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附录C,测试方法C,1。空气洁净度等级测试C 1。1.C.1.8 为了方便实施本节的相关要求 在本条文说明中列入2个空气洁净度等级计算实例、供参考,1.空气洁净度等级计算例1 本例摘自国际标准.洁净室及相关受控环境 第4部分。设计.施工,启动 ISO,14644,1附录D中的例2,是为了说明95、置信度上限值计算对结果的影响,规定一洁净室空气悬浮粒子洁净度动态时为ISO3级。采样点数目定为5个 由于采样点数目多于1个,少于10个、应计算95,置信度上限值,只选择一种粒径限值、D,0 1μm、1 ISO3级.粒径大于或等于0、1μm的粒子浓度限值,Cn,0。1μm,1000个,m3,2、在各采样点仅采样一次.各点每立方米的粒子数目X记录见表4,表4。采样点粒子数,D、0、1μm时各粒子浓度值小于,1,中规定的限值。这个结果满足了分级的相关规定 因此可进行95 置信度上限值的计算,3.按公式计算总平均值 取800个 m3.4.按公式计算采样点平均值的标准偏差 6 所有单次采样量的粒子浓度均低于规定的分级限值,但是95 置信度上限值的计算表明,该洁净室的空气悬浮粒子洁净度不符合规定的级别.本例说明。一个单次采样的限值外低粒子浓度.即第5个采样点。对95,置信度上限值计算结果的影响,因为空气洁净度未达标是由于该95、置信度上限值造成的.而这一上限值是由单个的低粒子浓度值造成,因此应记录 分析造成低粒子浓度的可疑因素 由相关各方协商认可 2.空气洁净度等级计算例2、被测洁净室、区,面积为1000m2,空气洁净度等级为ISO5级。规定受控粒子粒径为0。3μm,D1 0,5μm、D2,根据测试结果确定在动态下是否符合规定的悬浮粒子允许浓度限值,1 规定的粒径均在现行标准ISO5级粒径范围,并符合D2 1、5D1的要求。2。计算最大允许悬浮粒子浓度.对大于或等于0、3μm的粒子。选用采样量为28L min的粒子计数器 这一选择满足,VS.2L,Cnm.20个、m3的要求.其采样时间大于或等于1min 5 在每个采样点仅作一次采样,28L.min。测试得到的计数记录见表5。表5、计数表.一、6.以测试数据。折算为每立方米的粒子数.Xi.见表6.表6,计数表,二,
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