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C.15。静电测试C、15 1,洁净室,区 内的地面、墙面和工作台面等的表面导静电性能的测试.应根据生产工艺要求确定 宜采用高阻计进行测试,C 15,2,在相关表面的导静电测试表面上采用图C,15,2所示的测试装置进行表面电阻和泄漏电阻的测量,圆柱形铜电极的直径应为60mm。质量应为2,0kg。2个铜电极之间的距离应大于或等于900mm、图C、15。2。表面导静电性能测试装置1 高阻计。2 被测表面.3,圆柱形铜电极、4。湿滤纸垫

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