C,14 微振测试C、14。1，洁净厂房中需要微振控制的精密设备仪器或房间 区域.应进行微振控制设施的建造质量检测,检测宜采用微振测试分析系统进行测试,可包括微振动传感器、专用仪器和计算机分析系统等，C、14,2 微振测试应按下列规定分阶段进行。1、洁净厂房建设场地的环境振动测试 应提供振动设计的本底数据 2,建筑结构振动特性测试,应在结构工程施工完成后、按微振控制设计要求进行测试.校核结构建造质量，3,精密设备仪器安装地点的环境振动测试,应在洁净厂房中各种公用动力设备安装并试运转后.应按洁净厂房中除生产工艺设备外的所有设施.设备均已正常运转后进行精密设备仪器安装地点的环境振动测试.以最终校核.确定精密设备仪器和相关设施的微振控制措施、4.精密设备仪器的微振最终测试，应在此类设备试运转后、并应按生产工艺要求的状态进行最终测试 检查微振控制设施的整体建造质量,