C.14、微振测试C，14.1，洁净厂房中需要微振控制的精密设备仪器或房间，区域.应进行微振控制设施的建造质量检测、检测宜采用微振测试分析系统进行测试,可包括微振动传感器，专用仪器和计算机分析系统等、C、14。2.微振测试应按下列规定分阶段进行，1 洁净厂房建设场地的环境振动测试 应提供振动设计的本底数据.2。建筑结构振动特性测试、应在结构工程施工完成后,按微振控制设计要求进行测试。校核结构建造质量。3 精密设备仪器安装地点的环境振动测试，应在洁净厂房中各种公用动力设备安装并试运转后，应按洁净厂房中除生产工艺设备外的所有设施,设备均已正常运转后进行精密设备仪器安装地点的环境振动测试,以最终校核.确定精密设备仪器和相关设施的微振控制措施、4。精密设备仪器的微振最终测试.应在此类设备试运转后。并应按生产工艺要求的状态进行最终测试。检查微振控制设施的整体建造质量