于或等于0,1μm的粒子浓度限值 Cn。0。1μm、1000个。m3,2,在各采样点仅采样一次,各点每立方米的粒子数目X记录见表4,表4,采样点粒子数.D、0,1μm时各粒子浓度值小于.1.中规定的限值,这个结果满足了分级的相关规定.因此可进行95、置信度上限值的计算,3 按公式计算总平均值、取800个 m3。4,按公式计算采样点平均值的标准偏差,6。所有单次采样量的粒子浓度均低于规定的分级限值 但是95,置信度上限值的计算表明 该洁净室的空气悬浮粒子洁净度不符合规定的级别 本例说明 一个单次采样的限值外低粒子浓度、即第5个采样点、对95.置信度上限值计算结果的影响、因为空气洁净度未达标是由于该95,置信度上限值造成的.而这一上限值是由单个的低粒子浓度值造成,因此应记录 分析造成低粒子浓度的可疑因素。由相关各方协商认可,2、空气洁净度等级计算例2,被测洁净室、区、面积为1000m2。空气洁净度等级为ISO5级、规定受控粒子粒径为0,3μm D1、0。5μm。D2.根据测试结果确定在动态下是否符合规定的悬浮粒子允许浓度限值。1,规定的粒径均在现行标准ISO5级粒径范围 并符合D2 1、5D1的要求,2 计算最大允许悬浮粒子浓度。对大于或等于0。3μm的粒子。选用采样量为28L,min的粒子计数器。这一选择满足、VS 2L、Cnm 20个。m3的要求、其采样时间大于或等于1min,5、在每个采样点仅作一次采样,28L,min 测试得到的计数记录见表5.表5,计数表、一,6.以测试数据 折算为每立方米的粒子数。Xi,见表6、表6.计数表。二,

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