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C,15 静电测试C、15.1 洁净室,区,内的地面.墙面和工作台面等的表面导静电性能的测试。应根据生产工艺要求确定,宜采用高阻计进行测试。C 15 2 在相关表面的导静电测试表面上采用图C,15、2所示的测试装置进行表面电阻和泄漏电阻的测量 圆柱形铜电极的直径应为60mm.质量应为2 0kg。2个铜电极之间的距离应大于或等于900mm,图C.15 2。表面导静电性能测试装置1 高阻计、2,被测表面。3、圆柱形铜电极.4,湿滤纸垫
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