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附录C。测试方法C.1 空气洁净度等级测试C。1 1、C、1,8,为了方便实施本节的相关要求.在本条文说明中列入2个空气洁净度等级计算实例、供参考,1.空气洁净度等级计算例1 本例摘自国际标准,洁净室及相关受控环境 第4部分。设计,施工 启动,ISO、14644。1附录D中的例2,是为了说明95 置信度上限值计算对结果的影响。规定一洁净室空气悬浮粒子洁净度动态时为ISO3级、采样点数目定为5个。由于采样点数目多于1个.少于10个 应计算95、置信度上限值,只选择一种粒径限值 D、0.1μm,1。ISO3级 粒径大于或等于0、1μm的粒子浓度限值、Cn,0。1μm 1000个.m3,2.在各采样点仅采样一次,各点每立方米的粒子数目X记录见表4 表4。采样点粒子数,D,0,1μm时各粒子浓度值小于,1,中规定的限值、这个结果满足了分级的相关规定。因此可进行95,置信度上限值的计算,3 按公式计算总平均值 取800个。m3.4。按公式计算采样点平均值的标准偏差。6,所有单次采样量的粒子浓度均低于规定的分级限值,但是95、置信度上限值的计算表明、该洁净室的空气悬浮粒子洁净度不符合规定的级别,本例说明、一个单次采样的限值外低粒子浓度、即第5个采样点,对95.置信度上限值计算结果的影响,因为空气洁净度未达标是由于该95.置信度上限值造成的、而这一上限值是由单个的低粒子浓度值造成、因此应记录、分析造成低粒子浓度的可疑因素,由相关各方协商认可,2 空气洁净度等级计算例2 被测洁净室 区,面积为1000m2,空气洁净度等级为ISO5级。规定受控粒子粒径为0、3μm.D1,0。5μm,D2、根据测试结果确定在动态下是否符合规定的悬浮粒子允许浓度限值 1、规定的粒径均在现行标准ISO5级粒径范围.并符合D2 1 5D1的要求.2。计算最大允许悬浮粒子浓度.对大于或等于0、3μm的粒子、选用采样量为28L、min的粒子计数器.这一选择满足、VS,2L Cnm 20个 m3的要求 其采样时间大于或等于1min,5。在每个采样点仅作一次采样,28L.min,测试得到的计数记录见表5。表5.计数表,一 6,以测试数据、折算为每立方米的粒子数。Xi.见表6、表6.计数表 二,
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