C。14 微振测试C、14，1.洁净厂房中需要微振控制的精密设备仪器或房间，区域。应进行微振控制设施的建造质量检测.检测宜采用微振测试分析系统进行测试，可包括微振动传感器。专用仪器和计算机分析系统等 C,14。2、微振测试应按下列规定分阶段进行,1.洁净厂房建设场地的环境振动测试。应提供振动设计的本底数据,2,建筑结构振动特性测试、应在结构工程施工完成后、按微振控制设计要求进行测试。校核结构建造质量,3.精密设备仪器安装地点的环境振动测试 应在洁净厂房中各种公用动力设备安装并试运转后.应按洁净厂房中除生产工艺设备外的所有设施 设备均已正常运转后进行精密设备仪器安装地点的环境振动测试.以最终校核。确定精密设备仪器和相关设施的微振控制措施 4。精密设备仪器的微振最终测试 应在此类设备试运转后.并应按生产工艺要求的状态进行最终测试.检查微振控制设施的整体建造质量。