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C。15,静电测试C、15、1。洁净室,区,内的地面,墙面和工作台面等的表面导静电性能的测试,应根据生产工艺要求确定。宜采用高阻计进行测试 C.15 2,在相关表面的导静电测试表面上采用图C.15、2所示的测试装置进行表面电阻和泄漏电阻的测量,圆柱形铜电极的直径应为60mm.质量应为2。0kg、2个铜电极之间的距离应大于或等于900mm.图C。15,2 表面导静电性能测试装置1 高阻计,2.被测表面。3,圆柱形铜电极、4.湿滤纸垫

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