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附录C,测试方法C.1。空气洁净度等级测试C.1,1、C,1、8。为了方便实施本节的相关要求、在本条文说明中列入2个空气洁净度等级计算实例,供参考,1、空气洁净度等级计算例1 本例摘自国际标准.洁净室及相关受控环境 第4部分,设计.施工 启动 ISO,14644 1附录D中的例2。是为了说明95。置信度上限值计算对结果的影响 规定一洁净室空气悬浮粒子洁净度动态时为ISO3级,采样点数目定为5个。由于采样点数目多于1个。少于10个.应计算95.置信度上限值.只选择一种粒径限值.D,0。1μm.1。ISO3级。粒径大于或等于0.1μm的粒子浓度限值.Cn.0 1μm.1000个,m3.2,在各采样点仅采样一次、各点每立方米的粒子数目X记录见表4.表4,采样点粒子数 D.0.1μm时各粒子浓度值小于 1.中规定的限值。这个结果满足了分级的相关规定、因此可进行95,置信度上限值的计算。3,按公式计算总平均值.取800个,m3.4、按公式计算采样点平均值的标准偏差,6.所有单次采样量的粒子浓度均低于规定的分级限值,但是95,置信度上限值的计算表明、该洁净室的空气悬浮粒子洁净度不符合规定的级别,本例说明,一个单次采样的限值外低粒子浓度。即第5个采样点、对95,置信度上限值计算结果的影响 因为空气洁净度未达标是由于该95,置信度上限值造成的,而这一上限值是由单个的低粒子浓度值造成,因此应记录、分析造成低粒子浓度的可疑因素、由相关各方协商认可。2。空气洁净度等级计算例2,被测洁净室。区,面积为1000m2,空气洁净度等级为ISO5级,规定受控粒子粒径为0.3μm,D1,0.5μm,D2 根据测试结果确定在动态下是否符合规定的悬浮粒子允许浓度限值。1 规定的粒径均在现行标准ISO5级粒径范围。并符合D2,1,5D1的要求.2.计算最大允许悬浮粒子浓度,对大于或等于0.3μm的粒子 选用采样量为28L。min的粒子计数器、这一选择满足.VS、2L,Cnm 20个。m3的要求。其采样时间大于或等于1min。5、在每个采样点仅作一次采样.28L min,测试得到的计数记录见表5,表5。计数表,一,6,以测试数据.折算为每立方米的粒子数,Xi、见表6、表6,计数表,二.
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