C。14。微振测试C.14 1 洁净厂房中需要微振控制的精密设备仪器或房间 区域,应进行微振控制设施的建造质量检测 检测宜采用微振测试分析系统进行测试，可包括微振动传感器 专用仪器和计算机分析系统等。C。14。2.微振测试应按下列规定分阶段进行，1、洁净厂房建设场地的环境振动测试,应提供振动设计的本底数据.2,建筑结构振动特性测试 应在结构工程施工完成后，按微振控制设计要求进行测试.校核结构建造质量,3.精密设备仪器安装地点的环境振动测试。应在洁净厂房中各种公用动力设备安装并试运转后.应按洁净厂房中除生产工艺设备外的所有设施。设备均已正常运转后进行精密设备仪器安装地点的环境振动测试、以最终校核,确定精密设备仪器和相关设施的微振控制措施,4、精密设备仪器的微振最终测试 应在此类设备试运转后,并应按生产工艺要求的状态进行最终测试、检查微振控制设施的整体建造质量。